《无纺布-聚氨酯复合抛光垫》

ICS

G

团体标准

T/SHXCL-0004-20XX

无纺布/聚氨酯复合抛光垫

Nonwovens/polyurethanecompositepolishingpad

征求意见稿

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

上海市新材料协会发布

T/SHXCL-0004-202X

前言

本文件按GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起

草。

本文件由上海市新材料协会提出。

本文件由上海市新材料协会标准化技术委员会归口。

本文件起草单位：

本文件主要起草人：

本文件于2021年月日首次发布。

I

T/SHXCL-0004-202X

1范围

本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、

贮存。

本文件适用于无纺布/聚氨酯复合抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等领域，

还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、

不锈钢、钨、膨胀玻璃抛光。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2411-2008塑料和硬橡胶使用硬度计测定压痕硬度（邵氏硬度）

GB/T3505-2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数

GB/T6342-1996泡沫塑料与橡胶线性尺寸的测定

GB/T6343-2009泡沫塑料及橡胶表观密度的测定

GB/T6618-2009硅片厚度和总厚度变化测试方法

GB/T6624-2009硅抛光片表面质量目测检验方法

GB/T24442.1-2009纺织品压缩性能的测定第1部分：恒定法

GB/T29507-2013硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

无纺布/聚氨酯复合抛光垫nonwovens/polyurethanecompositepolishingpad

聚氨酯溶液与无纺布基底通过特定的工艺复合而成。

4分类

无纺布/聚氨酯复合抛光垫按产品的邵尔C硬度不同分为：

PG-S——产品的硬度为65±5；

PG-M——产品的硬度为75±5；

PG-H——产品的硬度为85±5。

5技术要求

5.1规格尺寸

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无纺布/聚氨酯复合抛光垫规格尺寸常见有Φ360mm、Φ915mm、Φ1120mm、Φ1220mm、Φ1300mm、

Φ1450mm，厚度一般为1.2-3mm，也可根据客户需求定制相应尺寸。

5.2外观

无纺布/聚氨酯复合抛光垫外观为表面平面型或网格型、螺旋线型等开槽的薄垫。

5.3物理性能

无纺布/聚氨酯复合抛光垫物理性能应符合表1的要求。

表1物理性能指标

项目要求

PG-SPG-MPG-H

密度，g/cm30.3±0.040.37±0.040.45±0.05

压缩率，%5±13±0.52±0.5

压缩弹性率，%75±570±570±5

硬度，邵尔C65±575±585±5

吸水率，%120±10100±1080±10

5.4应用性能

无纺布/聚氨酯复合抛光垫应用性能应符合表2的要求。

表2应用性能指标

项目要求

PG-SPG-MPG-H

去除率，μm/min0.6-0.70.7-0.80.8-0.9

平整度，TTV/LTVμm＜2＜2＜2

坑点划伤数，%＜2.5＜2.5＜2

粗糙度，nm＜0.2＜0.25＜0.3

6试验方法

6.1尺寸

按GB/T6342-1996规定进行测定。

6.2外观

在自然光照下，目视检查。

6.3密度

2

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按GB/T6343-2009规定测定表观芯密度，样品尺寸为300mm×300mm×1.2mm。

6.4压缩率

按GB/T24442.1-2009规定进行，样品尺寸为30mm×30mm×1.2mm，压脚面积0.785cm2，手动

加载，轻压载荷300gf/cm2，加压时间30s，重压载荷1800gf/cm2，加压时间60s。

6.5压缩弹性率

按GB/T24442.1-2009规定进行，样品尺寸为30mm×30mm×1.2mm，压脚面积0.785cm2，手动

加载，轻压载荷300gf/cm2，加压时间30s，重压载荷1800gf/cm2，加压时间60s，恢复时间60s。

6.6硬度

按GB/T2411-2008规定进行，采用ShoreC型硬度计。

6.7吸水率

从产品中裁取5个尺寸为100mm*100mm*1.2mm的样品，称重M1，样品质量至少为1g。将样品放入金属

网中，随后将带有样品的金属网放在容器中，距离液面约20mm处。（60±1）s后取出样品和金属网，垂

直悬挂样品（120±3）s，对样品称重M2，按式1计算吸水率：

（1）

式中：X=(M2−M1)/M1

X——吸水率，%

M1——浸水前样品质量，mg

M2——浸水后样品质量，mg

取5次测量结果的平均值。

6.8去除率

6.8.1取2片尺寸为Φ8英寸的双面研磨的硅片（N型单晶硅，P参杂），按GB/T6618-2009规定测定硅片

厚度h0。

6.8.2按附录A规定抛光硅片。

6.8.3按GB/T6618-2009规定抛光后硅片的厚度h1。按下式计算去除率Y：

Y=（2）

ℎ1−h0

式中：�

Y——去除率，μm/min

h1——抛光后硅片的厚度，μm

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h0——抛光前硅片的厚度，μm

t——抛光时间，min

6.9平整度

按附录A规定抛光后，按GB/T29507-2013规定测定硅片。

6.10坑点划伤数

按附录A规定抛光后，按GB/T6624-2009规定测定硅片。

6.11粗糙度

按附录A规定抛光后，按GB/T3505-2009规定测定硅片。

7检验规则

7.1检验分类

检验分为出厂检验和型式检验。

7.1.1出厂检验

出厂检验每批检验一次，检验项目为尺寸、外观、密度、压缩率、压缩弹性率、硬度。

7.1.2型式检验

型式检验为全项目检验。有下列情况之一时，应进行型式检验：

a）新产品或老产品转产生产的试制定型鉴定；

b）正式生产后，如配方、原料、工艺改变，可能影响产品性能时；

c）产品停产一年以上，恢复生产；

d）正常生产时，每年进行一次检验；

e）出厂检验结果与上次型式检验有较大差异。

7.2组批

检验以批为单位。以同一卷无纺布基布制备的抛光垫为一个检验批。

7.3抽样

出厂检验样本应从每一批中随机抽取3片抛光垫作为试验样品进行检验，复验抽样需在同一批中

抽取。型式检验的样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取5片抛光垫作为试验样品进行检验。

7.4判定与复验规则

检验结果若有任何一项不合格者，应重新取两份试样对该项目进行复验，复验结果仍不合格时，则

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该批为不合格品。

8标志、包装、运输、贮存

8.1标志

包装容器上应标有下列内容：

a）产品型号和中文名称；

b）规格尺寸；

c）产品标准号；

d）产品数量，以pcs表示；

e）生产厂名；

f）生产日期和批次；

g）有效贮存期。

8.2包装

10pcs/箱或者20pcs/箱，箱子材质为硬纸板，可根据客户要求调整包装数量。

8.3运输

产品在运输时应防止雨淋、日光曝晒，并符合交通运输部门的有关规定。

8.4贮存

应贮存在阴凉、通风、干燥的仓库内，防止日光直射，并应隔绝火源，远离热源。在符合上述贮运

条件下，自生产之日起，产品保质期一年。

5

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附录A

（规范性附录）

抛