CN119451295A 激光加工装置、制备金属电极的方法、光伏电池 （广东工业大学）

了工艺流程，解决了二次加工位置校准难的问印刷精度的问题，还能避免了对非晶硅层的损2所述第一光路系统包括脉冲激光器和第一光路调节系统所述第二光路系统包括连续激光器和第二光路调节系统所述复合光路系统接收所述第一光束和所述第二光束，优选地，所述偏振反射镜与所述第二反射镜呈第三预设34电极是硅异质结电池里最重要的结构和材料，其主要功能是收集光伏效应产生的载流子，温银浆。然而低温银浆导电性较差、与ITO膜(TransparentConductiveOxide)接触电阻高、印刷性能差，异质结电池的浆料增重较大，占据整个异质结加工电池的成本的约30~该激光加工装置制备金属电极的方法，以及包含该制备方法获得的金属电极的光伏电池。5[0016](2)本发明提供的制备金属电极的方法，使用的铜电极浆料选用CuO和/或Cu2O纳6[0030]本发明第一方面提供了一种激光加工系统，其用于制备太阳能[0035]在一实例中，所述移动工作平台可以为二维移动工作平台或者三维移动工作平70_180度范围内(不包括端点值)自由取值。所述第三预设角度可以理解为偏振反射镜与第[0054]所述振镜控制复合光束按照设定的加工路径进行激光选择性金属图案化制备金解为CCD相机的光轴与振镜的旋转轴尽可能地保持在同一条直线上，以确保光线能够准确8[0065]步骤4：使用扫描振镜控制经过复合的激光束在待加工样品表面按预设的扫描区9伏性固化剂复配的复合固化剂可以使铜电极浆[0089]本发明选用同时具有分散作用和还原作用的聚乙烯吡咯烷酮及其衍生物作为分[0094]在一实例中，所述溶剂和所述分散还原剂的质量比为(1.8_14):1，例如可以为使铜电极浆料的固含量控制在合适的范围内，使铜电极浆料在包含较多金属组合物的同[0100](ii)将配方量的金属组合物和复合固化剂分批多次加入步骤(1)获得的混合溶液[0108](1)将铜电极浆料设置于硅基底(例如异质结电池基底17)的透明导电氧化物薄膜制经过复合的激光束在待加工样品表面按照设定的加工路径进行激光选择性金属图案化即可。例如可以采用烘干箱进行干燥，干燥温度可以为50℃_70℃,烘干时间可以为20_[0122]在一实例中，所述第2_N次激光扫描的激光能量高于所述第一次激光扫描的激光[0124]在一实例中，所述制备太阳能电池的方法还包括步骤(4)：采用去离子水进行漂然后在硅片的背面依次沉积本征非晶硅薄膜(i_a_Si:H)和n型非晶硅薄膜(n_a_Si:H)形成[0160](1)将配方量的聚乙烯吡咯烷酮和乙二醇多次分批(例如分4_5次)混合均匀，在[0175]本组制备例用于说明复合固化剂中，组分和比例的调整对铜电极浆料性能的影型单晶硅片(c_Si)的正面依次沉积本征非晶硅薄膜(i_a_Si:H)，和p型非晶硅薄膜(p_a_[0192](3)采用四面涂膜器将制备例1提供的铜电极浆料涂布至经步骤(2)清洗后的异质[0193](4)采用激光加工系统对干燥后的铜电极浆料涂层按照设计好的路径进行激光选[0201]采用场发射扫描电子显微镜对铜电极表面进行观测，以及采用EDS对铜线路元素[0203]参照实施例1进行，所不同的是，脉冲激光扫描的加工参数为：激光脉冲能量为[0205]参照实施例1进行，所不同的是，脉冲激光扫描的加工参数为：激光脉冲能量为[0207]参照实施例1进行，所不同的是，脉冲激光扫描的加工参数为：激光脉冲能量为[0209]参照实施例1进行，所不同的是，脉冲激光扫描的加工参数为：激光脉冲能量为[0211]参照实施例1进行，所不同的是，脉冲激光扫描的加工参数为：激光脉冲能量为[0217]参照实施例1进行，所不同的是，通过空间光整形器将高斯光均匀化为矩形平顶[0227]本对比例与实施例1相同，所不同之处在于，连续激光扫描参数为：激光能量为41.248.360.5408.645.2489.248.973.579.6198.784.271.540.150.9130.2299.4346.5799.674.8