CN119452311A 曝光方法以及曝光装置 （株式会社斯库林集团）

2024.12.30PCT/JP2023/0189482023.05.22WO2024/057623JA2024.03.21由此对输出光束相对于基板的入射位置进行扫周期一边使光束的光量多阶段地变化一边使光21.一种曝光方法，使调制后的光束入射至成为曝光对象的基板来对所述基板进行曝通过使输出所述光束的曝光部与保持所述基板的基板保持部进行相根据伴随所述相对移动而产生的信号，求出所述曝光部与所述基板一边在规定的控制周期使所述光束的光量多阶段地变化，所述最大光量被设定为与所述相对移动速度成所述相对移动包括所述相对移动速度增大的加速移动、在固定的所述相所述光束向所述基板的入射以包含所述加速移动的期间以及所述减速移动的期间中基于用具有规定的网格尺寸的像素单位表示应通过曝光形成的图案的曝光数据调制通过对规定的基准时钟进行分频来生成规定所述控制周期的控制时钟，并将周期根据所述相对移动速度而变化的信号作为所述基所述信号是以与所述相对移动速度成比例的速度而周期性地变化曝光部，具有能够多灰度地对从光源出射的光进行调制的扫描移动部，使所述曝光部与所述基板保持部进行调制控制部，使所述光调制器以规定控制周期变化3所述调制控制部根据基于所述信号求出的所述相对移动速度，使所述曝光数据生成部，生成用具有规定的网格尺寸的像素单位表示应通所述信号输出部输出以与所述相对移动速度成比例的速度而周期性地变化的所述信所述调制控制部以与所述信号的周期成比例的周期来生成规定所述控制周期的控制所述调制控制部将规定的基准时钟以根据所述相对移动速度而设定的分频比对所述具有将所述相对移动速度和与其对应的所述控制周期以及所述最大光量相关联的表所述扫描移动部重复执行主扫描移动和副扫描移动，在所述主扫描所述曝光部在所述主扫描移动中使所述光束相对于所述基4是通过利用调制光束对形成有感光层的基板的表面进行曝光来描5[0016]本发明的上述以及其他目的和新颖特征将在参照附图并阅读下面的详细说明后6[0033]图1是示意性地示出本发明的曝光装置的概略结构的主视图。图2是示出图1的曝[0037]配置在主体11的内部的交接区域113的搬送装置7从未图标的外部的搬送装置或的卸除根据来自控制部9的指示而由搬送装置7[0040]因此，载台驱动机构3能够通过Y轴机器人31所具有的Y轴伺服马达将载台2向Y方[0041]在Y轴机器人31上安装有线性标尺311，该线性标尺311每当载台2在Y方向上前进标尺311的输出信号是包含与载台2的Y方向的位置以及移动速度相关的信息的[0044]对准单元5具有配置在载台2上的基板S的上方的对准相机51。该对准相机51具有从照明单元6延伸的光纤61引导的照明光经由对准相机51的镜筒被引导至基板S的上表面，并执行预先存储在储存装置93中的控制程序931，并执行后述的各种动作。存储器92用于8[0049]CPU91执行控制程序931。由此，在软件上实现曝光数据生成部911、曝光控制部[0050]曝光数据生成部911基于从储存装置93读出的CAD数据932，生成用于根据图案对光束进行调制的曝光数据。更具体而言，曝光数据生成部911例如将被表现为矢量数据的光栅数据转换为用于对设置在曝光头41的光调制元件个别地进行控制[0051]在基板S存在歪曲等变形的情况下，曝光数据生成部911根据基板S的歪曲量修正[0053]载台控制部914控制载台驱动机构3，实现用于对准调整的载台2的移动以及用于台2的位置，以使载置于载台2的基板S与曝光头41之间的曝光开始时的相对位置关系成为400的上部的空间光调制器410经由可动载台412[0056]从衍射光学元件411作为0级衍射光而反射的激光朝向投影光学系统414的透镜入9投影光学系统414朝向基板S出射的曝光光束Le成为将调制后的激光束Lm朝向X方向及Y方[0060]这样，在曝光头41与基板S之间将朝向Y方向的扫描移动与朝向X方向的扫描移动进行组合，由此能够对基板S整体进行描绘。在本说明书中，将朝向Y方向的扫描移动称为[0061]具有上述结构的曝光单元4能够在X方向的不同位置设置设置有5组相互地具有相同结构的曝光单元4，这些曝光单元4并列地出射曝光光束Le并进[0064]伴随该移动的载台2的移动距离在时刻T0至时刻T1为止的加速期间缓慢增加，在域的长度相对于在1次主扫描移动中应曝光的区域整体的长度的比，来表示曝光距离。因能够进行曝光的时刻T1早。曝光持续地进行至载台移动速度降低而到达阈值Vth的时刻Te通过使载台2以比规定速度低的速度移动，会出现曝光光点的尺寸变得比原本小的方向的[0079]随着载台2的移动而从线性标尺311重复输出的信号的频率与载台移动速度成比钟生成的基准时钟用于生成与从线性标尺311的输出信号求出的载台移动速度相对应的频光束强度进行变更未必容易。当光调制器410并非单纯以打开/关闭等2个数值进行调制而能够多灰度调制时，能够通过根据载台移动速度对输出光的光量等级进行比例换算设为规定速度时最大光量的一半，对于其以下的光量等级也适当地进行比例换算，由此能够避免低速时的过度曝光。动作的控制时钟的频率fc被确定为与从线性标尺311的输出所估计的载台移动速度的实测主扫描移动中的最大速度例如定速期间中的固定速度Vc相对应的时钟频率fc成为接近适[0087]在载台移动速度低的区域中，可能产生控制时钟的频率fc低于下限值fcmin的情Vth能够用于禁止在这样的极端低速区域中曝光并使描绘品质稳示，应描绘的图案的光栅数据是将由CAD数据表示的图案展开为具有规定尺寸的单位网格[0094]基于这样经插值的曝光数据与倍增的控制时钟来控制光调制器410，进行光束的调制。如此一来，能够将原本的CAD数据及光栅数据所表示的图案无损描绘品质地进行曝[0096]然而，在根据载台移动速度求出的控制时钟的频率未收够在宽的速度区域维持期望的描绘品质的同时进行光数据生成部911及曝光控制部912改写为更实际的处[0099]随着载台2的主扫描移动而从线性标尺311输出的信号被输入至曝光控制部912的的载台移动速度被提供给参数确定部912b。参数确定部912b根据所提供的载台移动速度，[0102]数据加工部911b根据光栅数据制作曝光数据，但是此时，基于与从参数确定部来求出相对于比例换算前的任意灰度值Gx在进行比例换算后的灰度值Gy。此外，部912b基于与从速度计算部912a提供的载台移动速度相关的信息，对参照表912c进行参[0109]图11是示出由如上述构成的曝光装置执行的处理的流程图。该动作通过控制部9速度超过速度阈值Vth且基板S前进至能够开始曝光的位置（图5B所示的曝光开始位置T[0114]这些数据被发送至曝光头41，基于曝光数据被调制的光束被照射至基板S并进行曝光（步骤S109）。在基板S到达1次主扫描移动中的曝光结束位置之前（步骤S110中为对应的曝光。动速度的最大扫描速度且成为固定的定速期间，而且对于其前后的加速期间及减速期间，[0118]根据本发明人的实验，即使在将加速及减速期间中的速度轮廓设为相同的情况以以包含加速移动的期间及减速移动的期间中的至少一部分的方式来进行。根据本发明，