聚氨酯-无纺布复合抛光垫

T/SHXCL-0004-2020X

11—

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本文件按GB/TLL2O2O«标准化工作导则第I部分：标准化文件的结构和起苴规则》的规定起

草。

本文件由上海市新材料协会提出。

本文件由上海市新材料协会标准化技术委员会归口。

木文件起草单位：

本文件主要起草人：

本文件于2021年月日首次发布。

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无纺布/聚氨酯复合抛光垫

1范围

本文件规定了无纺布/聚氨酯更合抛光垫的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、

贮存。

本文件适用于无纺布/聚宏酣更合抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等领

域,还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、镀、熔融石英、磷化钢、银酸锂、

银酸锂、不锈钢、钙、膨胀玻璃抛光。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

.GB/T2411-2008一塑料和硬橡胶一_使用硬度计测定压痕硬度(邵氏硬度)［带格式的：字体颜色：自动设况Q

［带格式的：字体颜色：自动设置

GB/T3505-2009产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数j

GB/T6342-1996泡沫塑料与蟆胶线性尺寸的测定

GB/T6343-2009泡沫诩料及橡胶表观语度的测定

GB/T6618-2(X)9硅片厚度和总厚度变化则试方法

GB/T6624-2(X)9硅抛光片表面质fi目测检验方法

GB/T24442.1-2009纺织品压缩性能的测定第1部分：恒定法

GB/T29507-2013硅片平整度、耳度及总厚度变化测试自动非接触扫描法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

无纺布/聚氨函复合抛光垫nonwovens/polyurethaneconapositepolishingpad

.聚氨酯溶液与无纺布基底通过特定的工艺更合而成。［福格式的：字体商色：自动设徨)

4分类

无纺布/聚氨用短合抛光垫按产品的邵尔C硬度不同分为:

PG-6s——产品的硬度为65±50j_

PG-M——产品的硬度为75±5：

PG-H——产品的硬度为85±5。

45技术要求带格式的：缩进：左侧：0阻米，首行缩进：0厘

果

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45.1规格尺寸(带格式的：字体而色：自动设置____1

［带格式的：字体囱色：自动i殳较

火纺布/次短酯分合微注垫热格尺寸常见行①36()mm、<t><)15mm、①1120mm.①1220mm、01、1

t--------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

［带格式的：字体颜色：自动设置

q)1450mm,厚度一般为1.2-3min,也可根据客户需求定制相应尺寸.

54.2外观

无纺布/聚氨而更合抛光垫外观为&IQ平面即域网格型、一螺族线型等开槽的薄机.带格式的：字体：(默认)TimesNewRoman,(中文)

宋体,字体颜色：自动设置,图案：清除：

带格式的；字体颜色：自动设汽)

45.3物理性能

无纺布/聚氨酯复合抛光垫物理性能应符令表41的要求。

表受物理性能指标

项目要求

PGjjSPG-MPG-II

密度，g/cm'0.3±0.010.37±0.04”0.45±0.05H

压缩率•%5±13±0.52±0.5

压缩弹性率，%75±570±570±590

硬度，邵尔C65±575±57685±5

吸水率，%120±10100±1080±10

45.4应用性能

无纺布/聚氨酯匆合抛光垫应用性能应符合表22的要求“

表22应用性能指标

项目要求

PGzlSPG-MRG-H

去除家,Mrn/min0.6H170.7-0.80.8-0.9

平整度，TTV/LTVum<2<2<2

坑点划伤数•％<2.5<2.5<2

粗糙以，nn<0.2<0.25<0,3

56试驶方法

§6.1尺寸

按GB/T63421996规定进行测定l。

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56.2外观

在自然光照下，目视检查无幼q大附复合抛北个外♦为改及平面型或网格型'螺旋线型等开槽・带格式的：字体：（中文）宋体,字体颜色：自动设置

的筛，

带格式的：字体：（中文）宋体，字体颜色：自动设固

56.3密度带格式的：条1,第进：苜行缩进：2字符，行距：

,琅倍行矩

带格式的：字体：（中文）宋体,字体颜色：自动设置

按GB/T6343-2009规定测定表观芯密度，样品尺寸为300mmX300mmX1.2mm。

［带格式的：字体颜色：自动设苗F

56.4压缩率1带格式的】多体：TimesNewRonan,（国际］宋体）

「带格式的:字体演色：自动设置.）

按GB/T24442.12009规定进行，拜品尺寸为30mmX3（hnmX1.2mm,压脚面积0.785c此［带格式的：字体颜色：白动设色.上标二

速度，手动加手，轻压载荷300ef/cm2,加压时间和s,测定其厚度如■重压教荷1800gf/cmL加压时间1带格式的:字体颜色：自动设巴二

［带格式的［字体囱色：自动设第j

呼，测定其厚度包。

［带格式的：字体面色：自动设置,下标:

的.5压缩弹性率I带格式的：T体颜色：自动坟置.!

［带格式的:一字体颜色：自动设^

［带格式的:一字体颜色：自动设混，二F标

按GB/T24442.1-2009规定进行，，样品尺寸为30mmX30mmX1.2mm,压脚面积0.785cn「Tl莪

［带格式的：字体前色：自动谀置］

速度，手动加手,轻压载荷300小/（:小,加压时间？0s,重压载荷1800gf7cm?,加压时诃可太，恢更时回1带格式的：字体颜色：自动设置.（

60s.［带格式的1字体班色：自动设》

「格格式的「字体演色：自动设徨

56.6硬度

按GB/T2411-2008规定进行，采用ShoreC型硬度计。

56.7吸水率

从产品中裁取5个尺寸为lOOiwHOOmn^l.Zmm的样品，称重Ml,样品旗破至少为lg,将样品放入金属

网中，随后将带有样品的金属网放在容器中，距离液面约20mm处。（60±1>s后取出样品和金属网，垂

直悬挂样品<120±3）s,对样品称重M2,按式1计算吸水率：

（带格式的：字体颜色：自动设置

X=（M2-（1）____J

1带格式的：字体质色：自动设置1

式中：

X——吸水率，%

Ml---浸水前样品质量，mg

M2---浸水后样品质最，mg

取5次测量结果的平均值。

56.8去除率

（带格式的：字体筋色：自动设阻______

［带格式的：字体颜色：自动设置______

56.8.1取12片尺寸郑t>8英寸卅叱工用1**多通的双面研磨未经触光的硅片（N型单晶硅，P参杂）.，按j带格式的：字体：（国际）宋体

i带格式的：字体：（国际）宋体

GB/T6618-2009规定判定硅片厚度hoc______j

带格式的：字体：（国际）末体

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［带格式的：检衣拼写和谙法!

56.8.2将用小径.为，必制、齐唉1丁州R的必由视解。光电卬硅片装入#光机中.，耳盘4伞炖光头4：-

▲▲▲....R.....9.1.M.H▲■2▲..........］2带格式的:字体：（国际）宋体~

每盘1个--抛--光--头装6▲s--8—1片？u—果用撇光垫配■合▲乳化社・・一抛光液监邛QLHO4-A牌...耳..）-▲抛一“糊期却底T#i44I带格式的：默认段落字体，字体：宋体

带格式的：段，心行距：固定值20磅，？体对齐：

芭设定■为压■为LlOOkM,-转速=4。升性-1楼）匕时■问L20t*”sgftiHL部度汗42广受5⑥L抛此次稀释在h-方太：自动对齐

20-10〃技附录A规定抛光硅片。一带格式的：检查拼写和诺法

56.8.3按GB/T6618-2009规定抛光后硅片佗厚度h“按下式计算去除率Y：带格式的:字体：（国际）宋体

带格式的:一字体：字体颜色：自动设日，（国际）宋体

丫上如（2）

r4带格式的：字体：（默认）宋体,（中文）宋体，字体

颜色：自动i殳设

式中：

带格式的：字体：字体颜色：自动设置.（国际）宋体

Y----去除率，Pm/inin

带格式的：字体：（国际）宋体

hi----抛光后硅片的厚度，Um带格式的:字体：字体颔色：自动设较.（国防）东部

h,.—抛光前硅片的厚度，Uin

［带格式的：字体：（国际）宋体

t---抛光时间，min〔带格式的：字体：（默认）宋体.（中文）宋体r

［带格m的：字体：（国际）宋体

S6.9平整度［带格式的：字体：（默认）末体,（中文）宋体］

〔带格式的:字体：（国际）宋体

按附录「回2规定抛光后,按GB/T29507-2013规定,测定硅片。【带格式的：字体：（默认）宋体,（中文）宋体r

।带格式的「字体：（国际）宋体］

56.10坑点划伤数

〔带格式的：检杳拼写和语法j

按附录A工&2规定抛光后,按fB/T6624-2009制定测定硅片。一带格式的:字体：宋体，不检查拼写或语法j

带格式的「默认段落字体，字体：（默认）TimesNew

Roman,不松ff拼写或语法

56.11粗糙度

按阳泵八532规定抛光后,按GB/T3505-2009规定测定硅片。

67校览规则

67.1检骗分类

检验分为出厂检验和型式检验。

67.1.1出厂检验

出厂检验每批检验•次，检验项目为尺寸、外观、密度、压缩率、压缩弹性率、硬度

67.1.2型式检验

型式检验为全项目检验。rr下列情况之•时，应进行型式检验：

a）新产品或老产品转产生产的试制定型鉴定：

b）正式生产后，如配方、原料、工艺改变，可能影响产品性能时：

c）产品停产一年以上，恢复生产：

d）正常生产时，每年进行一次检验：

c）出厂检验结果与上次型式检验有较大差异。

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67.2组批

检验以批为单位。以同一卷无纺布基布制备的抛光垫为一个检验批。

67.3抽样

出厂检验样木应从每一批中Ki机抽取3片抛光垫作为试验样品进行检验，复验抽样需在同一批中

抽取。型式检验的样品应从出厂检验合格的产品中随机抽取5片抛光垫作为试验样品进行检验。

67.4判定与复验规则

检验结果若有任何•项不合格者，应重新取两份试样对该项目进行攵验，及验结果仍不合格时，则

该批为不合格品。

78标志、包装、运输'贮存

78.1标志

包装容器上应标行下列内容：

a）产品型号和中文名称：

b）规格尺寸：

c）产品标准号：

d）产品数量，以pcs表示：

e）生产厂名：

f）生产日期和批次：

g）有效贮存期。

78.2包装

lOpc"箱或者20pcs/箱,箱子材质为硬纸板，可根据客户要求调整包装数量。

78.3运输

产品在运输时应防止雨淋、日光曝晒，并符合交通运输部门的有关规定。

8.4贮存

应贮存在阴凉、通风、干燥的仓库内，防止日光直射，并应隔绝火源，远离热源。在符合上述贮运

条件3自生产之日起，产品保质期一年。

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［带格式的：字体：

（国际）黑体一

带格式的：参芍文献、索引标遂,2级.缩进：左的：

附录AII''!：..」『迸:5.25字图.定义网恪后小两女

《规范性附录）右缩进.段落间河段前：12磅,段后：12磅，不调

泮西女1i中玄？向的中片.不网舫中立和初字^间的

抛光垫抛光试」方法空格

带格式的：字体：（默认）+中文正文（宋体》,（中文）

，中文正文（宋体）

A1范围

带格式的：字体：（默认）+中文正文（宋体），（中文）

+中文正义（宋体）

本试验方法适用于测定抛光裕的应用性能。带格式的：字体：（国际）黑体.

j带格式的：字体：

愿体:

A2试验设备和材料［带格式的：字体：

（国际）爆体;

1带格式的▽

［带格式的

演格式的

抛光［带格式的不

［带格式的

A2试验材料

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双面研磨畦片..8.英寸（N型单晶硅，P参杂），

〔带格式的▽

抛光垫，直径915则、屏，吱1.2则［带格式的

演格式的

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乳化硅抛光液

［带格式的▽

卜3试验步龈［带格式的

i带格式的b

按1：20s1：30比例稀释抛光液。将抛光装贴在抛光机下盘上，将和双面研廉硅片装入抛光机贴（带格式的—■

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.，理一台机器设定2个抛光头抛光i车地兆头裟4■耳。.采用抛光垫（国际）黑体：

［带格式的：字体：

配色乳化硅抛光液抛光硅片衬底，抛光工艺设定为：，乐力：IQOkpa,转速：45rpm，抛光时间：20min」（国际）黑体；

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.FOtnin,孤度；42—c45*C。，▽

［带格式的：然认段落了体

抛光液经加料桶由肺衣.机j'I科的央流入一何.g■每次加20L,加多少？每个抛光头是—

i带格式的：默认双落字体.

个抛火:电,双面研磨硅片装比2片，陶笈窗上贴外吸附坐,「二片奘入吸附垫。？如何装？.,V［带格式的

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