等离子清洗工艺调试技师（初级）考试试卷及答案

等离子清洗工艺调试技师（初级）考试试卷及答案等离子清洗工艺调试技师（初级）考试试卷一、填空题（每题1分，共10分）1.等离子清洗按产生环境主要分为____等离子清洗和常压等离子清洗。2.常用的惰性清洗气体包括氩气、____等。3.等离子清洗设备的核心部件是____发生器。4.工艺参数中，____决定等离子体的能量密度。5.真空等离子清洗的真空度通常控制在____Pa以下。6.清洗后工件表面的接触角会____（填“增大”或“减小”）。7.活性清洗气体中，____常用于去除有机物。8.等离子体中带电粒子的运动受____和磁场控制。9.清洗时间过短易导致____。10.设备日常维护需检查____泄漏情况。二、单项选择题（每题2分，共20分）1.以下属于惰性清洗气体的是（）A.氧气B.氩气C.氢气D.氟气2.真空等离子清洗不包含的系统是（）A.真空系统B.气体系统C.加热系统D.电源系统3.功率增大时，等离子清洗速率会（）A.加快B.减慢C.不变D.不确定4.导致清洗效果下降的常见原因是（）A.真空度稳定B.工件堆叠C.气体纯度99.9%D.时间足够5.等离子清洗的主要作用不包括（）A.去油污B.活化表面C.镀膜D.去氧化层6.常压等离子清洗的优势是（）A.真空度高B.无需真空设备C.清洗面积小D.成本极高7.气体流量主要影响等离子体的（）A.浓度B.温度C.真空度D.功率8.设备开机前必须检查的是（）A.工件数量B.电源电压C.清洗液浓度D.水温9.不适合等离子清洗的工件是（）A.金属B.塑料C.不耐高温有机物D.玻璃10.清洗后工件润湿性会（）A.变好B.变差C.不变D.不确定三、多项选择题（每题2分，共20分）1.等离子清洗的应用领域包括（）A.电子B.半导体C.汽车D.纺织2.工艺调试需监控的参数有（）A.功率B.时间C.气体流量D.真空度3.活性气体清洗的作用有（）A.去有机物B.去氧化层C.活化表面D.钝化表面4.设备安全操作注意事项（）A.戴绝缘手套B.真空下禁止开门C.检测气体泄漏D.无需接地5.等离子体的组成部分（）A.电子B.离子C.中性粒子D.光子6.真空等离子清洗步骤包括（）A.抽真空B.通气体C.激发等离子体D.破真空7.工艺参数优化目标（）A.清洗效果好B.效率高C.成本低D.环保8.惰性气体清洗特点（）A.物理轰击为主B.无化学反应C.适合敏感材料D.去氧化层快9.设备维护内容（）A.真空泵换油B.电极清洁C.真空计校准D.管路检查10.等离子清洗与传统清洗区别（）A.无废液B.环保C.清洗微小结构D.成本低四、判断题（每题2分，共20分）1.等离子清洗属于化学清洗（）2.真空度越高，清洗效果越好（）3.氧气可去除工件表面有机物（）4.清洗时间越长，效果越好（）5.常压等离子无需真空系统（）6.开机后可直接通气体（）7.污染重的工件需增大功率（）8.氩气可去除金属氧化层（）9.清洗后工件需立即使用（）10.接地不良会导致漏电（）五、简答题（每题5分，共20分）1.简述等离子清洗的基本原理。2.真空等离子清洗设备的主要组成部分有哪些？3.工艺调试中，功率与清洗时间的关系是什么？4.等离子清洗的安全操作注意事项有哪些？六、讨论题（每题5分，共10分）1.工件清洗后仍有残留油污，可能的原因及排查解决方法？2.对比真空等离子与常压等离子清洗的适用场景及优缺点。---参考答案一、填空题答案1.低压（真空）2.氮气3.等离子4.功率5.1006.减小7.氧气8.电场9.清洗不彻底10.气体（或真空）二、单项选择题答案1.B2.C3.A4.B5.C6.B7.A8.B9.C10.A三、多项选择题答案1.ABCD2.ABCD3.ABC4.ABC5.ABCD6.ABCD7.ABCD8.ABC9.ABCD10.ABC四、判断题答案1.×2.×3.√4.×5.√6.×7.√8.×9.√10.√五、简答题答案1.基本原理：利用等离子体中的高能电子、离子、自由基等粒子，通过物理轰击（如氩离子撞击去除颗粒/油污）或化学反应（如氧气与有机物分解）清除污染物，同时在工件表面引入极性基团，提升润湿性。核心是等离子体与表面的物理/化学相互作用，实现清洁+活化。2.主要组成：①等离子发生器（激发气体）；②真空系统（真空泵、真空计、阀）；③气体系统（气瓶、流量计）；④反应腔室（放置工件）；⑤控制系统（PLC、触摸屏）；⑥安全系统（接地、急停）。3.功率与时间关系：①功率增大→等离子能量密度提高，清洗速率加快，时间可缩短；②功率过小→需延长时间，但过长易损伤工件（氧化/变形）；③需平衡：在工件耐受范围内，适当提高功率提升效率，避免过度清洗。4.安全注意事项：①开机前检查接地、气体泄漏、真空系统；②操作戴绝缘手套，不接触高压部件；③真空下禁止开门，破真空后取工件；④气瓶远离热源、固定放置；⑤故障立即停机，禁止带电维修；⑥定期检测安全装置。六、讨论题答案1.残留油污原因及解决：-原因1：气体选错（惰性气代替活性气）→换氧气清洗；-原因2：功率不足/时间短→提高功率（工件耐受内）或延长时间；-原因3：工件堆叠→调整摆放，避免遮挡；-原因4：气体纯度低→换≥99.9%高纯度气；-原因5：真空度不够→检查真空泵泄漏，提升至100Pa以下。2.真空vs常压等离子对比：-真空等离子：适用精密电子/半导体（高清洁）