2023 碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法

!"!#!"#$%""$"&

!!!"

!!!"#$%!"!#$%$"&'&'#&'()*+,!-$./$&'("#0123456,%067

45&

89:!"#0;<=>?@ABCD&!"#0EFG2HIJKLCD0MN&

!"#OPQR+STU3VW&'(XYZ[\'()*!#*&'+(]PQR+STU3VW&'

(XYZ[\VW/XYZ[\'()*!#*&'+!(*&(^_`abcd&

!"#45ef$ghijklR+Smnop)ghqrR+Smnop)stuvwxyXz

{mnop)|}~R+Sz{mnop)€Q‚wxmnop)ƒ„qyR+Smnop)F…†

't(yXmnop)‡Qyˆ‰R+SŠ‹Œ)mŽXY‘Š‹‰mnMNop&

!"#’“45”$•–—)˜™)š›)œž)Ÿ

¡)¢\£)¤¥¦)§¨©)§ª)«\¬)

œ­)®¯°)±²})³´´&

!

书

!"!#!"#$%""$"&

#$%&'()*+,-!.&/01

'!23

!"#µ¶·¸¹º»¼½¾¿ÀÁ(»ÃÄÅÆ0Ǿ&

!"#ȹÉ,ÊËÌÍÆÎÉ$-$'$./01+0Á(ÂÏÐÑ_ÒËÌÍÆÓÉ$-$'$2/01+0

_ÒÁ(»ÃÄÅÆ0¿À*¿ÀÔÕÖ+"0#&''"0&

"!4256789

×Ø"#‡0=>ÙÚ"‡06ÔÛܹÝ2Þ!"#ßH?à0áâ&ã‡*9äå0ܹ"

#*æçäåè–0é!ȹÉ!"#+H9äå0ܹ"#*ãêëé!'ìíŒm0îïe(ȹÉ

!"#&

!"!#2+34%&!¿ðǾ]1´0'ñÆ'òñÆ]óôÆ(!-&./$ñ7&'¿ðǾõö

Û]÷øÛ0ù!Ǿ

!"!#$5&25!R+SVWYú

&!:;<=>

!"!#$5&25û70Yú37üȹÉ!"#&

!!?1@A

Á(ÂÏÐ]»ÃÄ¥ˆýþ0ÿ!+"À#0¼½¥$\aø%&'Î'Ó()$0¥ˆ*A

ø+*,-¼½$‡*Aá.0'/ªþ)»ÃÄ]ÏÐ¥ˆýþ3º»¥01À#Ñ02½3*45

a6–0»ÃÄÅÆ&Á(»ÃÄ0ÅÆ7¿89::;<;$&

$

!"!#!"#$%""$"&

&Ü=>?@$

$"""Á(ÂÏÐ+

&"""Á(»ÃÄ+

+"""ABC»ÃÄ02½¥+

5"""»ÃÄDE0¼½¥+

6"""»ÃÄCAB0F½¥+

2"""ABC»ÃÄ0F½¥+

3"""»ÃÄ3ÏÐûE0¼½¥+

!$"""2½¥02½3+

!&"""2½¥0F½3&

B'!#$%&'(+)*C,@ADEB

%!FGHI

%%'!GH‡IJB3KL(ÁBM\NÞOPQ*è*A¥$RSTU*lÝTU¿À1´*?¸¹V

WXBYZ[\IJB3KL(Á0TU&

%%"!]Æ^(\+"_`0¥ˆaÆESbcTU¿À1´&

%%&!GH‡defÚÎ\TU¥gÿ*lÝTU¿À1´&

%%!!#hDEijÆÚÎ)klmnÞopHqr*+"¼½stu*\TU¿À1´&

%%!ÏÐ3»ÃÄvw0ËÌÍÆÿÚÓ*\TU*Aá.&

(!JKLM

(%'!xyz^{º»¥$_*_`ªþÔÕ+2'/01$#3.''/01$&

(%"!_`6|}0¼½~#*2½3HÎÉ+'7*€2½3Ö$67&

(%&!?‚0#hƒ&

)!NO

#h–„m…†0¥ˆDE*H–mÎE‡0ˆ(Ä3ÎE‡0opHqrkl&¿À‰–Š‹

#hDEŒ*#hDEijÆ'!"(ÓÉ6,0&

&

!"!#!"#$%""$"&

*!,-P9

*%'!]Æ$'&&8&(9&

*%"!6èŽÆ$'568$'(:&

#!-QRS

#%'!JKTU

1$

#%'%'!¹ÅÆÓÉ6'"00‘’“”&#*•
$2'$%+5/0QÖ¿À–—Q*$%

!"!#2+34%&Œ670_`ªþ*ªiõöۖÓÉ'%6/01$*ªióƖ˜™8'%6/01$&

#%'%"!š¼½~#c2¥›*œ¼½~#&

#%'%&!¹žàŸ

¡¢Åƣ줥¿#

ÅÆ0¦'

è_`l§¦'*¨r©s3ª«*¿À/

3¦è

&7/0¬ÿH­ÎÉ+:&

#%"!,-

#%"%'!š#h®É¿ÀTUÑ*¯ã1+2'/01$#3.''/01$0ªþÔÕ=m@°0*Aá.*£ž

àŸ±*A²å&

#%"%"!³´1+2'/01$#3.''/01$0ªþÔÕ='/0$;&

#%"%&!³´'Î/µ'Ó/0f®&

'$!-QVWXA

'$%'!,-;$*2½¥O)¶2½*·./¥¸»ÃDE)*¼½*¹·./¥¸F½º1ÏÐ

3»ÃûE"¶¼½*O*¶½a*];¶0¼½¥06fÿ'"($o»'$(l§45&

&$'$)"%$)*(&$$);

"#&$'%$$'$&.........'$(

,#-,#-

!!»‡$

"!"""¼½¥06fÿ+

$)"""")¼C"¼0«½*efÖ¾¿',0(+

$)*""")¼C*¼0«½*efÖ¾¿',0(+

#"""ÀAªi*efÖ¾¿',0(+

&$"""»ÃÄF½s*(<*0F½sÖ&%66+

$);""")¼C;¼0«½*efÖ¾¿',0(+

$$""")¼06fc+

$&""""¼06fc&

'$%"!,-;$*)¼C"¼0«½'$)"(])¼C*¼w0«½'$)*(–˜™o»'&(&

&(

$)"%$)*#..........'&(

/=>!&

!!»‡$

$)"""")¼C"¼0«½*efÖ¾¿',0(+

$)*""")¼C*¼0«½*efÖ¾¿',0(+

("""»ÃÄÅÆ*efÖÁ¿'"0(+

+

!"!#!"#$%""$"&

!&"""2½¥0F½3*efÖÆ'7(&

'$%&!,-;$*)¼C;¼0«½'$);($o»'+(l§45&

$);#&(?@,!&><,!$..........'+(

!!»‡$

$);""")¼C;¼0«½*efÖ¾¿',0(+

("""»ÃÄÅÆ*efÖÁ¿'"0(+

!$"""2½¥02½3*efÖÆ'7(+

!&"""2½¥0F½3*efÖÆ'7(&

'$%!!,-ÂÃÄ'(,ABB(7Å*2½¥02½3'!$(32½¥0F½3'!&(–˜™o»'5(&

><,!$#&$><,!&..........'5(

!!»‡$

!$"""2½¥02½3*efÖÆ'7(+

&$"""»ÃÄF½s*(<*0F½sÖ&%66+

!&"""2½¥0F½3*efÖÆ'7(&

'$%!Æþ')($o»'6(l§45&

"

)#..........'6(

&$

!!»‡$

)"""Æþ+

""""¼½¥06fÿ&

'$%(!d@ÇÈC*AeÉ0Ÿ±'/*,*Aá.'/0Æþ$o»'2(l§45&

+#$

)*#%',6..........'2(

#$'#*

!!»‡$

)*"""-*±'/Œè–0Æþ+

+"""#$3#*0Æþÿ+

#$"""Ê70-$±'/¶0ªi*T֖—ªi*efÖ¾¿',0(+

#*"""-*±'/¶0ªi*£˜™#$"#**efÖ¾¿',0(+

'%6"""¥0ËABÌÍûE¼½ÎÏ*Öýþ&

'$%)!-*±'/Œè–0»ÃÄÅÆ$o»'3(l§45&

',''$#*$$'$&

(*#')*'',6(/%..........'3(

&&&$

槡&$'><,!$

!!»‡$

(*"""-*±'/Œè–0»ÃÄÅÆ*efÖÁ¿'"0(+

)*"""-*±'/Œè–0Æþ+

'%6"""¥0ËABÌÍûE¼½ÎÏ*Öýþ+

#*"""-*±'/¶0ªi*£˜™#$"#**efÖ¾¿',0(+

&$"""»ÃÄF½s*(<*0F½sÖ&%66+

!$"""2½¥02½3*efÖÆ'7(+

$$""")¼6fc+

$&""""¼6fc&

'$%*!OÉ6cTU’“1Óþ¼º-Ðf0ÅÆþ/*Ñ~Ò6fcÖÓÔ*-*±'/Œè–0»

ÃÄÅÆ$o»'.(l§45&

5

!"!#!"#$%""$"&

',''$#*

(*#')*'',6(/