CN119439632A 运动台动态性能检测装置、检测方法及光刻设备 （上海微电子装备（集团）股份有限公司）

司号本发明提供了一种运动台动态性能检测装缝及探测单元设于工件台上，掩模台和/或工件狭缝的检测光斑的信号变化以检测掩模台和/或件及光刻设备内的部件实现光刻机运动台动态2所述光调制单元的调制频率与所述运动台的运动状4.根据权利要求3所述的运动台动态性能检测装置，其特征在6.根据权利要求4或5所述的运动台动态性能检测7.根据权利要求4或5所述的运动台动态性能检8.根据权利要求4或5所述的运动台动态性能检测装偏器与所述掩模光栅之间的光弹调制器及设于所述透射狭缝与所述探测单元之间的检偏线方向与所述透射狭缝的开口方向相同，所述光栅掩模的栅线方向与所述掩模台和/或所3获取所述检测光斑中反映所述掩模台和/或所述透射狭缝对准所述光栅成像的相对的一侧边缘以形将所述第一检测光斑的信号与第二检测光斑的信号相减处理，4[0004]但现有采用在记录介质上光刻打点检测上述运动台动态性能的方法不仅准确性所述光栅掩模及所述物镜后投射于所述透射狭缝的像与所述透射狭缝处于相对固定位置，并通过所述探测单元检测经过所述透射狭缝的检测光斑的信号变化以检测运动台的动态的信号变化采用锁相放大方法以检测所述掩5工件台的运动方向平行，用于检测所述掩模台和/或所述工件台在垂直于其运动方向的运6的检测光斑的信号以检测掩模台和/或工件台的动态性能。对比于相关方法中采用记录介[0038]图7c为实施例五提供的检测掩模台及工件台垂直于其协同运动方向的动态性能7掩模台30和/或工件台50，该运动台动态性能检测装置包括依次设置的照明单元10光栅掩元52检测经过透射狭缝51的检测光斑的信号变化以检测掩模台30和/或工件台50的动态性栅的光栅周期和光栅掩模31的光栅周期及物镜40的放大倍率8(投影)的光栅成像32与透射光栅的透射标记透射光栅而在探测单元52上形成的每个检测光使得光栅成像32与透射光栅的透射标记511在垂直于其运动方向(例如Y向)尽量处于相对光栅成像32经过透射光栅在探测单元52上的检测光斑的信号变化以检测掩模台30和/或工[0055]请参照图7c所示，掩模台30和工件台50在X向协同运动，即掩模台30向左水平运向同步运动且经掩模台30在工件台50上的成像(光栅成像32)与工件台50(透射标记511)的台30或工件台50的水平运动方向正交，若掩模台30和/或工件台50的协同运动时两者的匹配度(协同程度)发生变化(恶化)，将使得光栅成像32与透射标记511相对位置变化从而影制单元20、光栅掩模31及物镜40后投射于透射狭缝51的像与透射狭缝51处于相对固定位9置，并通过探测单元52检测经过透射狭缝51的检测光斑的信号变化以检测掩模台30和/或用于检测掩模台30和/或工件台50垂直于其水平向的动态性能和检测掩模台30和工件台5031(或透射光栅)的光栅周期的距离，使光栅成栅成像32相对于透射标记511的相对位置器22a与第二光弹调制器22b相同并采用相同的调整信号进行调制，第一补偿器23a可与第探测单元52a，第二透射狭缝51b及第二探测单元52b，以便于同时对两组检测光斑进行检[0070]在本实施例的一示例中，掩模台30(工件台50及物镜40固定不动)以速度v在水平测单元52检测到的光强将略大于预设光强，若光栅成像32的实际位置略超前于预设位置，那探测单元52检测到的光强将略小于预设光强，通过探测单元52记录光强随时间的变化，弹调制器22后出射光的琼斯矩阵可为光弹调制器22的调制深度光信号可为即其光强可为对于周期性光栅出射的光未经调制直接经掩模光栅31、物镜40及透射光栅而在探测单元52上形成检测光测单元52通过获得检测光斑的信号变化以检测掩模台30和工件台50水平向协同运动时的得的信号变化与可直接反映掩模台30和工件台50协同运出射的光未经调制直接经掩模光栅31、物镜40及透射光栅而在探测单元52上形成检测光的检测光斑的信号以检测掩模台和/或工件台的动态性能。对比于相关方法中采用记录介