《真空泵用全密封液冷电机技术规范》编制说明

2025年07月

《真空泵用全密封液冷电机技术规范》

编制说明（征求意见稿）

一、工作简况，包括任务来源、主要工作过程、主要参加单位和工作组成员及其所做的工作

等。

（一）任务来源

2025年4月，由中国通用机械工业协会真空设备分会提出，浙江嘉丰动力科技有限公司

主动承担编制任务。

（二）参加单位和工作组人员

标准起草单位为浙江嘉丰动力科技有限公司，参加单位有：主要起草人员有：吴奎奎、

傅嘉琪、...等。

（三）主要工作过程

2025年4月，浙江嘉丰动力科技有限公司响应中国通用机械工业协会真空设备分会号召，

积极申报、承揽项目，在充分研究和探讨的基础上，上报了制定《全密封液冷却电机技术规范》

的团体标准“项目建议书”。

2025年5月，我们接到分会通知，要求我们制作项目申报PPT，以作项目审查会答辩使用。

在提供PPT的同时，我们还拟定了《全密封液冷却电机技术规范》标准草案文本，以供专家、

同行审查使用。2025年5月27日，中国通用机械工业协会标准化管理委员会进行了网上立项

审查会议，对协会拟立项的一众团体标准进行立项审查。因项目涉及内容主要是真空泵用电机，

专家建议更改团标名称，冠以“真空泵用”限定词，以精准定义电机主页使用范围。我们接受

了此项意见，决定把项目名称更改为《真空泵用全密封液冷电机技术规范》，连带地我们对“征

求意见稿”范围进行了相应的使用限定。

2025年6月至7月，团标编制组对团标进行仔细地逐字逐句地推敲，结合生产实践，竭

尽所能地优化稿件文本，以求尽量减少错失遗漏。终于在8月初，编制组确定了《真空泵用全

密封液冷电机技术规范》（征求意见稿）文本，并递交标委会，进行意见征求。

二、标准编制原则和主要内容（如技术指标、参数、公式、性能要求、试验方法、检验规则

等）的论据，解决的主要问题。

1、标准严格按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》、GB/T20000.3-2014《标准化工作指南第3部分引用文件》和GB/T20001.10-2014

《标准编写规则第10部分产品标准》的规定进行编写。

2、参考一些电机专业类书籍和标准，力求本标准所涉及的技术先进、实用、可靠。

3、修正草案标准中不适用或不全面的条款，力求文件阐述逻辑性强、条理清楚、措辞精

简，并能丝滑地在企业中施行。

4、对于电机行业比较特殊的液冷密封要求，我们在以前的生产实践基础上进行了整理，

制定了定量的数字化要求条款，规定了试验方法，形成规范的标准条文。

三、主要试验（或验证）情况分析

目前，我国电动机的生产技术已日益成熟，结构形式也趋以固化。本次制定团标的目的是

顺应市场和用户的需求，填补真空泵用电机标准空白问题。在本标准制定初期，我们组织了在

第1页共4页

国内具有代表性的企业成员组成的起草组，对我国真空泵用电机生产企业做了大量调研，掌握

了真空泵用电机的质量要求和电机的电气性能关键性指标，结合现阶段我国电机制造行业的技

术水平、制造能力、质量水平以及用户和市场的实际需求，在此基础上提出了具体的制定内容

以保证本标准的适用范围能覆盖到市场上大部分的产品和兼顾到更多的生产制造企业，以更好

的指导设计单位选型和生产制造企业的安全生产，促进行业健康、有序发展。因此，本标准涉

及到的各项技术指标和数据都来源于市场调研，已经通过大部分企业的实际生产验证，具有一

定的可靠性和可行性。

四、标准中如果涉及专利，应有明确的知识产权处置说明。

本文件不涉及专利。

五、技术创新、产业推进、应用推广和预期达到的经济效益等情况

1.技术创新

真空泵用全密封液冷电机的技术创新主要体现在以下几个方面，这些创新共同提升了电机

在真空环境下的可靠性、散热效率和整体性能：

1）全密封结构设计

——真空兼容性：采用多层密封技术，使腔内与外界隔绝，防止外部气体渗入真空腔体，

同时避免电机内部润滑剂挥发污染真空环境。

——防泄漏材料：使用特殊合金或复合材料外壳，确保在高压差（大气压对真空）下不变

形、不泄漏。

——无刷设计：取消传统电机电刷的使用，避免摩擦生成微尘和电火花，适合高洁净度真

空应用（如半导体制造）。

2）高效液冷散热系统

——直径液冷技术：冷却液（如氟化液或绝缘油）直接流经壳体内部通道，较传统风冷效

率提升50%以上。

——闭环循环系统：可集成微型泵和外部换热器，实现冷却液循环，并通过温度传感器动

态调节流量，确保电机在高温工况下稳定运行。

——绝缘与兼容性：冷却液需具备高绝缘性、低黏度和化学惰性，避免与电机材料反应。

3）耐高温与真空适配材料

——绕组绝缘：采用聚酰亚胺或陶瓷涂层导线，耐受高温（200℃以上）和真空下的电晕

放电。

——轴承技术：使用真空润滑固体涂层（如二硫化钼）或磁悬浮轴承，解决传统油脂润滑

在真空中的挥发问题。

——热管理材料：高导热陶瓷或石墨烯填充壳体，辅助热量快速传导至液冷系统。

4）智能监控与集成化

——嵌入式传感器：实时监测温度、振动、密封压力等参数，通过AI算法预测维护周期。

——紧凑集成：电机与真空泵一体化设计，减少连接部件泄漏风险，降低系统体积（适用

于空间受限场景如航天器）。

5）能效与可靠性提升

——高效电磁设计：优化磁路与低损耗硅钢片，降低涡流发热，效率可达IE4及以上等级。

——冗余安全设计：双密封结构或备用冷却回路，确保单点故障时仍可短时运行。

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2.产业推进及应用推广

在芦茨真空泵等普通真空泵上已经被广泛应用。而一些高端应用场景因其性能突出也在

迅速占据，如：

——半导体设备：晶圆加工中的干式真空泵。

——航天模拟：空间环境模拟舱的抽气系统。

——核工业：放射性环境下的无泄漏泵组。

真空泵用全密封液冷电机在高端真空泵领域已实现商业化应用，但大规模推广仍需突破

成本与技术服务壁垒。随着半导体、新能源等产业的扩张以及绿色制造需求的提升，预计未来

5年，全球市场年增长率将达8～12%（据MarketsandMarkets预测）。中短期内，其应用仍

将聚焦于“不计成本追求可靠性”的关键场景。

3.预期达到的经济和社会效益

制定《真空泵用全密封液冷电机》团体标准，将有效推动产业链升级，并在经济和社会层

面产生多维效益，具体为：

1）经济效益

（1）降低产业链综合成本

——设计标准化：减少厂商重复研发投入，缩短产品开发周期（预计节省15%～20%研发

成本）。

——规模化生产：统一标准促进零部件通用化，形成规模效应，电机单价有望下降30%～

40%（以半导体级电机为例，单价或从五千美元降至三千美元）。

——维护成本优化：标准化接口和冷却系统设计可降低维护复杂度，延长设备寿命（预计

全生命周期成本减少25%）。

（2）提升市场竞争力

——国产替代加速：中国厂商可依托标准突破国际技术垄断（如Edwards、Pfeiffer等外

资品牌市占率超60%），抢占高端市场。

——出口壁垒突破：符合国际互认标准（如IEC、SEMI）后，出口竞争力增强，预计相关

产业链年出口额增长50%以上。

（3）拉动配套产业

——材料与零部件：推动高导热陶瓷、真空兼容密封材料等上游需求，预计可带动百亿级

新材料市场。

——智能监测系统：标准要求的传感器集成将促进物联网模块产业发展。

2）社会效益

（1）支撑战略性产业发展

——半导体自主可控：标准保障国产真空泵电机在3nm以下制程的可靠性，降低对欧美设

备的依赖。

——碳中和贡献：高效液冷设计较传统风冷节能20%～30%，若全面推广，年减碳量可达

白万吨级（以全国10万台真空泵测算）。

（2）促进科技创新

——跨学科协同：标准倒逼密封技术、热管理等领域突破（如超临界CO2冷却技术的应用）。

——中小企业参与：明确技术门槛后，更多企业可进入细分赛道（如专用冷却液、磁轴承

等）。

（3）安全与环保提升

——减少污染风险：强制密封结构可避免润滑剂泄漏污染洁净室，降低半导体厂事故率。

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——有害物质管控：规范冷却液环保指标（如限制全氟化合物使用），推动绿色替代品研

发。

（4）就业与人才培养

——新增岗位：预计标准实施后，国内将形成3-5个专业化制造集群，创造超2万个高技

术岗位。

——技能升级：真空工程与热管理领域人才需求激增，推动高校及职教课程改革。

六、采用国际标准和国外先进标准情况，与国际、国外同类标准水平的对比情况，国内外关

键指标对比分析情况。

本标准未采用国际标准。

七、与现行相关法律、法规、规章及相关标准，特别是强制性国家标准的协调性。

本标准与我国现行法律、法规和强制性国家标准无矛盾。

八、重大分歧意见的处理经过和依据

无重大意见分歧。

九、标准性质的建议说明

本标准属于非强制性的市场标准。

十、贯彻标准的要求和措施建议（包括组织措施、技术措施、过渡办法、实施日期等）；

1、本标准发布后，通过公告、网络宣传等途径，使相关单位及时了解更新情况，更新使

用版本。

2、在适当时机，组织新标准宣贯培训，以便标准应用单位全面了解标准技术背景、编写

思路、发展趋势、以及产品生产应用实际情况，以便使用者“在理解基础上执行”，有利于灵

活并且合理地应对实际工作中的具体问题。

3、使用本标准的生产厂家、设计单位、用户等相关单位，除严格执行标准技术要求外，

要不断改进产品设计和生产工艺，完善施工应用技术，及时收集归纳新的技术发展，提出进一

步修订完善本标准的建议，使标准始终能够随时反映实际情况。

十一、废止现行有关标准的建议

本文件是首次发布。

十二、其他应予说明的事项

在承担本项任务期间，我们查阅了大量科技资料，得到中国通用机械工业协会标委会的高

度重视，同时也得到诸多专家委员的宝贵意见、建议，在此一并感谢。

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2025年07月

《真空泵用全密封液冷电机技术规范》

编制说明（征求意见稿）

一、工作简况，包括任务来源、主要工作过程、主要参加单位和工作组成员及其所做的工作

等。

（一）任务来源

2025年4月，由中国通用机械工业协会真空设备分会提出，浙江嘉丰动力科技有限公司

主动承担编制任务。

（二）参加单位和工作组人员

标准起草单位为浙江嘉丰动力科技有限公司，参加单位有：主要起草人员有：吴奎奎、

傅嘉琪、...等。

（三）主要工作过程

2025年4月，浙江嘉丰动力科技有限公司响应中国通用机械工业协会真空设备分会号召，

积极申报、承揽项目，在充分研究和探讨的基础上，上报了制定《全密封液冷却电机技术规范》

的团体标准“项目建议书”。

2025年5月，我们接到分会通知，要求我们制作项目申报PPT，以作项目审查会答辩使用。

在提供PPT的同时，我们还拟定了《全密封液冷却电机技术规范》标准草案文本，以供专家、

同行审查使用。2025年5月27日，中国通用机械工业协会标准化管理委员会进行了网上立项

审查会议，对协会拟立项的一众团体标准进行立项审查。因项目涉及内容主要是真空泵用电机，

专家建议更改团标名称，冠以“真空泵用”限定词，以精准定义电机主页使用范围。我们接受

了此项意见，决定把项目名称更改为《真空泵用全密封液冷电机技术规范》，连带地我们对“征

求意见稿”范围进行了相应的使用限定。

2025年6月至7月，团标编制组对团标进行仔细地逐字逐句地推敲，结合生产实践，竭

尽所能地优化稿件文本，以求尽量减少错失遗漏。终于在8月初，编制组确定了《真空泵用全

密封液冷电机技术规范》（征求意见稿）文本，并递交标委会，进行意见征求。

二、标准编制原则和主要内容（如技术指标、参数、公式、性能要求、试验方法、检验规则

等）的论据，解决的主要问题。

1、标准严格按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草

规则》、GB/T20000.3-2014《标准化工作指南第3部分引用文件》和GB/T20001.10-2014

《标准编写规则第10部分产品标准》的规定进行编写。

2、参考一些电机专业类书籍和标准，力求本标准所涉及的技术先进、实用、可靠。

3、修正草案标准中不适用或不全面的条款，力求文件阐述逻辑性强、条理清楚、措辞精

简，并能丝滑地在企业中施行。

4、对于电机行业比较特殊的液冷密封要求，我们在以前的生产实践基础上进行了整理，

制定了定量的数字化要求条款，规定了试验方法，形成规范的标准条文。

三、主要试验（或验证）情况分析

目前，我国电动机的生产技术已日益成熟，结构形式也趋以固化。本次制定团标的目的是

顺应市场和用户的需求，填补真空泵用电机标准空白问题。在本标准制定初期，我们组织了在

第1页共4页

国内具有代表性的企业成员组成的起草组，对我国真空泵用电机生产企业做了大量调研，掌握

了真空泵用电机的质量要求和电机的电气性能关键性指标，结合现阶段我国电机制造行业的技

术水平、制造能力、质量水平以及用户和市场的实际需求，在此基础上提出了具体的制定内容

以保证本标准的适用范围能覆盖到市场上大部分的产品和兼顾到更多的生产制造企业，以更好

的指导设计单位选型和生产制造企业的安全生产，促进行业健康、有序发展。因此，本标准涉

及到的各项技术指标和数据都来源于市场调研，已经通过大部分企业的实际生产验证，具有一

定的可靠性和可行性。

四、标准中如果涉及专利，应有明确的知识产权处置说明。

本文件不涉及专利。

五、技术创新、产业推进、应用推广和预期达到的经济效益等情况

1.技术创新

真空泵用全密封液冷电机的技术创新主要体现在以下几个方面，这些创新共同提升了电机

在真空环境下的可靠性、散热效率和整体性能：

1）全密封结构设计

——真空兼容性：采用多层密封技术，使腔内与外界隔绝，防止外部气体渗入真空腔体，

同时避免电机内部润滑剂挥发污染真空环境。

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