CN115330859B 一种基于机器视觉的自动对焦、自动对中方法及系统 （华东理工大学）_第1页
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文档简介

本发明提出了一种基于机器视觉的自动对过载物台图像中各像素的灰度值计算所述载物2控制载物台在电子显微镜的成像距离区间内移动，改变所述在所述载物台和电子显微镜之间的物距发生改变时，获取电针对任一张载物台图像，根据所述载物台图像中各像素的灰度值将若干张载物台图像中图像清晰度最大的载物台图像对应的成像位置作为目标成像控制所述电子显微镜扫描获取所述载物台图像；所述载物台对所述载物台图像进行预处理，得到预处理图像；所述预处理包括在所述载物台图像中任选一点作为原点O，以过原点O且平分别确定所述压头区域的中线和所述样品区域的中线；根据所述压头区域的中线与所述样品区域的中线之间的距离，控制利用拉普拉斯算子对所述载物台图像进行模板卷积，得到所述载物台图像的高频分根据图像清晰度评价函数和所述载物台图像的高频分量，计算素列数，N为所述载物台图像的像素行数，z(x,y)为所述载物台图像的高频3针对所述载物台图像中的任一像素点，将所述像素点的灰度根据所述载物台图像中各像素点的灰度变化量，确定所述载物台图像的图像清晰度8.一种基于机器视觉的自动对中系统，其特征4[0009]将若干张载物台图像中图像清晰度最大的载物台图像对应的成像位置作为目标[0014]z(x,y)＝g(x-1,y)+g(x5所述载物台图像的像素行数，z(x,y)为所述载物台图像的高频分量中像素点(x,y)处的灰6的基于机器视觉的自动对焦方法，通过控制载物台在电子显微镜成像距离区间内进行移7[0063]z(x,y)＝g(x-1,y)+g(x所述载物台图像的像素行数，z(x,y)为所述载物台图像的高频分量中像素点(x,y)处的灰8的待处理的载物台图像，因此需要对扫描电子显微镜采集到的载物台图像进行前期9[0101]本发明实施例1的方法也可以借助于图6所示的基于机器视觉的自动对焦系统的[0103]本发明实施例3的方法也可以借助于图7所示的基于机器视觉的自动对中系统的[0104]技术中的程序部分可以被认为是以可执行的代码和/或相关数据的形式而存在的[0106]本文中应用了具体个例，但以上描述仅是对本发明的原理及实施方式进行了阐

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