EDS能谱检测ppt课件_第1页
EDS能谱检测ppt课件_第2页
EDS能谱检测ppt课件_第3页
EDS能谱检测ppt课件_第4页
EDS能谱检测ppt课件_第5页
已阅读5页，还剩8页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

1、EDS分析技术,TS14180002 颜晨星,EDS,EDS可以与SEM，TEM等组合，其中SEMEDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的标配。是微区成份分析的主要手段之一。,能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer),能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。 对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。 能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。 检测限一般为0.1%0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素

2、的定量相误差约为2%。,能谱的特点,定性分析,X射线的能量为Eh h为普朗克常数，为光子振动频率。 不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，只要检测不同光子的能量（频率）, 即可确定元素定性分析。,能谱定性分析原理,定量分析,分析方法 有标样定量分析：在相同条件下，同时测量标样和试样中各元素的X射线强度，通过强度比，再经过修正后可求出各元素的百分含量。有标样分析准确度高。 2. 无标样定量分析：标样X射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算。,试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量成比例，所以只要在相同条件下，测出试样中A元素的X射线强度IA与标样中A元素的X射

3、线强度I(A)比，近似等于浓度比： KA=IA/I(A)CA/C(A) 当试样与标样的元素及含量相近时，上式基本成立，一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。 KA=CA/C(A)(ZAF)A/(ZAF)(A) (ZAF)A和(ZAF)(A)分别为试样和标样的修正系数,EDS定量分析原理,ZAF定量修正 ZAF定量修正方法是最常用的一种理论修正法，一般EPMA或能谱都有ZAF定量分析程序。 Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关） A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）,EDS定量分析原理,半定量分析,无标样定量分析 无标样定量分析是

4、X射线显微分析的一种快速定量方法。强度比KIS/IStd。 表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。,EDS的分析方法点分析,电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。,EDS的分析方法线扫描分析,电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。,EDS的分析方法面分布,电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论