CN116049603B 一种光栅尺测量误差补偿方法 （广东工业大学）_第1页
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文档简介

输出关联各干扰因素的回归结果并将回归结果模型根据回归结果反馈补偿条件到亚像素级定2多维有界优化模型以最小化多干扰因素的耦S3：在任务空间中根据亚像素码道定位图下任务空间与特征集的转换函数，表示转换函数的数学转置，πR表示参数s的R维度表Qt+τtttt+1t+τtt表t+1表示t+1时刻下的状态量，3f9.根据权利要求8所述的一种光栅尺测量误差补偿方法，其特征在于，还包括以下步αi表示光栅尺工作环境的温度的上界或下界，fi表示光栅4[0003]光栅尺的测量精度往往受到多种误差因素影响，常性叠加关系。[0014]S5：由亚像素级定位网络根据补偿条件提取新的亚像素码道定位图输入到译码5[0023]s.t.m(s)=a,v(s,a)eDa′tt+′)′′6光栅图像获取关联各干扰因素的回归结果，然后由多维有界优化模型反馈相应的补偿条[0052]对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解[0062]S5：由亚像素级定位网络根据补偿条件提取新的亚像素码道定位图输入到译码7[0079]s.t.m(s)=a,v(s,a)eDa′tt+′)′′′8[0087]S5：由亚像素级定位网络根据补偿条件提取新的亚像素码道定位图输入到译码′′9[0118]s.t.m(s)=a,v(s,a)eDa′tt+′)′′′[0125]S5：由亚像素级定位网络根据补偿条件提取新的亚像素码道定位图输入到译码据关联各干扰因素的回归结果Sn(当前工作环境)搜索相应的测量

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