CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 （北京理工大学）_第1页
CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 （北京理工大学）_第2页
CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 （北京理工大学）_第3页
CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 （北京理工大学）_第4页
CN111442740B 一种大口径工作台移相干涉面形测量装置及方法 （北京理工大学）_第5页
已阅读5页，还剩18页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

号一种大口径工作台移相干涉面形测量装置本发明涉及一种大口径工作台移相干涉面过单个压电陶瓷以小推力驱动低摩擦重载工作长调谐所导致的色差和4)干涉腔长度等因素的2小口径干涉仪主机出射的准直光束被扩束系统扩束成大口径测量光所述位移传感器包括接触式位移传感器和非接触式所述低摩擦重载工作台包括液压工作台、气浮工作台、精密滚珠所述一种大口径工作台移相干涉面形测量方法的测量步进而驱动低摩擦重载工作台及被测平晶实现定步长移步骤四、从三个位移传感器的测量数据中推算出平移和倾斜移相误差的大小和方向，将其带入消倾斜移相干涉算法并最终计算面形位移传感器的测量数据中推算平移和倾斜移相35.如权利要求1所述的一种基于低摩擦重载工作台移相的大口径高精度移相干涉测量示像素坐标，max[I(i,j,n)]和min[I(i,j,n)]分别表示所有干涉图中(i,j)像素点上的最a(i,j)＝{max[I(i,j,n)]+min[I(i,j,n)]b(i,j)＝{max[I(i,j,n)]-min[I(i,j,n步骤(2)、将计算得出的平移和倾斜移相量作为已知值，利用最小二乘法计算相位分C(i,j)＝b(i,j)cos[W(i,步骤(4)、给定收敛阈值ε,将im作为判据来判断迭代计算是否收敛；若则认4[0003]移相干涉测量(PSI)因具有光学干涉测量领域特有的抗背景干扰能力和高精度测朱日宏,高志山.由三个压电陶瓷堆组成的干涉仪移相器的校正与标定[J].光学学报,博士在其学位论文(武旭华.p300mm移相干涉仪的关键技术研究[D].南京理工大学,于移相测量过程中参考镜和被测镜均保持不动，这极大地增加了仪器系统的机械稳定性，5tuningphase-shiftinginterferometer,"in2ndInternationalSymposiumon1/20λ。2011年，南京理工大学的刘兆栋博士的学位论文(刘兆栋.p600mm近红外相移斐索干涉仪校准及测试技术研究[D].南京理工大学,2011.)详细介绍了其研究的600mm口径司是目前世界上干涉计量行业的领导者之一，其生产的24英寸(p600mm)及以上大口径移相干涉仪也采用波长调谐移相方式进行移相干涉测量(https:/6精确推算出平移和倾斜移相误差，并将其带入消倾斜移相算法中以精确计算出待测面形，7j)表示像素坐标，max[I(i,j,n)]和min[I(i,j,n)]分别表示所有干涉图中(i,j)像素点上[0044]步骤(4)、给定收敛阈值ε,将in)作为判据来判断迭代计算是否收敛；若it8[0049]3.采用消倾斜移相干涉迭代算法进一步抑制了倾斜移相[0063]小口径干涉仪主机1(口径100mm)出射的准直光束被扩束系统2扩束成大口径测量9而形成一层高压气膜并以此保证气浮工作台16与直线导轨9不直接接触，以此保证了低摩监测平板8上对应地固定有三个角锥棱镜23以原路反射光学传感器22的

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 信息产业

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论