CN119493267A 匀光元件及其制造方法 （嘉兴驭光光电科技有限公司）

本发明提供一种制造匀光元件的方法，包确定目标光场；根据所述目标光场确定多组光标光场一致；根据所述多组光场确定多组微透所述多个光场与对应组微透镜中的所述多种微2述基底划分为多个网格区域，根据所述多个网格区域布置所述多组微透镜中的各种微透过将所述目标光场进行多种不同的分解来确3在所述基底上形成的微透镜阵列，所述微透镜阵列28.一种匀光元件，其特征在于，其是采用如权利要求1_17中任一项所述的方法制造4[0003]在TOF方案中匀光片是关键器件，配合VCSEL(垂直腔面发射激光器)光源或LD(激[0004]常用的匀光片方案有基于衍射原理的DOE(衍射光学元件)器件和基于折射光源原光场中的所述多个光场与对应组微透镜中的所述5的所述多个光场与对应组微透镜中的所述多种微透镜一一对应，所述多个光场互相补偿，6[0048]图3(a)(g)示出了根据本发明实施例的根据目标光场设计多组光场的示例的示[0049]图4示出了根据本发明实施例的将图3(a)所示的目标光场A0分解为四个光场的示[0050]图5(a)示出了根据本发明实施例的图3(b)所示的光场A1的能量分布的详情的示[0051]图5(b)示出了根据本发明实施例的图3(b)所示的光场A2的能量分布的详情的示7便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的[0061]由背景技术可知，现有技术中由于匀光片的微透镜阵列采用周期性的单一微透8光场中的所述多个光场与对应组微透镜中的[0071]图1示出了根据本发明实施例的制造匀光元件的方法的示意流程9[0082]在本发明一些实施例中，微透镜阵列也可以包括一种与目标光场对应的微透镜将所述目标光场进行多种不同的分解来确定[0113]图3(a)(g)示出了根据本发明实施例的根据目标光场设计多组光场的示例的示近比例较高的一种微透镜对应的光场或几种微透镜对应[0124]根据获得的光场(即目标光场或每组中的一个分解光场)可以设计对应的微透r=,F,为当前坐标(x,y)位置与微透镜中心的距离。[0134]图5(a)示出了根据本发明实施例的图3(b)所示的光场A1的能量分布的详情的示数优化得到与光场A1对应的微透镜的镜面的面型公式当中的各个参数。表1给出了与光场0k0X2的系数2.00Y2的系数0.93X4的系数Y4的系数数优化得到与光场A2对应的微透镜的镜面的面型公式当中的各个参数。表2给出了与光场0k0X2的系数Y2的系数0.94X4的系数Y4的系数的所述多个光场与对应组微透镜中的所述多种微透镜一一对应，所述多个光场互相补偿，[0167]图6(a)、(b)示出根据本发明实施例的微透镜阵列的比较示例的布置和所形成光[0168]图7(a)、(b)示出根据本发明实施例的微透镜阵列的第一应用示例的布置和所形[0169]图8(a)、(b)示出根据本发明实施例的微透镜阵列的第二应用示例的布置和所形[0170]图9(a)、(b)示出根据本发明实施例的微透镜阵列的第三应用示例的布置和所形以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。