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文档简介

1、AEFT3101 Rev1,Probe Card机台良率分析,Owner: Reviewer: Approver : Date：2009-03-04 Version：01,所有字体：宋体+Arial,AEFT3101 Rev1,Revision History文件修正一览表,AEFT3101 Rev1,1.厂内良率针对P/C的判断标准： 参照Probe Card验收标准：Pass Yield Gap0.3%，单一bin rate Gap0.15% W10MT049-019 Rev1Probe card 验收表：,AEFT3101 Rev1,2.实例讲解 例1：P/C固定机台测试 根据P/C的测

2、试的pass rate,前三大defect bin rate做分析和层别，判断是否异常,从图中可以清楚看到，#01的P/C，pass rate和bin12 rate均偏高，接下来只需要交叉验证来判断是机台异常，还是P/C异常,AEFT3101 Rev1,例2：P/C和机台的搭配不固定 这类情况，需要层别机台和P/C来找到异常的真因,图1By P/C做层别，可以看出#01，#05的O/S rate都偏高，但#01在FT-17和FT-33都有做测试，而#05只在FT-33做测试； 进一步By机台做分析，发现#01在FT-17的O/S rate较低，而在FT-33较高，说明#01 卡片O/S rate偏高的问题，是在FT-33上引起的，而#05在FT-33的

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