ESD 静电测试及其防护方法

1、Shenghua技术LCM产品部门，ESD基本概念简介，静电测试和保护基本概念，静电放电模式人类放电模式(HBM)机器放电模式(Machine Model，MM)部件充电模式(cheman-Body Model，MM) 静电放电测试组合I/o针脚的静电放电测试针脚-to-VSS的静电放电测试VDD-to-VSS针脚的静电放电测试analog针脚的静电放电测试CDM的静电放电测试、静电测试和保护基本概念、人体放电模式(HBM)、HBM的ESD发生、在不同HBM静电电压下测试标准3360 eiaj-IC-121方法20，机械放电模式(MM)的工业标准测试等效电路及其压力容量等级分类，机械放电模式(

2、MM)，人体放电模式(2-KV)和机械放电模式出现PS-mode:VSS脚接地、该I/o脚的VSS脚放电、VDD和其他脚均漂浮的正ESD电压。 如果NS-mode:VSS脚接地，并且已放电VSS脚的负ESD电压，则与VDD不同的脚将浮动。如果PD-mode:VDD脚接地，则该I/O脚的VDD脚放电时将出现正确的ESD电压，并且VSS将与其他脚一起浮动。如果ND-mode:VDD脚接地，并且负ESD电压为该I/O脚放电VDD脚，则VDD与其他脚一起浮动。Pin-to-Pin的静电放电测试，Positive-mode:的ESD电压出现在I/O脚上。此时，所有其他I/O脚将接地在一起，但所有VDD脚

3、和VSS脚将浮动。Negative-mode:的负ESD电压出现在I/O脚。此时，所有其他I/O脚将接地在一起，但所有VDD脚和VSS脚将浮动。VDD-to-VSS的静电放电测试，Positive-mode:的ESD电压出现在VDD脚上。此时，VSS脚将接地，但所有I/O脚将浮动。Negative-mode:的负ESD电压出现在VDD脚部。此时，VSS脚将接地，但所有I/O脚将浮动。Analog Pin的静电放电测试，Positive-mode:的ESD电压显示在差分输入级别的正输入针脚上，差分输入级别的负输入脚将接地，但所有其他I/O脚、VDD脚和VSS脚将浮动。Negative-mode:

4、的负ESD电压出现在差分输入级别的正输入插针上。此时，差异输入级别的负输入脚将接地，但所有其他I/O脚以及VDD和VSS脚将浮动。CDM的静电放电测试，在Positive-mode:整个IC浮动的情况下，IC的矩阵先充电，具有阳极电压，然后IC的所有脚以直接接地的方式放电；Negative-mode:整个IC处于浮动状态时，IC的底座首先充电，具有阴极电压，然后该IC的一只脚直接接地放电。静电放电错误判断、绝对泄漏电流IC经ESD测试后，输入/输出脚的泄漏电流超过1A(或10A)。漏电电流随添加的偏置大小而增加，在测量漏电电流时添加的偏置使用5.5V(VDDX1.1)或7V(VDDX1.4)。通过ESD测试相对I-V漂移IC后，通过Input/Output脚进入IC内部的I-V特性曲线漂移为30% (20%或40%)。功能观察法将功能正常、符合规格的IC的每只脚根据测试组合以特定电压额