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陆。在我国，容栅传感器的产品主要用于数显卡尺和机器制造机床上5,作为测长沙交通学院王英键等人采用新型容栅式传感器的数显百分表的智能接□栅式数显百分表的工作状态设置操作和非标准串行通信7。上海交通大学刘海洋利用89C51单片机系统实现数显游标上卡尺的工业实南京信息工程大学张立新基于电涡流式传感器的原理，使用CS16F505主控万新恒等人利用单片机89C2051和容栅位移传感器研制一种新型容栅角位的产品也基本满足需求。其中，容栅传感器数显产品的销量可以达到100万件，的销售额可以达到30%。现在国内相关的企业有桂林广品¹41,其设计的光卡尺的分辨率最高达到了微米级。在容栅传感器的数显行业中最具有代表性的厂商是：日本MITUTOYO(三丰)、瑞士SYLVAC等。在1973年，容栅位移传感器测量系统问世15-161,从此数显卡尺在测量领域中得到了快速的发展。1980年，瑞士的SYLVAC公司成立，它所生产的容栅传测量工具的瑞士公司TRIMOS的出现，促进了测量领域的发展。这两家容栅测量领域的领头企业，推出了很多测量产品，有的产品的测量分辨率可以达到0.1μm,提高了测量领域的测量精度。因为应用容栅传感器的测量产品有功耗小、辨率最高也达到了0.1μm,同时三丰公司也推出了多种采用容栅测量系统的卡尺，一些普通的卡尺分辨率0.01mm,千分尺和一些高精度的测量仪器的分辨率参考文献[8]刘海，洋季钢.数显游标卡尺的智能化终端设计[J],仪器仪表学[10]万新恒等.容栅传感器与单片机89C2051的接口及编程[J],传感器技[12]HansOlrichMeyer.ProcessforthecapacitivemeasurmentPatent4743902,1988.[16]R.F.WolffenbuttelandR.P.VanKampen“AnIntergrableCapacDisplacementSensorw

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