集成电路制造工艺 课件 9.1 洁净技术等级_第1页
集成电路制造工艺 课件 9.1 洁净技术等级_第2页
集成电路制造工艺 课件 9.1 洁净技术等级_第3页
集成电路制造工艺 课件 9.1 洁净技术等级_第4页
集成电路制造工艺 课件 9.1 洁净技术等级_第5页
已阅读5页，还剩3页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

集成电路制造工艺

--洁净技术等级单位：江苏信息职业技术学院微电子教研室第九章洁净技术洁净设备清洗技术本章要点洁净技术等级标准纯水制备第九章洁净技术洁净技术等级标准洁净设备纯水制备清洗技术本章要点洁净技术（CRT：CleanRoomTechnology）是适应实验研究与产品加工精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等要求诞生的一门新兴技术，可保证特别干净清洁的生产和科研环境，以防止生产与研究工作受环境因素干扰和影响，保护产品不受有害物质污染为核心内容。一.洁净技术的定义§9.1洁净技术等级洁净度的概念：用每立方英尺空气中所含的直径大于0.5微米的颗粒数来衡量立方英尺与升的换算：1英尺（foot)=12英寸，1英寸=2.54cm，1立方分米=1升，所以：1立方英尺=28.3立方分米=28.3升洁净度美国标准级别尘埃压力/Torr温度粒径（μm)

粒/ft3粒/l范围推荐值误差1000.51003.51.2519.4-2522.22.8100000.5

10000

3505.0652.3100000

0.510000035005.0700250.28洁净度我国标准空气洁净度等级（N）大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（pc/m3）0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um1102

210024104

31，000237102358

4（十级）10，0002，3701，02035283

5（百级）100，00023，70010，2003，520832296（千级）1，000，000237，000102，00035，2008，3202937（万级）

352，00083，2002，9308（十万级）

3，520，000832，00029，3009（一百万级

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论