《光伏电池工艺设备 低压扩散设备技术规范》编制说明

团体标准

《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术

规范》

（征求意见稿）

编制说明

标准编制组

2025年3月

一、工作简况

（一）任务来源

根据2025年1月10日广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进

会发布的《关于<光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范>等三项团

体标准立项的通知》，由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头申报的团

体标准《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》获批立项。

（二）立项目的和意义

低压扩散的主要目的是在硅片表面进行硼或磷元素的扩散掺杂，以形

成P-N结、表面场或掺杂钝化接触，这是太阳能电池中实现光电转换的

关键结构。通过制定本技术规范，可提高电池效率及良率、优化电池制造

工艺、降低成本，从而推动本行业的技术进步。

低压扩散技术可提高电池效率和良率、降低成本、提高稼动率，然而，

当前国内外尚缺乏统一的扩散设备技术规范，这限制了光伏产业的健康发

展和技术交流。因此，制定《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》

团体标准显得尤为迫切和必要。

（三）起草单位

本标准由拉普拉斯新能源科技股份有限公司牵头编制。

（四）主要工作过程

1.标准预研阶段

2024年10月6日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司召开标准立项

讨论会。会议决定以拉普拉斯新能源科技股份有限公司积累多年的扩散设

备研发和生产制造经验为基础，检索对比国内外扩散设备相关标准，组建

标准编制组，开始进行预研工作。

2.标准立项阶段

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经过前期的讨论和资料检索，基本确定拟立项标准的编制目的、意义、

框架和主要内容等。

2024年12月31日，拉普拉斯新能源科技股份有限公司向广东省粤

港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会提交了《团体标准立项申请书》。

2025年1月10日，广东省粤港澳大湾区战略性新兴产业发展促进会发布

《关于<光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范>团体标准立项通

知》，正式批准《光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范》立项。

3.调研和初稿阶段

标准立项后，编制组进行了新一轮的标准查新，并根据立项任务书的

计划，着手起草初稿，并于2025年1月22日完成标准草案。

草案完成后，编制组于2025年2月20日对标准草案的全文框架、技

术指标等进行研讨，研讨会后编制组对标准草案进行了修改。2025年3

月3日，编制组对于文本细节、指标限值进一步确认和完善。

经过两次研讨后，编制组于2025年3月19日形成《光伏电池工艺设

备低压扩散设备技术规范》（征求意见稿）和编制说明。

二、标准化对象简要情况及制修订标准的原则

（一）标准化对象简要情况

本设备主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散工艺，硅片经过

此工艺形成PN结、表面场或钝化接触的掺杂，是电池生产中的一种关键

设备，可用于制造N型TOPCon太阳能电池、背接触(BC)太阳能电池、P

型PERC和PERT电池等。

本标准适用于生产TOPCon和BC等电池的低压扩散设备的制造和检

验，标准主要内容包括设备的术语和定义、型号及命名、技术要求、试验

方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准将为光伏电池制造

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企业提供设备选型、使用和维护的依据，同时也为设备制造商提供设计和

生产的指导。

（二）制定原则

1.适用性原则。制定本标准的出发点是统一低压扩散设备的技术要

求，保证产品质量，实现国产替代。制定标准过程中，根据产品工艺的成

熟与完善、技术发展水平及测试数据确定技术指标取值范围，力求确保标

准的合理性与适用性。

2.一致性原则。标准应符合现行法律法规、政策、规范性文件的规

定，并与现行扩散设备相关标准协调一致。

3.规范性原则。标准在结构和编写规则上符合GB/T1.1《标准化工

作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》，保证编写结构合理，

起草规范。

4.安全、可靠性原则。在工作环境和条件方面，在环境温度、相对

湿度等各方面提出要求；在整机性能方面，部分指标适当加严；在工艺性

能方面，部分指标适当提高。

三、主要技术内容

（一）标准名称和适用范围

本标准名称为“光伏电池工艺设备低压扩散设备技术规范”，给出

了设备的工作条件，规定了技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、

运输和贮存，适用于制造光伏电池的低压硼扩散设备的生产与检验。

（二）技术要求

1.外观及结构

为了确保设备性能、扩散质量、操作安全和长期稳定性，要求设备的

零部件连接配合牢固稳定，外表面无划伤人体的毛刺。为了设备流畅、稳

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定运行，对设备的导轨、紧固部位螺丝等进行规定。

2.整机性能

2.1控制性能

为了确保设备能够稳定、高效地运行，对设备的温度控制性能和压力

控制性能进行规定。

2.2漏气率

为了确保反应腔体内的气体成分和压力稳定，避免外界气体（如氧气、

水蒸气）污染，影响电池质量，对设备的漏气率进行规定。

2.3噪声

为了避免干扰精密传感器的信号，影响工艺控制的准确性，同时保证

操作人员工作环境安全，避免造成职业健康问题，要求噪声不大于75dB

（A）。

2.4稼动率

稳定的稼动率有助于制定合理的生产计划，减少因设备故障导致的延

误。

2.5产能

为了确保设备的运行效率，对产能进行规定。

2.6能耗

PECVD设备能耗高，规定能耗可以控制运行成本。

2.7电磁兼容性

避免设备受到外部电磁干扰，确保工艺控制的稳定性。

3.工艺性能

3.1碎片率

为了减少材料浪费和生产成本，降低生产效率，对不同规格尺寸的设

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备进行相应的碎片率要求。

3.2方阻及均匀性

方阻及均匀性是扩散设备重要的性能指标，因此对N型方阻的性能

指标以及片间、片内、批间的方阻均匀性进行规定。

3.3BSG厚度及均匀性

BSG层的厚度和均匀性直接影响硼扩散的均匀性和最终形成的PN

结质量。如果BSG层不均匀，会导致硼扩散不均匀，进而影响电池的电

学性能，因此，对BSG层厚度以及片内、片间、批间不均匀性进行规定。

3.4翘曲率

在光伏电池和半导体制造中，扩散设备工艺性能中的翘曲率是关键的

工艺指标，翘曲会导致硅片在后续的光刻、蚀刻等工艺中出现对准误差，

降低工艺精度，因此对翘曲率提出指标要求。

3.5不良比例

在光伏电池和半导体制造中，扩散设备工艺性能中的不良比例是关键

的工艺指标，不良比例的控制有助于确保每一片硅片或芯片的质量和性能

一致性，满足客户的质量要求。

4.自动化

为了提高生产效率，确保工艺稳定性，提高扩散质量，对设备自动化

生产的碎片率、掉片、产能、不良比例的技术参数进行规定。

5.安全

为了确保设备在运行、维护和紧急情况下的安全性、可靠性和稳定性，

对扩散设备的电气安全、急停、维修锁定、运动控制等方面进行规定。

四、采用国际标准和国外先进标准的程度及理由，以及与国际、

国外同类标准水平对比情况，或与测试的国外样品的有关数据对

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比情况

无。

五、与现行法律法规、强制性国家标准及相关标准协调配套情况

标准符合《中华人民共和国标准化法》《中华人民共和国标准化法实

施条例》等现行法律法规的规定。

标准与GB/T5226.33—2017《机械电气安全机械电气设备第33

部分：半导体设备技术条件》、GB/T5226.1—2019《机械电气安全机械电

气设备第1部分：通用技术条件》等相关标准协调一致。

六、重大分歧意见的处理经过和依据

无。

七、贯彻标准的要求及建议

本标准是以我国扩散设备实际生产现状