CN115327332B 功率半导体器件的测试系统和测试方法 （青岛海宜丰电力电子有限公司）

本发明涉及功率半导体器件的测试系统和测试方法，其包括主电流电路和/或浪涌测试电路和/或热敏测试电路和/或高压电路以及控制2控制模块(150)适于在正弦正半波对被测器件控制浪涌测试和/或控制模块(150)在负主电流电路(110)降压后，通过二极管D11和/或主电流可控硅Q浪涌测试电路(120)包括浪涌电流调节器(121)，用于流电路(110)、热敏测试电路(140)与第一电压比较电路的切换并显示在数字表和/或示波在对被测器件的导通压降进行测试时，当被测器件为二极管时极性切换模块(133)输出端接节点A及节点K，高压切换模块另一路旁接过载保护模块极性切换模块(133)用于控制施加于被测器件上的高压极性换向，以便在进行可控硅3将被测器件两端的电压信号经U53跟随加到第一电子开关U54的2脚，1脚为第一电子开关b)，主电流电路(110)包括主电流调节器(111)、第一触发电路(112)及第一风冷模块4主电流调节器(111)具有主电流隔离变压器TC11,在主电流隔离变压器TC11次级线圈模块D2用于当被测器件额定电流大于50A时，对主电流二极管D12及单向主电流可控硅Q12浪涌电流调节器(121)包括浪涌电流隔离变压器TC12流变压器TC12次级线圈上接有交流电压表Y12，以显示输入电压参数，判断主电流调压器路(122)控制启闭且作为浪涌的电子开关的浪涌可控硅Q12后接入脉冲计数定时模块(123)包括定时模块与计数模块，用于控制浪涌的次数和浪涌的时在高压电路(130)中，整流滤波电路(132)，包括在高压输出线路多个串接二极管D4_3分两路，一路通过电容C电源通过单刀双掷开关的高压开关SB4_1，过流保护继电器JB4的常闭触点JB4加到调高压由升压变压器TC4_1的1000V或2000V抽头通过限流电阻R4_3、R4_2由整流二极管得到半波电压的峰值，然后通过可调电阻Rz4_6和可调电位器Rz4_4分压送到峰值电压表5过保护继电器JB4的常开触点与其它外部电路呈断开状态，以防止其它电路对高压电路造高压开关SB4_1一端给高压电路供电，另一端给热敏测试电路供电，当打到高压电路4.根据权利要求3所述的功率半导体器件的测试系统，其特征在于：在主电流电路6.根据权利要求3所述的功率半导体器件的测试系统，其特征在于：在主电流电路主电流电路(110)中包含第一触发电路(112),用于同步触发主电流可控硅Q11的通断，7.根据权利要求3所述的功率半导体器件的测试系统，其特征在于：过载保护电路在过流保护电路(134)中，电路由TC4_2变压器降压后通过全波整电器JB4供电，同时还通过电阻R4_11及可调电位器R4_13取得过流保护的阀值电压加到比在比较器U4_2处，电连接有过流保护取样电阻R4_9，过流保护6S010，将被测器件连接在主电流电路的正接线端S020，将高压电路的极性切换模块切换为反向，S030，将待测器件串联后连接到加热模块，通过加S040，在被测器件半波导通阶段接通浪涌测试预先设置的浪涌脉冲数量和浪涌脉冲时间间隔对被测器件以便基于预先设置的浪涌脉冲数量和浪涌脉冲时间间隔对被测器件主电流电路包括主电流调节器、驱动电路和多个限流电阻，浪涌测试电路包括浪涌电流调节器、计数模块和定时模涌电流调节为主电流的预定倍数，计数模块适于设置浪涌测试过程中浪涌脉冲触发的次高压电路包括高压调节器、极性切换模块和过载保护电路，7试。CN102944824B一种整流二极管瞬态高温反向漏电流的测试方法也是无法实现综合测[0009]系统包括主电流电路和/或浪涌测试电路和/或热敏测试电路和/或高压电路以及89选的热态测试条件下热敏电压波形示意图。图14为优选的液态负载实物简化结构示意图。热敏测试电路140和控制模块150，能够在被测器件半波导通阶段同时进行全动态浪涌测形图中的正向峰值电压VFM/VTM和正向平[0025]主电流调节器111具有主电流隔离变压器TC11,30V/300A；在主电流隔离变压器TC11的主线圈电连接有用于分压的主电流调压器T10，在主电流隔离变压器TC11主线圈上[0026]主电流的档位与主电流调压器T10相互配合能够根据被测器件的额定值，调节主将第一风冷模块D1开启对主电流隔离变压器TC11等部[0027]主电流电路110还包括接在主电流回路上的波段开关，波段开关包括多个可调的[0029]主电流通过波段开关转换控制6个继电器动作，将主电流对应依次变小输出的[0034]主电流调节器111输出端通过主电流二极管D11，2CZ500/1600V及主电流可控硅流是指电源接通瞬间或在电路出现异常情况下产生的远大于稳态电流的峰值电流或过载过大功率降压的主电流变压器TC12隔离，主电流变压器TC12的次级输出低电压大电流电流调压器T20的位置。浪涌变压器TC12的次级线圈输出端通过串联的浪涌二极管D12，2CZ800/1600V及由第二触发电路122控制启闭且作为浪涌的电子开关的浪涌可控硅Q12，个与变压器TC51次级交流同相位的矩形脉冲，其脉冲宽度可以通过R58调节，这个脉冲经对应的继电器Jg4将被测器件两端的电压信号经U53跟随加到U54的2脚，1脚为电子开关[0047]浪涌电流电路120还包括接在浪涌电流回路上的波段开关，对应接200A、100A、电子开关便将8脚的比较电压信号和2脚的分流器上的电压信号经U62跟随缓冲经波段开关[0051]脉冲计数定时模块123包括定时模块与计数模块，用于控制浪涌的次数和浪涌的先设置的浪涌脉冲数量和浪涌脉冲时间间隔对被测器件[0057]电源通过高压开关SB4_1，过流保护继电器JB4的常闭触点JB4加到高压调节的调[0058]高压由TC4_1的1000V或2000V抽头通过限流电阻R4_3、R4_2由整流二极管D4_2对[0059]高压输出电路中有极性转换开关SB4_3，通过这个开关的转换可以使输出高圧输[0066]本高压电路中还设有过流过载保护电路134，当回路过流过载时切断高电压供电[0067]过流保护电路由Tc4_2变压器降压通过D4_4整流、C4_4滤波、U4_1稳压得到一个和可调电位器R4_13取得一个过流保护的阀值电压加到U4_2的2脚，阀值电压大小通过R4_导体的电阻率随温度变化会发生明显的变化，由于半导体器件的热敏特性，在环境温度变化时会影响半导体器件工作的稳定性。常态热敏测试时首先根据被测器件的额定电流大以用示波器观察常态热敏测试下热敏电压Vf波形。[0072]如图5，热敏测试电路包括热敏电流调节器和加热模块。具体的，热敏测试电路R59可调电位器R58分压得到一个偏置电压，又通过R511和可调电位器R510分压取得Vf通过R58调节，这个脉冲经U52跟随驱动加到电子开关U54的6脚，控制U54内部电子开关动SB51为VfVT和VTMVf(热）功能测试转换当打到VfVT时，被测器件两端的电压经SB51、