CN119395946A 一种光刻胶组合物及其制备方法 （陕西绿元生物医药有限公司）

路16号生物医药产业研发聚集基地10本发明提供一种光刻胶组合物及其制备方烯酸六氟丁酯单体和过氧化二苯甲酰溶液缓慢光刻胶碱蚀刻耐久性和疏水性的同时实现生物275~80℃下以300r/min的搅拌速度搅拌反应2~3h，将丙烯酸六氟丁酯单体和过氧化二苯甲3456[0016]可选的，所述步骤S3中氟化镁/核黄素复合物由核黄素悬浮液与氟化镁悬浮液混[0020]本发明利用三乙醇胺作为共引发剂，少量三乙醇胺的加入提高了紫外光固化效[0021]可选的，所述光刻胶组合物包括如下重量份数的原料：含氟丙烯酸酯乳液20~30~20份、去离子水50~70份、十二烷基硫酸钠和异构十三醇乙氧基化物的混合物6~12份、[0025]图1为本发明实施例1~5以及对比例1~3在0~25s内进行湿法蚀刻实验光刻胶厚度7将15份的丙烯酸酯混合单体与60份去离子水、8份十二烷基硫酸钠和异构十三醇酸六氟丁酯单体和0.4份质量浓度为10%的过氧化二苯甲酰溶液在3h内搅拌状态下缓慢滴[0028]在4份核黄素粉末中缓慢加入10份去离子水，磁力搅拌15min黄素悬浮液与20份氟化镁悬浮液混合后加入1.2份3一氨丙基三乙氧基硅烷，搅拌15m物、0.6份体积浓度为20%的三乙醇胺溶液、5份苯基缩水甘油醚混合均匀制得光将10份的丙烯酸酯混合单体与50份去离子水、6份十二烷基硫酸钠和异构十三醇氟丁酯单体和0.3份质量浓度为10%的过氧化二苯甲酰溶液在3h内搅拌状态下缓慢滴入混[0032]在4份核黄素粉末中缓慢加入10份去离子水，磁力搅拌15min黄素悬浮液与20份氟化镁悬浮液混合后加入1.2份3一氨丙基三乙氧基硅烷，搅拌15m80.5份体积浓度为20%的三乙醇胺溶液、3份双环氧基的乙二醇双缩水甘油醚混合均匀制得丁酯单体和0.5份质量浓度为10%的过氧化二苯甲酰溶液在3h内搅拌状态下缓慢滴入混合[0036]在4份核黄素粉末中缓慢加入10份去离子水，磁力搅拌15min黄素悬浮液与20份氟化镁悬浮液混合后加入1.2份3一氨丙基三乙氧基硅烷，搅拌15将17份的丙烯酸酯混合单体与65份去离子水、9份十二烷基硫酸钠和异构十三醇六氟丁酯单体和0.4份质量浓度为10%的过氧化二苯甲酰溶液在3h内搅拌状态下缓慢滴入[0040]在4份核黄素粉末中缓慢加入10份去离子水，磁力搅拌15min黄素悬浮液与20份氟化镁悬浮液混合后加入1.2份3一氨丙基三乙氧基硅烷，搅拌15m9六氟丁酯单体和0.5份质量浓度为10%的过氧化二苯甲酰溶液在3h内搅拌状态下缓慢滴入[0044]在4份核黄素粉末中缓慢加入10份去离子水，磁力搅拌15min黄素悬浮液与20份氟化镁悬浮液混合后加入1.2份3一氨丙基三乙氧基硅烷，搅拌15m与实施例1相比区别仅在于未制备含氟丙烯酸酯乳液，而直接由丙烯酸酯混合单与实施例1相比区别仅在于在制备生物基聚氨酯低聚物过程中未加入柠檬酸，其[0054]将实施例1~5以及对比例1~3制备得到的光刻胶复合物进行分辨率以及耐蚀刻性质量浓度为0.5%的KOH水溶液中显影形成图案；耐蚀刻性测试在氨气气氛下进行等离