CN119470492A 一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法 （上海聚跃检测技术有限公司）_第1页
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文档简介

一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置本发明公开了一种氮化镓半导体芯片加工上存在焊渣之类的杂质，则会带动检测转板转2所述检测主机内安装有驱动气缸，所述驱动气缸上安装有驱动条，所还包括焊接质量检测装置，所述焊接质量检测装置安装在所述检还包括锁止装置，所述锁止装置安装在所述检测主机内，所所述摆动杆的底侧套接有海绵，所述摆动杆转动通过海绵对所述芯片的表面进行清所述安装座上安装有两个安装架，所述安装架的底侧安装有用于挤所述升降块带动所述升降轴移动，驱动所述升降轴在所述带动槽内移动3S1、启动驱动气缸，通过驱动条拉动夹具进入到检4焊接质量检测装置用于对所述芯片的表面进行检测；所述焊接质量检测装置包括检测架，5所述支撑板的底侧安装有推拉板，所述推拉板与所述支撑板之间连接有推拉弹6[0015]本发明提出的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置及检测方法的有益效果[0018]图1为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的立体结构图2为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的移动架与图3为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的安装座与图4为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的安装座与图5为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的下压板与图6为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的图4中A部图7为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的检测架与图8为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的伸缩座与7图9为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的支撑板与图10为本发明实施例提供的一种氮化镓半导体芯片加工用的检测装置的移动架述术语在本发明中的具体含义。8机1内安装有主动检测清理装置7，主动检测清理装置7用于对芯片6进行主动检测和清理；液箱704上安装有抽取泵705，抽取泵705与摆动杆702之间连接有输液管706，并且输液管9另外，安装块802的底侧安装有支撑弹簧809，支撑弹簧809的底端安装在伸缩座

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