电镀药水化验操作标准规范

制作单位：品保部文献编号：QY-QA3009-05

电镀药水化验操作规范制作日期：/01/20版本号：D1

总页数：第05・1页共10页

工槽名分析

分析项目控制范畴分析办法及计算公式

序体积频率

清洁

⑴取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚

1线

红批示剂用0.IN盐酸滴至绿黄为终点体积为V

886LCD-2100.16-0.24N1次/班

(2)计算:CD-210(N)=0.2*N*V

2线

(3)补加:CD-210(L)=(().2O-测)*0.263V

820Lffl

(1)取样品2ml加DI水50水、10%H2so410ml,用移液

管取100g/l(NH4)2Fe(S04)210ml.

(2)用0.1NKMnCh滴定至浅红色为终点，滴定亳升数A.

SPS65-95g/l

⑶取DI水代替样品，重复上述环节,滴定亳升数为B.

(4)计算:SPS(g/l)=5.95(B・A)

化(5)补加:SPS(kg)=(80-测)*Vm/1000

学(1)取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙批示剂3-4源

沉用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数

铜3次/班为V.

H2s042.0-3.0%

线(2)计算H2so4(%)=1.33NV%

微蚀

p(3)补加:H2so«L)=(2.5-测产Vm/100

T1线

H886L

⑴取样品2ml加入DI水50ml,加入20mlPH=10缓冲

2线

液，加PAN批示剂2-3滴用0.05NEDTA-2Na滴至黄

900L

Cu2+<25g/l色即为终点.

(2)计算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2

(1)取axbcm覆铜基板经酸性除油水洗在120℃烘干30

分钟，冷却称重Wi.

(2)经微蚀槽(与流程微蚀槽时间同样)水洗,吹干在

微蚀速率次/班

30-50U"1120℃烘干30分钟，冷却称重W2.

(3)计算:U"=(WI・W2)*1()6/(2ab*8.92*2.54)

由俺斯永小蛤癌生领刘制作单位：品保部文献编号：QY-QA3009-05

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槽名分析项分析

工序控制范畴分析办法及计算公式

体积目频率

(1)取试样20ml干锥形瓶中，加入20%硫酸

15mL20%KU0ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色，

加10%KSCN20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸

2+1.8-2.2g/l

Cu钠滴至白色为终点，体积为V。

⑵计算:Cu2+(g/])=3.175*N*V

(3)补加：EC-251A(L)=(2-测)*2667

NaOH8-10g/l(1)取试样5ml加50mlDI水以0.INHCI滴至PH=10.5,

滴定亳升数为A,加10ml10%Na2sO3用0.1NHC1

化3次/班滴至PH=10.5滴定数为B

⑵计算:NaOH(g/l)=8*A*NHCHO(g/l)=6*B*N

学HCHO5-7g/l⑶补加:EC-251B(L)=(9-测值)*6.67

EC-251aL)=(6-测值)*8.33

沉

(1)取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX批示剂摇匀用

出金榭作规藏0.0IN硫酸铜标液滴至绿色为终点

5⑵计算:络合剂(N)=O.OO2v+O.OI58Ca

62(3)补加:EC-2s1M(L)=(0.06-测)*2667

r

P

(1)将axb无铜基板按化铜正常流程走出后，将实验板

T沉积放入250ml烧杯中，加20mlPH=I0缓冲液和7-8滴

0.4-0.6gm1次/班H2O2,il150mlDI水和5滴PAN批示剂用0.05N

速率EDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V.

(2)沉积厚度(pm)=635NV/(2ab*8.92)

H

(1)取1ml槽液于250ml锥形瓶中，加50mLDI水，加

入10mL20%KI和10ml50%HNO3

除(2)用0.1NNa2s2O3滴至淡黄色加1%淀粉批示剂5-6

胶总钵60-70g/l1次/班滴，再用0.1NNa2s2O3滴至无色，记下一共所需亳升

渣数.

(3)计算:Mn(g/1)=31.6NV

(4)补加:KMnO4(kg)=(65-测值)*V/1000

水化验操作规范|制作日期：加2。|版本号：DI

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工槽名分析

分析项目控制范畴分析办法及计算公式

序(体积)频率

六价锦<20g/l(1)取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中，以纯水作参

比，用玻璃比色皿取样，读取波长为540、6IOnm时

吸光度为A、B。

(2)计算：Mn6+(g/l)=147.3B-13.6A

七价镒35-55g/l

7+

除胶(3)计算：Mn(g/l)=85.7A-170.1B

(1)取试样1ml,加50mlDI水于250ml烧杯中。

渣(2)以0.1N盐酸滴至PH=10.5为终点.

化NaOH35-45g/l1次/班

(1线(3)计算:NaOH(g/L)=40NV

1800L2(4)补加:NaOH(L)=(40-测)*V/400

学线

2616L)(1)取axbcm双面板无铜基板，在12()℃烘烤3()分钟，

沉

冷却称重为Wi(g).

除胶渣20-50mg/dm

(2)将上述基板从膨润走至中和槽水洗吹干在120c

铜速率2

下烘烤30min,冷却称重为W(g).

域喀力g2

1化验?桑作规0

(3)计算:成果=(W]-W2)*100000/ab

(1)取槽液2ml加50mlDI水加入10ml20%硫酸加热

中

P至60℃,用0.1NKMnCh滴定至淡红色为终点，

和

Nu-12190-110ml/l

(滴定数为V.

一计算:

线(2)Nu-121(ml/l)=74NV

T8

8(3)补加:Nu-121(ml)=(100-测产V物

6

L1次/班

(1)取2ir.L槽液于250mL锥形瓶中加50mLDI水及3-4

2

H滴酚献批示剂.

线

8用氢氧化钠滴至红色为终点，滴定体积为。

2H+1.8-2.2N(2)0.5NV

0

C(3)计算：(H+)(N)=0.5NV

(4)补加:H2so4(L)=(2.0-测值)*Vfli/18.4

膨润(1)取槽液数滴于旋光光度计内，直接读数A.

1线⑵计算:SW-110(%)=1.43A

886LSW-11035-45%1次/班(3)补加:SWJ10(L)=(40•测)*V槽400

2线

820L

I电镀药水化验操作规范反页数：第3共I。页

工槽名分析

分析项目控制范畴分析办法及计算公式

序(体积)频率

预浸

⑴取试样2ml,加50mlDI水，加2-4滴PP批示剂以

1线

化0.5NNaOH滴至红色滴定数为V.

886LPD-221B0.58-0.78N1次/班

(2)计算:PD-221B(N)=0.5NV

线(3)补加:PD-221B(L)=(0.68-测)*V仿*70/680

学2

820L

PD-22IB0.68-1.08N同上

活化

沉(1)取5ml活化槽液，至100ml容量瓶中，加纯硝酸

1线少量，解胶至澄清为止，加纯水定容到刻度，摇匀，

886LPd2+50-60ppm1次/班用AA机测，读数为a.

铜

(2)计算:Pd2+(ppm)=20*a.

2线

添加公式：CA-230(L)=(中值•测值)*V柚/1500

900L

P比重>1.145用量程为1.1-1.2比重计测，直接读数.

(1)取加速槽液5mL于锥形瓶中加入50mL水加入6N

速化

盐酸25mL，加入20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸

T

1线AL-242钠标液滴定至黄色，加入淀粉批示剂继续滴至无色

0.9-1.3%

886LB1次/班为终点。

H(2)计算:AL-242B(%)=1.2NV%

2线

(3)补加:AL・242B(L)=(1.2%•测产Vm

900L

PH8.75-9.25用PH计直接测量

制作单位：品保部文献编号：QY-QA3009-05

电镀药水化验操作规范制作日期：/01/20版本号：DI

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工槽名分析频

分析项目控制范畴分析办法及计算公式

序（体积）率

H.SO,210-230g/L1次/3天计算与分析办法同一铜线铜槽硫酸

CuSO4.5H

60-80g/L1次Z3天计算与分析办法同一铜线硫酸铜

20

铜槽

CL-55-85ppm1次/3天计算与分析办法同一铜线

脉1500L

冲光剂1次/周计算与分析办法同一铜线光剂

电电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片鉴定,

哈氏实验1次/周

镀哈氏看板三个月一换

线污染指数<120uA1次/周由CVS仪直接测定

酸洗

H2s0,9-11%次J3天计算与分析办法同一铜线酸洗

700L1

脱铜

HN0300-500mL/L次天计算与分析办法同一铜线脱铜

600L31/3

制作单位：品保部文献编号：QY-QA3OO9-O5

电镀药水化验操作规范制作日期：/01/20版本号：D1

总页数：第05-6页共10页

工槽名分析频

分析项目控制范畴分析办法及计算公式

序（体积）率

H2s0]210-230g/L1她天计算与分析办法同一铜线铜槽硫酸

CuSOt.5Ho60-80g/L1次/3天计算与分析办法同一铜线硫骏铜

CL55-85ppm1次/3天计算与分析办法同一铜线口二

光剂2.5-6.5mL/L1次/周计算与分析办法同一铜线光剂

1）用8mL/L润湿液作原则曲线并保存

洞湿剂7-llmL/L1次/周2）把槽液放在吸管下，把VMS液放在电极下，按分

铜槽析即可,记录数据

1）作整平剂曲线并保存

2）用50mL含LEVER原则液作INTERCEPT,再加入

填整平剂6-10mL/L1次/周501nL槽液,并加光剂（6-光剂测值）/20亳升,润

孔湿剂（25-润湿测值）/20亳升,按分析即可,记

电录数据

电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片鉴定，

镀哈氏实验1次/周

线哈氏看板三个月一换

污染指数W120uA1如周由CVS仪宜接测定

1）用75mLINTERCEPT原则液作空白

预浸预浸剂9-11%1次/周

2）加入25ml.预浸槽液按分析即可,记录数据

酸洗H.SO,9-11%1次/3天计算与分析办法同一铜线酸洗

脱铜HNO3300-500mL/L1次/3天计算与分析办法同一铜线脱铜

制作单位：品保部文献编号：QY-QA3009-05

电镀药水化验操作规范制作日期：/01/20版本号：D1

总页数：第05-7页共10页

槽名

工序分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式

(体积)

⑴取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水，

加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH原则液滴定至

H2sol200-240g/l黄色为终点,滴定毫升数为V.

(2)计算:H2so4=49*N*V

⑶补加:H2so4=(220-测)*7.9

(1)取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶

液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示

剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴

CuSOr5H2O55-75g/l

定毫升数为V

电(2)计算：CuSO<-5H0(g/l)=250*MV.

1次/3天2

镀(3)补加：CuSO：•5H2O(Kg)=(65-测)*5.5

铜(1)取样25ml置入锥形瓶中，加入50mlDI水,加

槽入25nli50%HN(h摇匀，作其后之比较

次(2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.INAgNOs

标液.

电cr40-80ppm⑶用0.01NHg(N03)2滴定至清晰为止，再滴1-2

滴，如澄清则已到终点,如浑浊贝1继续滴直到

清晰，清晰度与此液比较核算.

镀(4)计算:Cl(ppm)=1420*N*V

(5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5

铜电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片鉴定，

哈氏实验1次/周

甘哈氏看板三个月一换

光剂含量l-3mL/L1次/周由CVS仪直接测定

线

污染指数W120uA1次/周由CVS仪直接测定

(1)取样1ml于250ml锥形瓶中，加入50mlDI水，

用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNa01l滴至黄色为终点，

脱铜

HN0.33OO-5OOml/l记下NaOH之亳升数V.

(2800L)

1次/3天(2)计算:HN03(L)=65.94*V*N

(3)补加:HN6(L)=(400-测)*Vffl/1000

酸洗

ILSO,6-8%同PTH线微蚀槽中H2soi分析

(1600L)

同PTH线微蚀槽中H2sol分析

养板槽

ILSO,0.5-1.0%1次/班

(1000L)

制作单位：品保部文献编号：QY-QA3009-05

电镀药水化验操作规范制作日期：/01/20版本号：D1

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槽名

工序分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式

(体积)

(1)取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水，

加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH原则液滴定至

H2soi200-240g/l黄色为终点,滴定亳升数为V.

(2)计算:H2so产49*N*V

(3)补加：H2so产(220-测)*17.1

(1)取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶

液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示

剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴

CuS0r5H2055-75g/l

定亳升数为V

电

(2)计算：CuS0»-5H20(g/l)=250*N*V.

1次/3天

镀(3)补加：CuSOr5H2()(Kg)=(65-测)*12

铜(1)取样25ml置入锥形瓶中，加入50m11)1水,加

槽入25ml50%HN03摇匀，作其后之比较

(2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.INAgNOa

次O1

g标液.

Ocr40-80ppm(3)用0.01NHg(N03)2滴定至清晰为止,再滴1-2

电卜

滴，如澄清则己到终点，如浑浊财继续滴直到清

晰，清晰度与此液比较核算.

镀(4)计算：Cl(ppm)=1420*N*V

(5)添加:设1(01)=(60-测)*31.5

铜电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片鉴定，

哈氏实验1次/周

哈氏看板三个月一换

线光剂含量l-3mL/L1次倜由CVS仪直接测定

污染指数W120uA1次倜由CVS仪直接测定

(1)取样1ml于250nli锥形瓶中，加入50mlDI水，

用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为

脱铜

HN03OO-5OOml/l终点,记下NaOH之亳升数V.

(2768L)3

1次/3天(2)计算:HN03(L)=65.94*V*N

(3)补加:HNO3(L)=(③0-测)*Vm/1000

酸洗

112S0,6-8%同PTH线微蚀槽中H£0i分析

(1600L)

养板槽

H2sol().5-1.0%1次/班同PTH线微蚀槽中H2soi分析

(1000L)

制作单位：品保部文献编号：QY-QA3OO9-O5

电镀药水化验操作规范制作日期：/01/20版本号：D1

总页数：第()5-9页共10页

槽名

工序分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式

(体积)

(1)取1ml样于250ml锥形瓶中，加入50mlDI

水,加2-3滴甲基橙.用0.5NNaOH原则液

H2soi200-240g/l滴定至黄色为终点,滴定亳升数为Y.

(2)计算:H2so,=49*M*V

(3)补加:氏$0,=(220-测)*7.9

(1)取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶

液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示

剂用0.05NEDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴

CuS0r5H2055-75g/l

电定亳升数为V

(2)计算：CuSO,・5H0(g/l)=250*N*V.

镀1次/3天2

(3)补加：CuSO：•5H2O(Kg)=(65-测)*5.5

铜

⑴取样25nil置入锥形瓶中置口入50mlDI水，加入

槽

次25ml50%HN03摇匀,作其后之比较

((2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.INAgNO：

3(

7

0标液.

电0

Ccr40-80ppm⑶用0.01NHg(N(h)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴，

如澄清则己到终点，如浑浊则继续滴直到清晰，

镀清晰度与此液比较核算.

(4)计算:Cl(ppm)=1420*N*V

铜⑸添加:HC1(mL)=(60-测)*14.5

电流2A,记时5min,由赫尔槽打哈氏片鉴定，

翌哈氏实验1次/周

哈氏看板三个月一换

线光剂含量l-3mL/L1次/周由CVS仪直接测定

污染指数<120uA1次/周由CVS仪直接测定

⑴取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50m1DI水，

用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNa()H滴至黄色为

脱铜

HNO3OO-5OOml/l终点,记下NaOH之亳升数V.

(780L)；)

1次/3天⑵计算:HN(h(L)=65.94*V*N

(3)补力口:HNO.JL)=(400-测)

酸洗

H2soi6-8%同PTH线微蚀槽中ILSO」分析

(1200L)

养板槽

H2soi0.5-1.0%1次/班同PTH线微蚀槽中H2soi分析

(WOOL)

制作单位：品保部文献编号：QY-QA3OO9-O5

电镀药水化验操作规范制作日期：/01/20版本号：D1

总页数:第()5-1()页共1()页

槽名

工序分析项目控制范畴分析频率分析办法及计算公式