高端光刻机辅助设备运维技师（中级）考试试卷及答案

高端光刻机辅助设备运维技师（中级）考试试卷及答案一、填空题（每题1分，共10分）1.高端光刻机辅助设备中，常用的高真空核心部件是______泵。2.浸没式光刻机去离子水电阻率要求不低于______MΩ·cm。3.气路系统过滤微尘的核心部件是______过滤器。4.激光对准系统校准周期一般为______个月。5.温控系统精度需控制在±______℃以内。6.真空锁腔主要减少______时间。7.检测气体纯度的仪器是______分析仪。8.匀胶机转速范围通常可达______rpm以上。9.气动元件密封件常用材质是______。10.故障代码E001通常代表______系统故障。二、单项选择题（每题2分，共20分）1.高真空环境常用泵是？A.离心泵B.分子泵C.齿轮泵D.柱塞泵2.去离子水滤芯更换周期一般为？A.1个月B.3个月C.6个月D.12个月3.不属于温控异常的是？A.温度波动±0.2℃B.加热棒不启动C.冷却液泄漏D.传感器漂移4.光刻机氮气纯度需达到？A.99%B.99.9%C.99.999%D.99.9999%5.断电操作正确顺序是？A.先断负载再断电源B.先断电源再断负载C.直接断电D.无顺序6.真空泄漏检测常用方法是？A.肥皂水法B.红外检测C.氦质谱检漏D.水压试验7.匀胶机核心部件是？A.电机B.胶杯C.喷嘴D.传感器8.导致光刻精度下降的故障是？A.气路微尘超标B.水温正常C.真空度达标D.校准正常9.日常点检不包括？A.压力读数B.温度记录C.零件更换D.泄漏检查10.维护记录应保存至少？A.1年B.2年C.3年D.5年三、多项选择题（每题2分，共20分）1.真空系统组成包括？A.分子泵B.机械泵C.真空计D.过滤器2.温控系统维护要点包括？A.检查冷却液液位B.校准传感器C.清理换热器D.更换加热棒3.前处理设备包括？A.匀胶机B.显影机C.清洗机D.光刻机本体4.故障排查需记录的信息包括？A.故障时间B.现象C.操作步骤D.维修结果5.气路安全要求包括？A.定期检漏B.过滤微尘C.控制流量D.接地保护6.分子泵维护注意事项包括？A.避免撞击B.定期润滑C.检查转速D.断电后立即拆卸7.去离子水检测项目包括？A.电阻率B.颗粒数C.pH值D.细菌数8.校准项目包括？A.激光对准精度B.真空度校准C.温度校准D.转速校准9.故障类型包括？A.机械故障B.电气故障C.气路故障D.软件故障10.维护工具包括？A.万用表B.检漏仪C.校准仪D.扳手四、判断题（每题2分，共20分）1.分子泵可在大气压下启动。（）2.去离子水电阻率越高越好。（）3.冷却液可用自来水代替。（）4.气路过滤器无需定期更换。（）5.真空锁腔减少抽真空时间。（）6.匀胶机转速越高胶膜越厚。（）7.维护记录只需记录故障维修。（）8.氦质谱检漏是真空泄漏常用方法。（）9.密封件可用普通橡胶代替。（）10.断电后需等待10分钟再维护。（）五、简答题（每题5分，共20分）1.简述真空系统日常维护要点。2.说明温控异常的常见原因及排查步骤。3.简述去离子水系统维护周期及检测项目。4.说明故障排查基本流程。六、讨论题（每题5分，共10分）1.讨论如何预防辅助设备机械故障？2.分析气路泄漏对工艺的影响及应对措施。---参考答案一、填空题1.分子2.183.高效（HEPA）4.65.0.16.抽真空7.气体8.100009.氟橡胶10.真空二、单项选择题1.B2.B3.A4.D5.A6.C7.A8.A9.C10.C三、多项选择题1.ABCD2.ABCD3.ABC4.ABCD5.ABCD6.ABC7.ABCD8.ABCD9.ABCD10.ABCD四、判断题1.×2.√3.×4.×5.√6.×7.×8.√9.×10.√五、简答题1.①每日检查真空计读数，确认前腔≤1E-3Pa、主腔≤1E-6Pa；②每周检查机械泵油位/油质，发黑则更换；③每月检查分子泵转速（额定30000rpm）；④每季度用氦质谱检漏，重点查法兰/阀门；⑤记录维护后真空度变化，异常排查泄漏或泵故障。2.常见原因：冷却液泄漏、传感器漂移、加热棒损坏、换热器堵塞。排查步骤：①查看温控面板波动；②检查冷却液液位并检漏；③万用表测传感器电阻对比标定值；④测加热棒电阻确认断路；⑤清理换热器，异常查循环泵。3.维护周期：滤芯3个月、树脂再生6个月、系统清洗12个月。检测项目：电阻率≥18MΩ·cm、颗粒数≤10个/L（≥0.1μm）、pH6.5-7.5、细菌数≤1CFU/mL。4.①确认故障现象（时间、表现）；②初步定位系统（真空/温控等）；③现场检查仪表/部件状态；④逐步排除无关部件测试；⑤更换故障件后验证；⑥记录归档（原因、方法、结果）。六、讨论题1.①日常点检：每日查运动部件异响/温度，及时润滑；②定期润滑：每季度加注指定润滑脂；③换易损件：按周期换密封件/皮带；④环境控制：保持清洁防灰尘进入；⑤操作规范：培