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文档简介
半导体级超纯水制备设备运维技师(初级)考试试卷及答案一、填空题(每题1分,共10分)1.半导体级超纯水常温下电阻率通常要求达到______MΩ·cm以上。2.反渗透膜进水SDI值应控制在______以下。3.EDI模块核心是______与离子交换树脂的结合。4.预处理常用絮凝剂PAC的全称是______。5.超纯水中TOC指标通常要求小于______ppb。6.混床装填的树脂为______树脂和阴离子树脂混合。7.保安过滤器滤芯孔径一般为______μm。8.紫外线杀菌有效波长约______nm。9.反渗透膜长期停机需用______溶液浸泡保护。10.活性炭过滤器主要去除水中余氯和______。二、单项选择题(每题2分,共20分)1.半导体级超纯水25℃电阻率标准为()A.10MΩ·cmB.18MΩ·cmC.15MΩ·cmD.20MΩ·cm2.反渗透进水SDI应控制在()以下A.3B.5C.7D.103.EDI短期停运(1-7天)保护用()A.纯水B.盐酸C.氢氧化钠D.保护液4.絮凝沉淀主要去除水中()A.溶解盐B.胶体颗粒C.有机物D.余氯5.混床失效核心指标是()A.电阻率下降B.流量降低C.压力升高D.温度升高6.保安过滤器压差超()需换滤芯A.0.05MPaB.0.1MPaC.0.2MPaD.0.3MPa7.紫外线主要杀灭水中()A.细菌B.病毒C.芽孢D.所有微生物8.TOC检测主要判断()污染A.有机物B.盐类C.微生物D.颗粒9.反渗透酸性清洗剂常用()A.盐酸B.氢氧化钠C.柠檬酸D.次氯酸钠10.EDI电流异常升高常见原因()A.压力过高B.树脂污染C.电压过低D.流量过大三、多项选择题(每题2分,共20分)1.超纯水制备主要单元包括()A.预处理B.反渗透C.EDID.混床E.紫外线2.反渗透膜污染类型有()A.结垢B.胶体污染C.微生物污染D.有机物污染E.树脂污染3.EDI运行影响因素()A.进水电阻率B.流量C.电压D.温度E.树脂量4.预处理步骤包括()A.絮凝沉淀B.砂过滤C.活性炭过滤D.保安过滤E.反渗透5.运维安全注意事项()A.酸碱防护B.紫外线防照射C.高压禁带压操作D.漏电保护E.废液中和6.混床树脂装填要求()A.阴阳比例合适B.装填紧密C.树脂无破损D.装填前清洗E.高度一致7.TOC去除方法()A.活性炭吸附B.紫外线氧化C.反渗透D.EDIE.混床8.保安过滤器作用()A.截留颗粒B.保护反渗透膜C.去除胶体D.降压力E.除余氯9.系统长时间停机操作()A.排空B.反渗透膜浸泡保护C.EDI冲洗D.混床树脂浸泡E.氮气吹扫10.反渗透进水要求指标()A.SDIB.余氯C.浊度D.硬度E.TOC四、判断题(每题2分,共20分)1.电阻率越高超纯水纯度越高。()2.聚酰胺膜可用盐酸清洗。()3.EDI停运后短期可不断电。()4.活性炭仅除余氯和部分有机物。()5.混床失效后直接再生不用反洗。()6.保安滤芯更换后需检漏。()7.紫外线能氧化部分TOC。()8.超纯水管道用316L不锈钢,不用PVC。()9.反渗透进水温度越高越好。()10.EDI漏水先关进水再断电。()五、简答题(每题5分,共20分)1.简述超纯水制备基本流程。2.反渗透膜污染常见原因及预防措施。3.EDI日常运维检查项目。4.混床树脂再生基本步骤(初级)。六、讨论题(每题5分,共10分)1.超纯水TOC超标原因及排查步骤。2.如何判断反渗透膜需清洗?---答案部分一、填空题答案1.182.53.电渗析4.聚合氯化铝5.106.阳离子交换7.58.2549.亚硫酸氢钠10.部分有机物二、单项选择题答案1.B2.B3.A4.B5.A6.B7.A8.A9.C10.B三、多项选择题答案1.ABCDE2.ABCD3.ABCD4.ABCD5.ABCDE6.ACD7.ABC8.AB9.ABCD10.ABCDE四、判断题答案1.√2.×3.×4.√5.×6.√7.√8.√9.×10.√五、简答题答案1.流程:原水→预处理(絮凝沉淀→砂滤→活性炭滤→保安滤)→反渗透→EDI→混床(可选)→紫外线杀菌→终端滤→超纯水储罐。预处理除颗粒/胶体/余氯;反渗透除大部分盐;EDI深度除盐;终端滤截留微颗粒。2.原因:SDI/浊度超标、结垢、微生物滋生、有机物吸附。预防:控预处理水质(SDI≤5)、加阻垢剂、定期杀菌、控温pH(20-30℃,pH4-8)。3.检查项:进/产/浓水流量压力、产水电阻率、电压电流、浓水泵状态、模块漏水、电源报警、进水TOC/余氯、模块温度(5-40℃)。4.步骤:反洗分层→排水→进酸碱(阳树脂盐酸、阴树脂氢氧化钠)→浸泡→冲洗至pH中性→混合树脂→正洗至电阻率≥18MΩ·cm。六、讨论题答案1.原因:活性炭失效、反渗透膜污染、EDI失效、管道储罐微生物滋生、滤芯污染。排查:分段测TOC定位超标段;查活性炭(换炭测试)
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