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道科技园社区科苑路15号科兴科学园US9310924B2,2016.0应元件为第一感应元件,获取放大器的输出电2至少两个所述感应元件相互并联,分别独立地连接所述放对至少两个所述感应元件分别独立地施加激励信号,对放大器选取其中一个感应元件作为第一感应元件,获取所述放根据所述激励信号、所述反馈电容的电容值,以及施加在所述放大根据所述第一感应元件的互电容值和所述互电容差值,计算其他感应元件的互电容4.根据权利要求1或3所述的一种差分式互电容检测方法5.根据权利要求1或3所述的一种差分式互6.一种差分式互电容检测芯片,其特征在于,所述差分式互电容检测芯片执行权利要求1所述的差分式互电8.一种差分式互电容检测设备,其特征在于,包括345隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。[0049]参照图2,示出了本发明实施例中一种差分式互电容检测电路的一具体实施例的Ca包括本征互电容值CMa和有效互电容值CTMa,第二感应元件11的互电容值Cb包括本征互电6[0061]由于第一感应元件10的互电容值Ca=CMa-CTMa,第二感应元件11的互电容值Cb=[0066]参照图3,示出了本发明实施例中一种差分式互电容检测电路的另一具体实施例第一开关S1的一端连接放大器的反相输入端N,第一开关S1的另一端连接放大器的输出端感应元件12的互电容值Cc包括本征互电容值CMc和有效互电容值CTMc。第一感应元件10的驱7[0079]由于第二感应元件11的互电容值Cb=CMb-CTMb,第三感应元件12的互电容值Cc=第二感应元件11的归一化互电容值Cb。根据第二感应元件11的归一化互电容值Cb和由式8[0096]由于第一感应元件10的互电容值Ca=CMa-CTMa,第二感应元件11的互电容值Cb=[0098]测量第一感应元件10的互电容值Ca,根据测得的Ca和由式(15)计算得到的ΔCab,9[0116]参照图4,示出了本发明实施例中一种差分式互电容检测电路的另一具体实施例感应元件10的互电容值Ca包括本征互电容值CMa和有效互电容值CTMa,第二感应元件11的互[0132]重复第二复位阶段和第二电荷转移阶段的步骤m次(m为自然数),得到反馈电容C[0140]由于第一感应元件10的互电容值Ca=CMa-CTMa,第二感应元件11的互
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