化学机械抛光垫-团体标准编制说明

1、项目背景

万桦(常州)新材料科技有限公司,是一家具有现代新型管理模式和强大技术实力的聚氨酷(PU)新材料的绿色环

保新型企业。公司座落于风景秀丽、经济发达的江南水乡常州市武进经济开发区，西临南京，东靠上海，交通发达,

信息便利。公司注册资2075万元,占地面积34000平方米,现有员工150人,拥有中、高级职称技术人员45人,技术

力量雄厚,是一家集研发、生产、检测.营销为一体的新型企业,年生产能力为700万米以聚氨脂为主的高分子复合新

材料。公司拥有先进的全自动干式、湿式生产线印刷机、压花机、磨皮机和DMF回收等全套后处理设备;一流的实

验、分析、检测装置。现主要开发经营3C类;蓝宝石、硅片、锗片、碳化硅、砷化稼类;晶圆半导体类粗抛、精抛材

料如:白磨皮、抛光垫、阻尼布、吸附垫、无蜡垫。公司于2008年通过S09001、IS014001质量环境认证;在2020

年成立子公司科桦(常州)新材料科技有限公司,致力于水性、无溶剂、高档绒面等特殊领域新材料研发生产及销售。

公司秉承“科技领航,品质至上”的宗旨,以卓越的产品质量、快捷的交货速度和优良的售后服务为海内外客户

服务。

我国目前生产化学机械抛光垫的企业大部分执行2008年的行业标准GB/T8949—2008《聚氨酯干法人造革》，

由于该行业标准发布的时间较久，随着企业的不断研发和创新，已无法来满足企业的技术研发和科技进步的需求，

作为全国化学机械抛光垫较大的生产企业，需要通过本团体标准的制定和发布，将规范同行业企业的生产工艺，提

升产品标准和质量水平，实现项目产品的产业化，替代国外进口产品，引领和规范化学机械抛光垫行业高质量的有

序发展，提高企业的核心竞争力，提高行业的技术水平，填补国内空白。

本次，公司申请制定《化学机械抛光垫》团体标准，旨在提升产品质量标准水平，规范行业高质量发展，提高

企业在本行业的市场知名度和美誉度，提高企业的核心竞争力。通过对团体标准的实施、引领、指导和规范化学机

械抛光垫产品质量，对提高产品品质具有十分重要的作用。

2、项目来源

为了提高产品质量标准，提高企业应变能力，以更好的满足社会需求，经万桦（常州）新材料科技有限公司申

请，2023年2月15日，江苏省质量协会批准《化学机械抛光垫》团体标准项目（苏质协【2023】2号）的正式立

项。

3、标准制定工作简况

3.1标准制定相关单位及人员

本文件由江苏省质量协会提出并归口。

本文件起草单位：万桦（常州）新材料科技有限公司、科桦（常州）新材料科技有限公司、艾特维（广州）新

材料有限公司。

本文件主要起草人：傅一科、袁栋、王昕。

3.2主要工作过程

团体标准正式立项后，标准起草单位组织相关技术人员以相关行业标准为基础，以公司自主制定的企业标准为

支撑，经过充分的调研与分析研究，在起草组内部进行多次研讨，修改形成《化学机械抛光垫》团体标准送审稿。

2022年8月初成立了“化学机械抛光垫”团体标准起草小组。起草小组实地走访了省内外化学机械抛光垫专家，

同时具体了解公司的部分用户的实际需求和使用效果。

2022年9月，起草小组对收集的资料进行整理研讨，比对相关国家标准、行业标准开始起草“化学机械抛光垫”

团体标准的草案。

2022年10月，组织省内外化学机械抛光垫行业专家、有关用户单位等对团体标准的草案进行研讨，在多次研讨

后形成征求意见稿。

2022年11月，起草小组将“化学机械抛光垫征求意见稿”向各有关单位发出征求意见函，共收到相关建议和意

见12条。起草小组对收集到的意见进行认真分析和处理，有效采纳10条，并对征求意见稿进行了修改，形成送审

稿。

4标准编制原则、主要内容及确定依据

4.1编制原则

4.1.1标准的编制遵循GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

4.1.2团体标准内容制定是在吸收国内外化学机械抛光垫行业先进技术和经验的基础上，广泛收集国内同行及使用

厂家的意见，结合我国的化学机械抛光垫行业现状，作为制定本团体标准的技术依据。制定团体标准时既考虑实用

性和可操作性，也力求使技术要求符合国内外化学机械抛光垫行业发展的需要。

4.2主要内容及确定依据

4.2.1主要框架

本标准规定了化学机械抛光垫的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运

输和贮存。

技术要求规定了正常生产、检验和使用环境条件、外观、产品性能。外观质量包括外来脏污、气孔、异物夹入

抛光垫、抛光垫上压痕、沟槽缺陷。

其中，厚度的极限偏差的技术指标高于国家标准GB/T8949—2008《聚氨酯干法人造革》，克重、密度、压缩率、

压缩弹性率、硬度填补了国家标准GB/T8949—2008《聚氨酯干法人造革》的空白。

4.2.2引用和参考的标准

GB/T191包装储运图示标志

GB/T2411—2008塑料和硬橡胶使用硬度计测定压痕硬度（邵氏硬度）

GB/T6672-2001塑料薄膜和薄片厚度测定机械测量法

GB/T8949—2008聚氨酯干法人造革

GB/T24218.1—2009纺织品非织造布试验方法第1部分：单位面积质量的测定

GB/T50073-2013洁净厂房设计规范

4.2.3主要内容的确定（主要技术指标及其确定依据）

4.2.3.1标准的适用范围

本文件适用于以溶剂型聚氨酯、N-N-二甲基甲酰胺为原料，经非溶剂相转化方法制得软质抛光层，并以层叠结

构加以复合剂得的化学机械抛光垫。

4.2.3.2主要内容及说明

本标准规定了化学机械抛光垫的术语和定义、分类和型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运

输和贮存。

技术要求规定了正常生产、检验和使用环境条件、外观、产品性能。外观质量包括外来脏污、气孔、异物夹入

抛光垫、抛光垫上压痕、沟槽缺陷。

5团体标准先进水平对比情况

5.3.1厚度极限偏差要求高于国家标准GB/T8949—2008《聚氨酯干法人造革》的要求。

5.3.2克重、密度、压缩率、压缩弹性率、硬度等5个技术指标填补了国家标准GB/T8949—2008《聚氨酯干法人

造革》的空白。

5.2本标准中的其他技术要求也已达到国内外当前的技术水平。

5.3先进性比对表见下表1。

表1先进性对比表

关键性指标对标

序标准确定依据先进性

指标名称

号章节内容2对比标准编号及名称章节内容性质3

KH7090KH7100KH7140厚度极限偏差

5.3.1GB/T8949—2008《聚氨

1厚度（mm）表20.6～0.9±0.07A

表10.85土0.050.95土0.051.45土0.05

酯干法人造革》＞撒

＞0.9±0.10

5.3.1KH7050KH70G0(P)KH7090KH7100KH7140GB/T8949—2008《聚氨

2克重（g/m2）无无B

表1

170土30460土30320士30350土30520士30酯干法人造革》

5.3.1KH7050KH70G0(P)KH7090KH7100KH7140GB/T8949—2008《聚氨

3密度(g/m3)无无B

表1

0.35土0.050.7+0.05038+0050.38土0.05035士0.05酯干法人造革》

KH7050KH70G0(P)KH7090KH7100KH7140

5.3.1GB/T8949—2008《聚氨

4压缩率(%)无无B

表1

13.0土2.08.0士2.09.0土2.09.0士2.09.0+2.0酯干法人造革》

压缩弹性率5.3.1KH7050KH70G0(P)KH7090KH7100KH7140GB/T8949—2008《聚氨

5无无B

表1

(%)80士1075士1080士1080士1085士10酯干法人造革》

KH7050KH70G0(P)KH7090KH7100KH7140

5.3.1GB/T8949—2008《聚氨

6硬度(LX-A)无无B

表1

40土575土560土560土560土5酯干法人造革》

填表说明：

1、“产品（服务）类别”一栏根据GB/T4754—2017《国民经济行业分类》中产品（服务）所属大类填写。

2、“标准”下的“内容”一栏必须含有指标先进值等内容。

3、“先进性性质”一栏是单选，选项包括：A技术要求严于国际、国家、行业、地方标准、B填补国际、国内空白（现有国际、国家、行业、地方标准未对相应指标做出要求）。

4、标准所有指标必须符合强制性标准的强制要求。

6与现行相关法律、法规、规章及相关标准的协调性

6.1目前国内执行的标准：

GB/T8949—2008《聚氨酯干法人造革》

6.2标准协调性

6.2.1本标准与相关法律、法规、规章、强制性标准无冲突，与我国有关法律法规和其他标准相互协调，无矛盾抵

触。

6.2.2本标准不存在低于相关国家标准等推荐性标准的情况。

7社会效益和经济效益

本团体