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1、无尘室简介,F5总务课 张月雷 2015年2月25日,目录,一、无尘室概念 二、无尘室控制项目 三、百级区域气流分析 四、particulate控制要点 五、particulate控制重要区域 六、总结,无尘室(Clean Room)的起源。 无尘室的重要性。 无尘室的分类。,前言,无尘室立面图,技术夹层,无尘室,高架地板,干盘管 功能：温度调节,MAU 功能：湿度调节,F5厂无尘室采用：MAU+FFU+DC 系统即是组合式新风机组 （Make-up Air Unit）+ 风机过滤器单元（Fan Filter Unit）+ 干盘管（Dry coil）系统。布局如下图所示。,一、无尘室概念,新风

2、管道,一、无尘室概念,T-GRID (T型网格),高架地板,FFU,干盘管,一、无尘室概念,FFU和HEPA（High efficiency particulate air Filter）,温湿度感应模块,MAU,亚克力隔间（百级区）,组合式新风空调箱构造,一、无尘室概念,测量结果换算：将2.83L气体体积粒子数换算成1立方英尺（28.3L）粒子数，并比较相应的洁净度等级要求，确定是否合格。,二、无尘室控制项目,USA Federal Standard 209E 1992-2001,三、百级区域气流分析之无尘室模型图,三、百级区域气流分析示意图,四、particulate控制要点,四、洁净室的发尘源,五、particulate控制重要区域,产生垃圾、灰尘的站别,风淋室,物料区,更衣室,六、总结,人是洁净室最大的污染源。 洁净室是一个环境，洁净室的效用能

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