CN113745140B 晶圆转移机械臂、晶圆水平承托装置以及承托方法 （上海大族富创得科技股份有限公司）

司JP2007067345A,200本发明通过机械臂本体和晶圆水平承托装置相驱动托爪组形成多种用于容纳并承托晶圆的收2设置于所述机械臂上的晶圆水平承托装置，所述晶圆水平承托装置包至少一个托爪盘，所述托爪盘上设置有两个托爪组，两所述托驱动机构，所述驱动机构用于驱动至少一所述托爪组移动，以使对述承托面相对水平面朝向所述托爪盘以及所述收容空间中心的方3所述驱动机构包括一所述安装件，多个所述托爪盘的对应所述托爪组所述驱动机构包括多个所述安装件，多个所述托爪盘的对应所述托爪所述安装座内沿其高度方向设置有多个搭接块组，所述搭接块组包规整驱动机构，所述规整驱动机构用于驱动所述规整杆推动位S101承载一状态晶圆时，控制所述驱动机构驱动S102承载另一状态晶圆时，控制所述驱动机构驱S200控制所述晶圆水平承托装置伸入晶圆盒内并向4S300控制所述驱动机构驱动一所述托爪组移动，以5要的平面工作空间几乎是双臂双爪设计的2倍，而双臂双爪同样一次只能进行一片晶圆搬所述限位面用于限制所述晶圆水平移动，所述驱动机构用于驱动至少一所述托爪组移动，6[0012]本发明的一个较佳实施例中，所述机械臂能够带动所述晶圆水平承托装置平移7述托爪盘模组内的多个所述托爪盘的相对高度可调。盘的厚度方向的相对两侧，且所述托爪盘上对应所述传感器的检测工位设置有第一避让[0052]本发明通过机械臂本体和晶圆水平承托装置相配合，实现对水平状态晶圆平稳、8基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有9520，晶圆水平承托装置520设置于机械臂上，通过机械臂本体510带动晶圆水平承托装置[0073]其中，如图2所示，晶圆水平承托装置520包括驱动机构523和至少一个托爪盘空间的中心，以限制位于对应承托面5222上的晶圆1偏离。即限位面5221和承托面5222相[0077]或如图3所示，承托面5222相对水平面朝向托爪盘5211以及收容空间中心的方向托面5222使得晶圆1底面与承托面5222为点接触或线接触，减小接触面防止晶圆1面损坏。承托面5222连接处与晶圆1的圆周相适配的弧形结构，此时，既指当承托面5222为倾斜面外部延伸，从而形成类似喇叭的形状，使得限位面5221同时能够引导晶圆1滑向承托面一个托爪块522组能够在驱动机构523的驱动下沿托爪盘5211的盘面(即水平方向)移动以使得上层组或下层组形成适当的收容空间以容纳晶圆1。上层组和下层组既可以形成相同[0083]一般而言，驱动机构523用于驱动一托爪组相对另一托爪组沿托爪盘5211表面平不限于此，两托爪组可以均包括一个托爪块522，两托爪块522沿晶圆1的直径所在直线设连接的多个托爪盘5211，且多个托爪盘5211沿连接座5212的高度方向依次间隔层叠设置。具体地，本实施例中设置有5个托爪盘模组521，且每个托爪盘模组521内包括5个托爪盘[0089]优选地多个托爪盘模组521的相对高度可调，和/或同一托爪盘模组521内的多个水平度等方面的调整。如果需要更换其中的一片托爪盘5211时，只需要更换包括托爪盘5211安装到立板上，让最上层支撑块或其他层支撑块对应设置的搭接耳52121与支撑耳板组件5232连接的衔接件5233、以及与衔接件5233连接并用于安装任一托爪组的安装件传感器525的发射端和接收端分别设置于托爪盘5211的厚度方向的相对两侧，且托爪盘w2为限位面5221在水平面上正投影的宽度。通过对托爪块522以及其形成的收容空间的尺设置于托爪盘5211的一侧，规整驱动机构用于驱动规整杆推动位于托爪盘5211上的晶圆1[0107]为了确保晶圆1不脱离收容空间，同一收容空间内的相邻两个限位面5221的最小[0108]一种晶圆水平承托方法，采用以上任一的晶圆水平承托装置520，并包括如下步