厂务系统概述.ppt_第1页
厂务系统概述.ppt_第2页
厂务系统概述.ppt_第3页
厂务系统概述.ppt_第4页
厂务系统概述.ppt_第5页
已阅读5页，还剩23页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

廠務系統概述,莊士正,整廠系統,1.廠務系統功能,1.1 水系統在製程中的功能,1.2 氣體系統在製程中的功能,1.3 化學系統在製程中的功能,1.4 真空系統在製程中的功能,1.5 排氣/排水系統在製程中的功能,2.廠務系統使用材質,2.1 水系統使用材質,2.2 氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管),2.3 化學系統使用材質,2.4 真空系統使用材質,Pump Line 製程高真空,SUS 316 BA/EP,GEX 一般排氣,鍍鋅螺旋風管,2.5 排氣系統使用材質,Solvent 有機排氣,SUS 304全焊式不銹鋼風管,Acid/Ak 酸鹼排氣,不銹鋼Teflon Coating風管(Tefpass),2.6 排水系統使用材質,Drain 一般排水,PVC/PVC SCH80,Solvent 有機排氣水,SUS 304不銹鋼管,Acid/Ak 酸鹼排氣水,PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA,3.廠務系統流程,3.1 製程冷卻水系統簡略流程,3.2 冰水系統簡略流程,3.3 純水系統簡略流程,3.4 自來水/回收水系統簡略流程,3.5 CDA/GN2/PN2系統簡略流程,3.6 其他大宗氣體/特氣系統簡略流程,3.7 高真空/排氣系統簡略流程,3.8 真空系統簡略流程,3.9 化學系統簡略流程,3.10 廢水

人人文库> 全部分类> 教育资料 > 课件下载

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论