2023 硅外延用三氯氢硅

!"!#!"#$%"%"%!

!!!"

!!!"#$%!"!#$%$"&'&'#&'()*+,!-$./$&'("#0123456,%067

45&

!"#89!"!#(')*&"&'$+#:;<=>?@:%'A!"!#(')*&"&'$+BC'D12EF3

GHIJK;'LMNOP(QR$

,(!SJTU=VW)X-$Y'&'$+Z[0-$Y(*

-(!\]TO^37_`Y)X-(Y(*

.(!SJT./NOa&Mb)X+%$'&'$+Z[0(%&(*

/(!\]T./cd0efgh)X-*Y'&'$+Z[0-+Y(*

0(!SJTij067)X)%&'&'$+Z[0*%&(*

1(!\]Tkfcd)X)%((*

2(!SJTlm3nm0Mb)X)%+'&'$+Z[0*%((*

3(!SJTkf1o0p7)X)%*'&'$+Z[*%+(*

4(!SJT&q0Mb)X5%$'&'$+Z[0)%$(*

6(!SJT&q+rs+tu+vwx0Mb)X-5Y'&'$+Z[0-)Y(&

yz{!"#0|}~€‚ƒ„…&!"#0†‡ˆ2‰Š‹Œ„…0Ž&

!"#‘’“+”•–3—˜&'(NO™š›)789!#9&'((A‘’“+”•–3—˜&'

(NO™š›—˜/NO™š›)789!#9&'(!79&(œžŸ

¡¢&

!"#45£¤$¥¦§:¨©Nª«¬­+ª®¯°NO±²³´µª«Ž¬­+¶·¸¹º

”ª«¬­+»¼’½¾¿ª«¬­+ÀÁ>¾¿—˜ª«¬­+¶·Ãē+”©Nª«¬­+¶·

ÅÆ:—˜ª«¬­+ÃÇȑÁÉÊ˪«¬­+Ìͪ®ÎÏЩ:—˜ª«Ž¬­+ÑÒÃ

:©NÓÔª«¬­+ÕÖ»×:—˜ª«¬­+§¾ÅØ)ÎÙ(“+”—˜ª«¬­+Úغ”ª«

¬­+ÃÇÃÛÁ—˜kܧݪ«¬­+Þ·§ß:—˜ª«¬­+঒á:É⾺”ª«¬

­+ÔÍãâטÊ˪«¬­&

!"#LM45ä$åæ+çè+éÈê+ëXØ+ìíí+îïÞ+îðÃ+îñò+óôõ+ö÷+

ìø+ùúû+üý·+þÿ!+"#+î$%+ë"ò+îò&+'()+*+,+-!…+./0+123&

!"#ü&'$+Z45†‡'!56-`578&

!

书

!"!#!"#$%"%"%!

#$%&'()#

&!*+

!"#67T:;<=>?@:)74:9;((0NOMb+efgh+kf6,+&q+rs+tu+v

w+9:"#ƒ8;£~&

!"#U=ü<>?@:6=˜>nž?@nA0:;<=>?@:)<RBCDE(&

%!,*-.&/0

RF"#§0~GH"§06VII=@2J!"#K‰€L0MN&O§'zPQ0I="

#'RSPQTU0[!U=ü!"#*‰zPQ0I="#'OVÃ[!)rWXª07J£(U=ü

!"#&

!"$<'!YZ;[rs&q

!"!#$<$!rs\t]^&q

!"!#$**$!:£Å¾_`0Ü7!abcdeh3afgdeh

!"!#(5&()h=(iDEjmû‘G,

!"$&+)(!YZ;[tursG=NOM#

!"!#$+&)+“+”—˜O^

!"$*&*=!(iEû‘&kGl67

!"!#$)+=(!(iEû‘NOmòn!~3cdáo

!"!#&+*=$!:£Å§"+#pqrst0Ü7!uvwxyPz!;â{h

!"!#&)*5$Û|º”\wQ6V

!"!#&=)*+!)h>?@:

!"!#&<'*)!:;<=>?@:(i/}gh!~++€++‚+ƒ+„+…+†+‡+ˆ+‰3Št

0Ü7!¾‹ŒxŽ¿”r{h

!"!#&<'*5!=‘Åh3â{/}h’“”Å:•06–

!"(''''%$<(iE/—3&k6V!-$<./$˜™š›!œ

>7!#<=5!?:ž§Ÿst0Ü7!ºB®{r{

=h

>7!#$'*<!:;<=>?@:§¡Ÿ0Ü7!ºB®{h

>7!#$')'!:;<=>?@:§O¢?:žst0Ü7!ºB®{h

!!12345

!"!#$+&)+£70O^37_U=ü!"#&

'!6178

'%&!619:

DE0NOa&U¤¥$067&

$

!"!#!"#$%"%"%!

;&!619:

cdNOa&Mb

74:9;(st!?"<<%<<

O¢?:ž!?#'%'$

8;st!)@2!2(#'%$

9Ast!)@2!2(#'%$

9Bst!)@2!2(#'%$

C0st!)@2!2(#'%*

D4st!)@2!2(#'%$

(iJ/

E@st!)@2!2(#'%$

9,st!)@2!2(#'%*

9Fst!)@2!2(#'%'*

G@st!)@2!2(#'%$

Hst!)@2!2(#'%$

GFst!)@2!2(#'%$

9st!)$2!2(#'%$

¦Lqrst)IJ8KJ7-(!$'L<)MM-,(#'%&

§Lqrst)"J8;(!$'L<)MM-,(#'%$

¾_`!)%,.N("$'''

!!<&$¦Lqrst+§Lqrst3¾_`0Ü7j=DE¨(6£Å0gh’“&

<%$¦L+§Lqrst$'L<)MM-,(x*O$'$(,PFNK!.N(*@2!2xMM-Q&

'%!$=>?

DEU6©®ªò«”&

'%!!@A

¬gQTDEªO¢Mb'­¬®g¯°±7&

$!BCDE

$%&!74:9;(st0Ü7$!"!#&=)*+067²:&

$%!O¢?:žst0Ü7$>7!#$')'067²:&

$%!!8;+9A+9B+C0+D4+E@+9,+9F+GF+G@+Hst0Ü7$!"!#&<'*)067²:&

$%'!9st0Ü7$>7!#<=5³>7!#$'*<067²:'´µkf$>7!#<=5067²:&

$%$!¦Lqrst3§Lqrst0Ü7'$¶·8067n–6:£Åm•¸'$!"!#&+*=$0

67²:'¹€­¬®g¯°±7&

$%#!¾_`0Ü7$¶·8067n–6:£Åm•¸'$!"!#$**$067²:'¹€­¬®g

¯°±7&

&

!"!#!"#$%"%"%!

$%(!;ºrt»¼½âR'=d¾hk¿&

#!FC,G

#%&!FH3CI

#%&%&!DEU­g³->g²:kf'ÀÁDErt¤!"#ƒ8;£067'

Âl9:"#&

#%&%!¬g€TÃÄ0DE$!"#067³®gŝ0gh²:kf'Ækf1oA!"#ƒ8;

£067‰¤Ç'U»ÃÄDEÈP4(É)~<nÊËÌÍ­gžŸ'­¬®g¯°ÎÏ&

#%!JK

DEUJjžÐfÃ'ÑjU`ýDÒÓÔÕ7ýD0:;<=>?@:iJ'¹€$DEv

Öij&

#%!!FCLM

ÑjDEUTNOa&3;ºrt²:kf&

#%'!NO3PO

#%'%&!lmû‘U¤!"!#(5&(067'U×ØmEÙÚ&

#%'%!(iJ/3;ºrt0Ûm6,$¥&067Ü:'³­¬®g¯°±7&

;%!QO,G

£¤6Ý

DEjtVLÛmÞt

$&$'$

$$&&'&

$&'*

#%'%!!¦Lqrst+§Lqrst3¾_`0nm$¶·8³­¬®g¯°±70gh²:'Ñj

n–`Éem²:kf&

#%$!FCRSTU4

#%$%&!(iJ/3;ºrt0kf1o§ª{`c‰ßÇ']àlmT‰ßcd²:áâk

f'Æáâkf1o㉍ß'pSjDE‰ß&

#%$%!¦Lqrst+§Lqrst3¾_`0kf1oƪ{`c‰ß'TSjDE䒓'Æ

áâkf1o㪏{`c‰ß'pSjDE‰ß&

(!:V+WX+YZ+[\]^_/0

(%&!:V

(%&%&!DErså;Uìæ&k'

zò$

,(!­gçC*

-(!DEçC*

(

!"!#!"#$%"%"%!

.(!8£è*

/(!jè*

0(!éá*

1(!!"#Gè*

2(!ýDPQ*

3(!\wQ*

4(!åGè*

6(!¤!"!#$<$670rs\t]^&q&

(%&%!DE0rs&qU¤!"$<'067'&kU¤!"$*&*=3!"(''''%$<067&

(%!WX

(%%&!DE0rsåU¤!"$&+)(067&

(%%!DE0VÈêstU‰¨üå”ë0<*?&

(%%!!DE0rsUì=²:~¥Ê±íâîï0($)R‰ðñ—r'Uòóôõ3ö¢÷Úø&

(%!!YZ

(%!%&!DE0tu3vwMbX#YZ(iEû‘ùïMú%ƒ#’û·tYZ;[6,%&

(%!%!DE»tuH–§UüÝýþ'×Øÿ!"K3Pâ#$'‰U%&'òóÙÚ&

(%'![\

(%'%&!DEUvw»G'+()+*+0,-~'ÿŽ.|+/É&

(%'%!DE\wQU¤!"!#&)*5$067'`0¼ýDÈP4`Z&

(%$!^_/0

ÑjDEU¶ª9:"#'O§DUrW­g12+DE12+!"#Gè+Ÿ3PQ³rsPQ

;'4ÕrW<R~&

,(!DErtÁòn$

%!è*

%!DEçC*

%!jè*

%!åGè3éá*

%!DEéá*

%!ýDPQ*

%!kfPQ*

%!kfcdƒO1o*

%!\wQ*

%!­grk.56Y&

-(!DE$!"!#$)+=(Mbn7û‘NOmòn3DEû‘&k&

.(!O¢&

)!`abcd

¬g€78¼90¬M'»8:!"#XFDE08;£~'FŸ<R~$

+

!"!#!"#$%"%"%!

,(!DEçC*

-(!DENOMb*

.(!DEéá*

/(!!"#Gè*

0(!!"#§Mb»8;£§zò0~*

1(!O¢&

*

!"!#!"#$%"%"%!

e!f!$

),*-(

ghi>j?+khi>j?3lmnopDE

$%&!qr#OsTPt

’“>?@:§¦Lqrst+§Lqrst3¾_`€<=(iºB;ëh)9HS(&<>?@

:3@º6=˜'»’“<§GH(iºB;ëhýD`7a=>&'