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文档简介

1、Auger电子技术，材料物理和化学研究中心侯亮，AES，auger效应auger电子能谱分析auger电子能谱分析应用，基本原理，1 auger电子生成-auger效应后退激励过程两种方法发射特性x射线发射auger孤立原子kl2l3 auger电子能量(动能)E kl2l3是auger电子过程的初始状态和最终能量(电子结合能)的差异，即ek2l 3=ebk(E bl2e bl3)，3 auger电子生产值auger欧氏电子和特征x射线是两个相互关联、竞争的发射过程。对于相同k层孔，满足荧光x射线和俄格电子的相对发射概率，即荧光产量(k)和俄格电子产量(k):k=1k，4直接光谱和差分光谱直接

2、光谱，俄格电子强度(密度或电子数)化学环境变化除了改变了欧氏谱(图)外，当欧氏电子脱离固体表面时，还会发生不连续的能量损失，从而在主峰的低能端产生伴随峰。返回、auger电子光谱仪、auger电子光谱仪由以下几个主要部分组成：电子枪能量分析器(RFA，CMA)二次电子探测器(样品)分析室溅射离子炮信号处理和记录系统返回，sanauger电子能谱分析，1 .定性分析定性分析工作根据测量直接谱(auger峰)或差分谱负峰的位置识别因素与标准谱进行比较。定性分析的一般阶段：a .使用“主要俄格电子能谱”确定测量光谱中最强峰值对应的几个因素；b .测量谱与可能的多个因素的标准谱相对应，确定最强的峰值对

3、应因素，并表示属于这个因素的所有峰值。c .重复上述步骤，识别测量光谱中尚未识别的剩余峰值。2 .定量分析是影响俄歇信号强弱的因素很多，因此俄歇能谱的定量分析比较复杂，俄歇能谱分析精度低，基本上是半定量水平。俄格电子系数(IA)和单位体积中的原子数(n)之间的关系为ia=g (1 r) IPN e (1- w) (Ep/EW) g-与实验装置相关的仪器系数r-。 相对灵敏度分析标准GX=(IX/sx)/(Ia/sa)GX-被测量元素(x)的原子质量分数ia-元素(a)的auger电子(主峰)强度，a为俄歇电子能谱法的应用，应用：a .材料表面分离，表面杂质b .金属、半导体、复合材料等界面研究；c .研究薄膜和多层膜的生长机制；d .表面的机械性能；e .表面化学工艺研究；f .集成电路掺杂的三维微区分析；g .固体表面吸附、清洁度、污染物识别等。，极限：不能分析氢和氦元素；b .定量分析的准确性不高。c .对大多数元素的检测灵敏度为原子摩尔分数0.1%-1.0%。d .电子束轰击损伤和电荷积累问题限制有

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