CN113906090B 光软化性树脂组合物、光软化性树脂组合物的软化物的制造方法、固化性树脂组合物及其固化物、以及图案膜及其制造方法 （株式会社力森诺科）

2021.12.02PCT/JP2020/0157452020.04.07WO2020/209268JA2020.10.15US5391665A,1995.02.21JP2018076433A,2018.05.17US4131716A,1978.12.26JPS55156940A,1980.12.06JPH1138621A,1999.02.12JPH0931389A,1997.02.04JPH08211594A,1996.08.20JPH02111950A,1990.04.24JPS55164825A,1980.12.22能基进行反应的取代基的单体；及自由基捕获2所述具有双硫键的化合物是共聚物，所述共聚物包含：具有双硫键且所述自由基捕获剂包含选自分子内裂解型的光自由基聚合引发剂和去氢型的光自由所述分子内裂解型的光自由基聚合引发剂为选自苯甲基缩酮系光自由基聚合引发剂、所述去氢型的光自由基聚合引发剂为选自二苯基酮系光自由基聚合引发剂将权利要求1或2所述的光软化性树脂组合物进行光照射来获得所述光软化性树脂组所述自由基捕获剂包含选自分子内裂解型的光自由基聚合引发剂和去氢型的光自由所述分子内裂解型的光自由基聚合引发剂为选自苯甲基缩酮系光自由基聚合引发剂、所述去氢型的光自由基聚合引发剂为选自二苯基酮系光自由基聚合引发剂7.一种固化性树脂组合物的固化物，所述固化性树脂组8.一种图案膜，其具有图案，并且包含权利要求1图案化步骤，其通过对权利要求1或2所述的光软化性树脂组合物或权利要求7所述的3显影步骤，其将经图案化的所述光软化性树脂组合物或所述固化4[0001]本发明涉及一种光软化性树脂组合物、光软化性树脂组合物的软化物的制造方聚合引发剂的光致自由基会与双硫键直接反应，而引发光致自由基-硫醚键的形成与硫自本身不会经过低分子量化的断裂步骤(clea为固体(固体成分)，所以能够通过去除光软化性树脂组合物(的清漆)中的溶剂等挥发成5用。有双硫键且具有官能基的单体单元、及具有能够与官能基进行反应的取代基的单体单元，合物或固化性树脂组合物的固化物进行显影。显影步骤可包含通过进行水洗来显影的步[0020]图1是显示实施例1的光软化性树脂薄膜在25℃时的弹性模量和损耗角正切(tan6[0028]一实施方式的光软化性树脂组合物含有：具有双硫键的化合物(以下，有时称为成分的总量作为基准计，官能基数为3个以上的单体的比例可以是0～10质量％、0～15质7基及(甲基)丙烯酰基的单体；在一分子中具有2个以上的包含环状醚的基团及烷氧基甲硅在一分子中具有2个以上的包含环状醚的基团的化合物、与在一分子中具有以下基团及烷一分子中具有2个以上的异氰酸酯基的化合物、与在一分子中具有羟基及(甲基)丙烯酰基基或羟基的单体与选自由以下单体所组成的组中的至少1种的组合，该单体是在一分子中[0039]当使(A-1)成分与(A-2)成分反应来获得(A)成分也就是共聚物时，这些成分的反8分例如可以是锡系催化剂或胺系催化剂。当使作为(A-1)成分的具有羧基作为官能基的单[0046](A)成分((A-1)成分和(A-2)成分的合计)的含量，以光软化性树脂组合物的总量9[0059](C)成分的含量，以光软化性树脂组合物的总量作为基准计，可以是0.1～10质与(A-2)成分进行反应来合成(A)成分((A-1)成分与(A-2)成分的反应物)。在这样的方法所添加的成分进行混合或捏合来获得包含(A)成分((A-1)成分与(A-2)成分的反应物)的混[0066]光软化性树脂组合物(后述的固化性树脂组合物的固化物)操作性等观点来看可以是1MPa(1000000Pa)以上。光软化性树脂组合物在25℃时的储能模[0067]光软化性树脂组合物(后述的固化性树脂组合物的固化物)在25℃时的损耗角正[0068]光软化性树脂组合物(后述的固化性树脂组合物的固化物)的硬度(E型)，从微黏储能模量，相对于光照射前的光软化性树脂组合物在25℃时的储能模量的比率(光照射后的光软化性树脂组合物在25℃时的储能模量/光照射前的光软化性树脂组合物在25℃时的的比率(光照射后的光软化性树脂组合物在25℃时的损耗角正切/光照射前的光软化性树[0071]光照射后的光软化性树脂组合物(后述的固化性树脂组合物的固化物)在25℃时物或感光性树脂薄膜来使用。感光性树脂组合物或感光性树脂薄膜，能够通过光照射(曝光软化性树脂组合物进行光照射来获得光软化性树脂组合[0077]光软化性树脂组合物的光照射可一边加热一边实行。加热条件例如可以是40~[0081]一实施方式的固化性树脂组合物的固化物，是上述光软化性树脂组合物的一方化性树脂组合物或上述固化性树脂组合物的固化物的至少一部分进行光照射(曝光)来进[0089]将以下成分均匀地混合，并进一步一边搅拌一边在减压下脱水1小时，这些成分是：作为(A-1)成分的100质量份的THIOKOLLP-55(硫醇基数为2，TorayFineChemicals的10质量份的氧化二苯(2，4，6-三甲基苯甲酰)膦(IGMResinsB.V.公司制造，商品名之后，以氮气升压至常压，添加作为(A-3)成分的0.02质量份的二月桂酸二丁基锡(Tokyo照射时间的变化。光照射是通过以下方式实行：使用LED灯(PanasonicIndustrial[0099]将表2所述的成分及量(单位：质量份)的(A-1)成分、(A-2)成分及(B)成分加入125mL的软膏罐中，使用搅拌机(THINKYCORPORATION制造，商品名自转公转搅拌机ARE-[0101]将所获得的固化性树脂组合物倒入长度为5cm、宽度为5cm且深度为1cm的硅氧树[0104]使用所获得的光软化性树脂块，在日本工业规格JISK7312所定义的方法(C型(TypeC))及日本工业规格JISK6253-3所定义的方法(E型(TypeE))来实行硬度的测定。作为硬度计，使用ASKER橡胶硬度计C型(KOBUNSHIKEIKICO.，LTD.制造)或E型硬度计[0117]以膜厚成为100μm的方式，使用涂布机将所获得的光软化性树脂组合物的清漆涂[0119]使用所获得的光软化性树脂薄膜和光软化性树脂块，与实施例2-1实行相同的评[0136][感光性树脂薄膜(光软化性树脂薄膜或固化性树脂组合物的固化物薄膜)的制[0137]在软膏罐中，添加作为(A-