光刻显影设备方案

1、上海交通大学WEWST01型光刻显影设备技术协议文件()客户确认： CHINASC确认： 地址：北京市通州区宋庄镇小堡工业区电话：0108009传真：0108006 邮编：Http： 北京市华林伟业电镀器材有限公司（./）是一家生产制造半导体清洗设备，太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备等，在中国非标设备制造领域以高科技、高品质的产品树立了良好的市场形象，积极吸收国际先进技术，经过多年不懈的努力，公司已经发展成为大型的专业清洗设备生产型企业。公司总部位于北京，面积7000m2。感谢您垂询华

2、林伟业的半导体湿制程相关设备，我们能为您提供以下生产设备A半导体分立器件RCA湿法清洗设备B半导体分立器件（晶圆、石英管等）清洗刻蚀设备C半导体硅晶圆片碱腐蚀设备D半导体硅晶圆片酸腐蚀设备E微电子实验室化学湿台/腐蚀台F微电子实验室存储通风柜G双管式石英管/立式石英钟罩酸洗设备H单晶圆/单片清洗线I 工程塑料槽体加工J 废液/废水/尾气处理设备我们设备具有强大的竞争力，我们已经遥遥领先！已开发项目l 国内首台全自动立式石英钟罩清洗机l 国内首台全自动8寸硅片清洗机l 国内首台单片清洗机l 国内首台液晶减薄设备l 国内首台负压式尾气处理设备l 国内首台半导体6寸硅片清洗机出口开发中项目l 大型太

3、阳能电池自动清洗刻蚀关键自动设备（量产）l 全自动液晶刻蚀清洗生产线（量产）l 立式液晶面板清洗设备l 配套清洗工艺，实现清洗设备交钥匙工程l 我们设备，能将您的风险减到最低1.概述1.1设备概要名称：光刻显影设备型号：WEWST01数量：一台(套)重量：700Kg( 大约)；适用于：4-6寸单篮（25片/篮）传送方式：人工传送工艺流程：客户提供。1.2主要特点l 腐蚀漂洗能力强,性能稳定,安全可靠l 设备成本合理, 净化占地面积小，造型美观、实用，使用成本低l 技术先进,结构合理, 操作符合人机工程原理l 结合华林伟业公司全体同仁之力,七年品质保障,使其各部分远远领先同类产品;2.工艺流程操

4、作台面面面2.1外形结构图：见图纸2.2台面布局图：28”413.25”313.25”1# 水气枪2.3清洗槽工位技术参数：工位1#2#3#4#介质 DIW旋涂机（客户提供）光刻用加热板（客户提供）光刻胶用旋涂机（客户提供）温度常温-功能DIW水龙头清洗槽体材料NPPPPPPPP3.设备技术参数3.1整机l 尺寸（长宽高）：约300011001800mml 主要材料：德国进口10mm瓷白PP板机壳，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐l DIW管路及构件采用日本进口clean-PVC管材，需满足去离子水水质要求，采用国际标准生产加工，焊接组装均在万级净化间内完成。l 排风：位于机台后上部l 工

5、作照明：上方防酸型黄色照明（黄光区照明）l 附件：DI/N2Gun：各一只l 台面板为德国10mm PP板（带有圆形漏液孔）l 控制方式：手动控制. 配有电子时钟计时，和应急脚踏开关。3.2 DWI清洗槽（1#）l 数量：一套l 清洗液：DIW l 供液：手动l 配有鹅颈水龙头。l 槽体尺寸（有效尺寸）：约250250250mm（详见图纸）l 由槽体，鹅颈水龙头、管路组成。3.4防护门l 材质：前方防护门为透明PVC材质l 形式：折叠式内置活动门3.5设备排风系统l 设备设有排风接口l 排风系统（排风压力、风量根据实际情况或客户要求设计）将设备内挥发的有毒气体抽到车间排风管道或户外（室外排放遵

6、守国家环保要求），避免扩散到室内（排风动力装置由甲方提供）l 排风通道内设有风量导流板，从而使排风效果达到最佳l 双排风口单独隔离装置3.6给排水/废液系统l 给水管路为英制接口，一路去离子水l 给排水排废接头均为活性连接3.7设备技术参数l 电源（用户提供）：380VAC10l 整机平均耗电功率：根据客户实际生产情况设定l 气源（用户提供）：3/8” （0.40.6Mpa）l 上水：DN20*1l 排风：DN200*2l 排废液：DN50*1l 所有上液及排液管路接口均配有由令4.设备验收4.1主要数据4.1.1工件玻璃基板4.1.2材质客户提供4.2验收测试4.2.1验收测试分为静态验收、

7、动态验收两部分，符合此两项标准则验收合格设备厂家负责提供验收用工具l 设备静态、设备动态验收设备静态、设备动态验收是由设备制造厂提供验收项目清单验收l 制品验收使用合格零件，对设备清洗，按设备技术要求中的产品技术要求验收洁净度：目测工件表面无油、无屑、无其他固体杂质4.3最终验收4.3.1最终验收内容包括：本体的外观、设备附件、备品备件等的验收；设备安全性、加工节拍、设备稳定性等的验收。l 本体外观的验收设备的颜色和买方提供的色板一致设备的喷漆和电镀部分无划痕、欠缺l 设备附件、备品备件等的验收要求附件、备品备件数量和型号和合同清单一致l 设备稳定性验收连续生产8小时，要求无因设备故障原因的停

8、机l 安全验收标准：按中华人民共和国安全标准5.技术服务5.1华林伟业公司负责设备现场安装，并于安装前一到两周提供安装场地要求5.2免费提供从调试之日起一年的技术支持及服务，终生维护5.3提供设备相关硬件、软件升级服务5.4提供详细的操作、维护、应急处理培训，具体内容如下：序号内容参与培训人员开始时间时间备注1设备原理结构培训负责设备的电气及机械工程师在用户通电调试一周后2天提供设备说明书及培训资料2应急处理维修保养负责设备的电气及机械工程师在用户通电调试一周后3天提供设备说明书及培训资料3设备原理结构培训设备使用人员在用户通电调试三周后2天提供设备说明书及培训资料4设备操作应急处理设备使用人

9、员在用户通电调试三周后3天提供设备说明书及培训资料5.5设备说明书2套；5.6通用技术规范5.6.1.基本使用状况l 温度要求：538l 湿度要求：90%l 电源电压：三相380V10%，50Hz 单相220V10%，50Hz（动力供给）l 操作控制回路：DC24V SOL：AC100V5.6.2.安全事项：l 会对人体造成伤害的部分须安装安全门或安全保护罩，有人员作业岗位使用双开关启动作业，易对人造成伤害部分设置光电安全门l 非常停止开关设置：在各操作控制箱的表面须设置非常停止开关，作业岗位操作开关旁须明显设置有非常停止开关。6.服务保证书6.1质量保证书乙方对设备质保 1 年。l 乙方保证

10、所有材料和零部件的质量、规格、品牌、产地与合同要求相符。l 工艺布局、设备布置、总装配图及图等技术文件需经双方确认会签后方可投入施工。l 乙方在合同签订后向甲方提供各顶设备的正式图纸以供甲方技术认证，若制造过程中有技术改动，需甲、乙双方确认后方可生效：乙方制造施工应严格执行图纸、技术文件和有关规定的要求，并进行各方面的技术质量监督控制。l 甲方在乙方制造过程中对制造质量进行中间检查。设备出厂前甲方在乙方工厂进行预验收。l 乙方提供的设备必须运转正常、安全可靠、外观美化、色调和谐。6.2工程质量保证按照质量保证体系，特制定本验收总则，作为对华林伟业公司承做的设备（包括合同的全部内容）进行检查、验

11、收的依据。整套设备的质量由以下环节保证：l 设计控制：依据甲方提出的生产大纲，乙方按照行业规范，做出合理的设计，并在与甲方的交流过程中，不断优化方案设计。对设备的线体、传动、动力、气动、温控等部分的结构、选型必须留有余量，保证能够长期安全、可靠、稳定地运行，为甲方保证产品质量提供最基本的条件。l 乙方分供方的审查认定：为乙方提供原材料、部件、整机的分供方，需要有对其质量保证的认证。乙方提供封样样品，甲方按封样验收。l 制造过程控制：乙方为甲方制作设备的过程中，应严格按照规定进行过程控制，保证按设计要求生产出合格产品。l 检验和验收：在设备制作过程中和形成部件成品后，要进行严格的检验和试验，不合

12、格品不得进入下一工序。l 搬运、存储、包装、防护和交付：乙方应采取保证产品质量的措施，这种保护应延续到交付的目的地，直至安装、调试完毕，交付甲方验收。l 安装、调试：乙方按行业规定进行设备的安装、调试。在甲方提供保证条件的情况下，乙方应按进度日程，保证质量完成安装调试工作。l 人员培训：在试生产期间，乙方负责对甲方工程技术人员进行生产线操作、保养、维护、维修的培训，并提供规范的培训资料。以上七个环节的检验，按国家有关标准及双方技术协议标准进行验收。生产质量要求l 每台设备在运行时应平稳、无爬行撞击或抖动泄漏等不良现象，加热系统安全可靠，风管布置合理。l 所有电器、配电箱及控制箱的设计安装，应符

13、合国家电器技术的安全标准，所有机械安装应符合国家有关规定的要求和精度等级。l 水路、气路，风路连接处，不得有漏气、漏风、漏水等现象。l 设备各衔接处，应平直，金属表面喷涂应平整、光滑、无漏漆、颜色均匀。l 设备、热风机或其他动力设备应有良好的过载保护，并有紧急制动等保护装置。技术质量及验收期l 乙方保证所用材料和零部件的质量、规格、数量、品牌、产地与合同要求相符，乙方应在合同签订后即向甲方提供各项设备的正式图纸以供甲方技术认证，若制造过程中有技术改动，须经甲、乙双方确认后方可生效。在设备验收之后，乙方提供各项设备的使用说明书、工具附件及维修保养文件。l 甲乙双方共同拟订设备验收细则，当设备制造

14、、安装调试完毕，符合设计要求，满足工作要求，由甲方组织有关专业人员对设备进行初步验收，合格后即视为设备可投入试生产运行。l 设备未注明细节按照卖方标准生产。l 设备连续试生产运行7日后，若设备正常运转，甲方须进行正式验收。未验收的设备不可投入生产，若投入生产的设备完全等同于已经验收合格。6.3技术服务1. 设备附件及零备件：l 提供设备正常使用及维护所需的备品备件l 提供易损件清单及有关图纸2. 设备技术资料：l 使用维护说明书：设备安装调试完成后，向用户方提供最终使用维护说明书。l 安装说明书或现场安装指导l 设备验收单l 最终设计有关图纸：总装图，易损件零部件图，电气原理图，电气接线图，电

15、力分布图，PLC接线图，设备接口图及说明；l 关键外购件说明书；3. 技术培训：l 设备试生产运行期间，乙方负责培训甲方指定机电维修人员，培训包括设备操作维护，普通故障的分析和处理；l 设备投入试生产后，乙方派机电各一名跟进一星期。质保期内每年派出1-2名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。7.售后服务承诺7.1售后服务承诺1质保期内非操作原因出现设备故障，乙方保证在接到甲方通知24Hr内到达现场，并在4Hr内解决。人工费、差旅费由乙方承担。2质保期内操作原因出现设备故障，乙方保证在接到甲方通知24Hr内到达现场，并在4Hr内解决。其间因发生的更换零部件费用由甲方承担，人工费由乙方承担,差旅