半导体靶材研发工程师岗位招聘考试试卷及答案

半导体靶材研发工程师岗位招聘考试试卷及答案试题部分一、填空题（共10题，每题1分）1.半导体靶材按成分可分为金属靶材、______靶材和陶瓷靶材三类。2.靶材核心性能指标之一是______，通常要求达99.999%以上（5N级）。3.半导体铝互连常用靶材是______靶材。4.熔炼法主要用于______靶材的制备。5.陶瓷靶材常用烧结工艺是______烧结或热压烧结。6.半导体铜互连阻挡层常用______靶材。7.靶材______尺寸影响溅射均匀性和薄膜质量。8.靶材与衬底的距离称为______距离。9.靶材纯度检测常用______光谱法（ICP）。10.平板显示透明导电靶材是______靶材（ITO）。二、单项选择题（共10题，每题2分）1.半导体靶材纯度通常不低于（）A.99%B.99.9%C.99.999%D.99.9999%2.铜互连种子层常用靶材是（）A.铝B.铜C.钛D.钨3.陶瓷靶材制备不包括（）A.熔炼B.球磨C.烧结D.成型4.靶材晶粒越小，溅射薄膜______越好（）A.均匀性B.厚度C.电阻率D.硬度5.靶材绑定主要目的是（）A.提高纯度B.散热C.增加重量D.便于存储6.导致薄膜不均匀的靶材缺陷是（）A.晶粒细化B.气孔C.高纯度D.均匀组织7.钨栓塞常用靶材是（）A.铝B.铜C.钛D.钨8.不属于纯度提升工艺的是（）A.区域熔炼B.真空蒸馏C.球磨D.化学提纯9.靶-衬底距离过近会导致（）A.溅射速率降低B.薄膜污染C.均匀性提高D.成本增加10.属于合金靶材的是（）A.纯铝B.纯铜C.Al-CuD.二氧化硅三、多项选择题（共10题，每题2分，多选/少选不得分）1.靶材核心性能指标包括（）A.纯度B.晶粒尺寸C.电阻率D.成本E.重量2.金属靶材制备工艺有（）A.熔炼B.热压烧结C.轧制D.球磨E.化学气相沉积3.陶瓷靶材常见类型（）A.ITOB.二氧化硅C.钛酸钡D.纯铜E.铝4.靶材研发关注方向（）A.纯度提升B.晶粒细化C.成本控制D.环保工艺E.形状多样化5.靶材绑定作用（）A.散热B.提高溅射稳定性C.防止破裂D.增加纯度E.便于安装6.影响溅射速率的因素（）A.纯度B.晶粒尺寸C.绑定方式D.溅射功率E.靶材温度7.靶材应用场景（）A.芯片制造B.平板显示C.太阳能电池D.LED制造E.汽车玻璃8.靶材缺陷对器件的影响（）A.薄膜不均匀B.器件漏电C.良率降低D.纯度提高E.成本下降9.纯度提升方法（）A.区域熔炼B.真空蒸馏C.化学沉淀D.球磨E.烧结10.晶粒细化作用（）A.提高均匀性B.降低电阻率C.减少缺陷D.提高纯度E.增加成本四、判断题（共10题，每题2分，√/×）1.靶材纯度越高，薄膜质量越好。（）2.陶瓷靶材只能用烧结工艺制备。（）3.铝靶材用于铜互连阻挡层。（）4.晶粒越小，溅射均匀性越好。（）5.绑定工艺不影响溅射性能。（）6.半导体靶材无需考虑成本。（）7.钛靶材常用于阻挡层。（）8.靶材电阻率与纯度无关。（）9.所有溅射靶材都是圆形。（）10.靶材研发需关注环保工艺。（）五、简答题（共4题，每题5分）1.简述半导体靶材核心性能要求及意义。2.对比金属靶材与陶瓷靶材的制备工艺差异。3.简述靶材绑定的目的及常见方法。4.说明靶材晶粒尺寸对溅射性能的影响。六、讨论题（共2题，每题5分）1.如何平衡半导体靶材的高纯度与制造成本？2.分析陶瓷靶材在下一代半导体器件中的应用潜力及挑战。答案部分一、填空题答案1.合金2.纯度3.铝4.金属5.常压（真空）6.钛7.晶粒8.靶-衬底9.电感耦合等离子体10.氧化铟锡二、单项选择题答案1.C2.B3.A4.A5.B6.B7.D8.C9.B10.C三、多项选择题答案1.ABC2.AC3.ABC4.ABCD5.ABCE6.ABDE7.ABCD8.ABC9.ABC10.ABC四、判断题答案1.×2.×3.×4.√5.×6.×7.√8.×9.×10.√五、简答题答案1.核心要求及意义：①纯度（减少杂质污染，保证器件性能）；②晶粒尺寸（影响溅射均匀性，细化提升薄膜质量）；③电阻率（匹配电路需求）；④密度（减少气孔，提升溅射稳定性）。意义是满足半导体器件高精度、高可靠要求，降低良率损失。2.工艺差异：①金属靶材：真空熔炼+轧制/锻造（塑性加工成型）；②陶瓷靶材：球磨混合→压制成型→热压/常压烧结（无熔炼，因陶瓷熔点高）。金属侧重塑性加工，陶瓷侧重粉末冶金。3.绑定目的及方法：目的是散热（溅射发热）、提高稳定性（防破裂）、便于安装。常见方法：铟焊绑定、机械绑定、扩散绑定。4.晶粒尺寸影响：①细化：溅射粒子分布均匀，薄膜均匀性提升；②大晶粒：局部溅射速率差异大，薄膜厚度不均、缺陷多；③尺寸一致：减少靶材表面不均，提高溅射稳定性。六、讨论题答案1.平衡策略：①精准匹配纯度（依器件需求选5N/6N，避免过度提纯）；②优化工艺（区域熔炼替代真空蒸馏降本）；③废料回收（提纯再利用）；④规模化生产（降低单位成本）；⑤工艺创新（开