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2024.12.27PCT/EP2023/0627082023.05.12WO2024/002577DE2024.01.04用于校正激光加工光学器件中的测量扫描一种用于校正激光加工光学器件(10)中的测量扫描仪(15)的光学路径长度测量误差的方测量光束(18)被同轴地耦合到加工激光光束(14)中，并且在x_y平面内在所述加工激光光束点(M1_M5)处测量到的距离值在z方向上通过变)被校的在所述x_y平面内不同选择点处的所述测量光21.一种用于校正激光加工光学器件(10)上的测量扫描仪(15)的光学路径长度测量误工激光光束(14)中，并且在x_y平面内在所述加工激光光束(14)的周围环境中在工件上横计算出的或预先已知的在所述x_y平面内不同选择点处的所述测量光束(18)的光学路径长中和/或在所述激光加工光学器件(10)中的测量光束(18)的不同的偏转角度(β1，β2；α1，I4,β)基于对由所述激光加工光学器件(10)和所述测量扫描仪(15)所形成的光学系统进行描仪(15)的坐标，并且使用所述多项式计算在所述测量扫描仪(15)的所述测量点(M1_M5))来校正在所述测量光束(18)的与所述选择点不一致的所述测量点(M1_M5)处在6.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在量扫描仪(15)的测量数据(19)所生成的所述工件的8.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，在考虑所述激光加工光学器件3F_Theta物镜时，测量光束的玻璃穿透长度(Glasdurchgangslingen)不同。这两种原因叠[0003]通过激光加工光学器件的偏转镜使测量光束在激光加工装置的整个工作空间中[0005]该任务通过一种用于校正激光加工光学器件中的测量扫描仪的光学路径长度测过使用根据独立权利要求9所述的激光加工装置的图像处理设施[0007]选择点对应于在测量扫描仪中和/或在激光加工光学器件中的测量光束的不同的4器件以及所使用的测量扫描仪的情况下，可以选择相应的校正数据集并从中提取出变化[0010]在所有方法变体中都可以通过以下变化值来校正测量光束在与选择点不一致的测量点处在z方向上的距离数据：该变化值通过对最邻近选择点的变化值进行插值而计算有必要在第二种方法变体中为了确定多项式而计算在大量选择点处的光学路径长度的局5[0021]使用图2示出的方法来消除测量光束18的光学路径长度的局部变化对测量扫描仪[0022]图3a_c在测量扫描仪15在y方向上进行线扫描的示例中对此进行图解。在图3a中

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