VAF446真空退火炉

1、沈阳真空技术研究所简介沈阳真空技术研究所原属于机械工业部，现归中国机械装备（集团）公司，是以研制、开发、生产、销售各种真空应用设备为主的高新技术企业。一、 科研实力：1、 50年历史、国家级专业研究所。200项科研成果，80项获国家、国家部委、省市各级科技成果奖。2、 300名员工，60名专业技术人员其中教授级高级工程师5人，高级工程师15人，工程师40人。有一个具备完全生产能力的工厂，占地面积15万平方米。二、 行业优势：1、 中国真空设备行业的技术归口单位，中国真空设备行业协会的理事长单位，中国真空学会副理事长单位。2、 国际标准化组织（ISO）的P成员（具有表决权），中国真空技术标准化技

2、术委员会的挂靠单位。3、 国家真空设备质量监督检测中心、国家真空设备实验室、机械工业真空计量中心中国真空学会获得专业委员会挂靠单位。4、 真空设备行业生产力促进中心挂靠单位。沈阳真空杂志社的主办单位，出版发行国家级学术期刊真空杂志。三、 技术领域：真空热处理领域、真空熔炼领域、真空镀膜领域，电工器件的真空处理领域、真空领域。四、 产品应用范围：汽车行业、工具行业、兵器工业、稀土永磁材料行业，装饰、装修及建筑行业，电子、液晶显示行业、电工行业，食品、运动器材及医疗器械等其他行业。五、 质量保证：ISO90001质量体系。主要产品目录二、 真空熔炼设备 VCF系列真空自耗电极电弧炉 VIF系列真空

3、感应熔炼炉 VSC系列真空自耗电极电弧凝壳炉 VISF系列冷坩埚真空感应凝壳炉 三、 生产电工产品用真空设备 VPD煤油汽相干燥成套设备 VPI真空压力浸渍成套设备 VRC 环氧树脂真空浇注成套设备 VHD变压法真空干燥设备四、 真空涂层设备 射频多靶磁控溅射镀膜设备 MAD系列多弧离子镀膜机 ITO透明导电玻璃真空镀膜生产线一、 真空热处理设备 VQG系列高压气淬真空炉 VPG系列加压气冷炉 VOG系列真空油气淬火炉 VTF系列真空加压回火炉 VAF系列真空退火炉 VQB系列真空高温钎焊炉 VBF系列真空铝钎焊炉 VPS系列高真空正压烧结炉 VSF系列（通用型）真空烧结炉 高温真空烧结炉 热

4、压真空烧结炉 立式真空热处理炉 哈壳真空热处理炉VAF-446真空退火炉技术文件1、设备名称：真空退火炉2、数量： 一套3、设备用途：用于工件在高真空、无氧化下退火等热处理工艺。4、供货范围：4.1 设备供货范围：真空退火炉 一台4.2 伴随服务要求：在提供设备的同时，提供与之相应的伴随服务，包括：技术资料、安装、调试、现场试运行、技术支持、技术培训等。5、基本要求：该设备结构设计先进合理，能够满足用户所提供材料的真空退火的要求。设备具备国内先进水平的可靠的自动化控制及监控功能。设备的配套产品和功能元器件具有国际先进水平，能够适应长期、稳定、可靠的生产需求且设备的节能效果好。6、真空退火炉主要

5、技术规格及参数：6.1 真空炉形式： 卧式、单室6.2 均温区尺寸： 400mm(高)400mm(宽)600mm(长)6.3 装料量： 200Kg/炉（含工装）6.4 最高温度： 13006.5 温度均匀性： 5（空炉9点测温）。6.6 控温精度： 16.7 极限真空度： 510-3Pa（空炉、冷态）6.8 工作真空度： 510-2Pa6.9 压升率（漏气率）：0.5Pa/h6.10 抽气速率： 30min（空载、室温条件下到5 10-2Pa，扩散泵预热时间除外）6.11 最大充气压力：0.18MPa（绝对压力、可调）6.12 加热功率： 90KVA6.13 整机功率： 120KVA6.14

6、水消耗量： 8m3/h6.15 控制方式： 可编程序控制器（PLC）控制6.16 控温方式： 日本公司的控温仪6.17 操作方式： 自动或手动7、真空退火炉结构形式： 真空退火炉由炉体、加热室、真空系统、充放气系统、风冷循环系统、水冷系统、气动系统、电源系统、电控及报警系统组成。7.1 炉体：（1）炉体采用卧式双层圆筒水冷壁结构，材料为碳钢。炉体上设置九点测温接口、真空接口、充气接口、电极接口、风冷接口等，通过各不同规格的真空接管及法兰与真空系统、充放气系统、水冷电极等连接。炉体内安装加热室、风机换热器及测温热偶。炉体配有安全阀，防止充气过压。（2）炉门为双层圆筒水冷壁结构，材料为碳钢。炉门的

7、锁紧采用气动错齿圈结构。炉门的开启采用气动开启、手动推拉方式。炉门上设观察窗，可实时观察炉内加热状况。（3）炉体与炉门之间采用梯形槽密封结构，密封圈容易更换，可保证真空炉的密封性能。7.2 加热室（1）加热室为整体结构，框架为不锈钢材质，炉胆便于维护和更换。保温层采用碳毡内壁覆盖钼片结构，保证真空炉内无污染且保温效果好，同时也能减小冷却气体对加热室的损坏，延长加热室的使用寿命。加热元件采用高温钼带，沿加热室圆周布置，具有温升速度快，温度均匀性好，加热带使用寿命长等特点。不锈钢冷却风道与加热器采用同心方式设计，均匀分布于加热室四周，冷却风道上设有均匀分布的气体喷嘴，冷却时气体可通过均布的喷嘴吹向

8、工件，使工件得到均匀的冷却以确保冷却效果。引入电极为专门设计的水冷电极。（2）加热室炉床组件采用高温钼；料盘采用耐热不锈钢，高温变形小，料盘规格:600X400X30。7.3 真空系统：（1）真空系统由旋片泵-罗茨泵-扩散泵、高真空挡板阀门、波纹管、电磁放气阀、管路等组成。（2）2X-70旋片泵 （沈阳恒星）（3）ZJP-300罗茨泵 （浙江兴华）（4）KT-400油扩散泵 （沈阳天鸿）（5）真空阀门均采用气动高真空挡板阀。该阀门的开启与闭合均由PLC控制，且联动互锁，断电时阀门自动关闭以保证炉内真空度，避免工件氧化。（6）真空测量采用数显真空计及配套规管，该真空计可以实现测量过程中的量程自动

9、转换和超程保护，并具有设定控制、数据输出、故障报警等多种功能。7.4 充放气系统：包括气源、充气阀门（自动、手动）、管路附件等。炉内最大充气压力0.18MPa，并且充气压力连续可调，可有效的控制冷却速度。7.5 风冷循环系统：为离心式鼓风机装置配以高效翅片紫铜管组成的热交换器形成内循环冷却系统，具有气流风速大，气流面积大，气流压力均匀等特点，提高工件的冷却效果，缩短工件出炉时间。7.6 电控系统： （1）电控系统由可编程控制器PLC、温控仪、晶闸管调压器、真空计、无纸记录仪、电压电流表、直流稳压电源、空开、接触器、继电器、按钮、指示灯等组成，以实现供电、控制、记录、监视、报警保护功能。（2）控

10、制系统采用日本进口的欧姆龙可编程控制器，具有较高的可靠性和自动化程度，能够实现工作过程的手动和自动控制。（3）温控仪采用智能化仪表（日本公司产品），控温精度不低于0.1%。200段程序控温，能够在线修改工艺参数，以供随机调用。（4）设有热电偶接口，用于测温、控温、超温报警，实现工作过程的实时监控。（5）记录仪采用浙大中控无纸记录仪，能同时记录炉膛温度、真空度等。（6）电控柜上具有炉子工作状态模拟显示屏，实时显示设备运行状态，控制柜上所有按钮、继电器都为日本进口件。（7）通过晶闸管调压器采用低电压、大电流方式供电，加热供电采用三单相供电方式。（8）炉体上设有安全阀装置，真空度、水压、加热等互锁保

11、护。（9）控制柜内有冷却风扇系统，且具有防震功能。7.7 报警系统：对设备超温、缺水、缺相、过流、真空泵过载、真空不足等异常情况进行声光预警，并能执行相应的保护措施。7.8 气动系统：用于各个气动阀门、炉门锁紧圈的动力供给工作（气源由用户自备），包括气源处理三联件（采用进口过滤器、减压阀、油雾器）、压力表、电磁换向阀、气动接头、气动管路等。7.9 水冷系统：由冷却水分水装置，通过其连接管及附件与设备中相对应的管接头连接，构成全套设备的水冷系统。分水装置设有进回水管、阀门及电接点压力计，电接点压力计与控制部分组成供水欠压联锁保护系统，达到了保护设备有效运行的目的。7.10 手动叉车，便于装、卸工

12、件。8、甲方必备的设备安装运行条件8.1 设备总装机容量： 120KVA8.2 起重设备： 3吨8.3 水源： 1）耗量： 8M3/h 2）水压： 0.2 -0.3Mpa 3）水温： 308.4 气源： 1）耗量： 3L/s2）压力： 0.4-0.6Mpa8.5 冷却气体：氮气或氩气（纯度：99.99%）9、卖方提供资料9.1、标注轮廓尺寸的平面布置图；9.2、安装地基（动力）条件图；9.3、设备总图；9.4、电控系统原理图及配线图；9.5、设备操作维护使用说明书；9.6、主要配套产品使用说明书及合格证；9.7、气路及水路原理图；9.8、易损件图纸；9.9、标准件明细表；9.10、必要的维修示

13、意图。10、设备预验收10.1 设备在供方现场安装、调试完成后，通知需方进行预验收10.2 预验收合格后才能出厂发运10.3 出厂预验收内容按本设备技术规格及要求验收11、终验收11.1 设备最终验收在需方现场按双方签署的技术协议要求进行。11.2 终验收合格后双方签署终验收报告。11.3 设备验收以终验收为准。12、安装、调试12.1 合同生效后1个月内，由供方向需方提供平面布置图（地基图），设备的安装以供方派工程技术人员，需方派相关人员配合的方式进行。12.2 需方负责将水、气、电接到设备指定位置，设备接点之前的水冷管路、总进线电缆由用户负责。13、培训13.1、设备安装调试过程中，卖方同

14、时对买方设备使用人员进行必要的操作和维护保养的培训。经培训，用户技术人员能够达到独立正确操作设备并能判断故障及简单维修。13.2、培训计划和内容：序号培训计划计划人数（人）培训时间（天）培训人员地点职称人数1操作培训22工程师1人验收现场2维护保养培训22工程师1人验收现场3故障判断及简单维修培训22工程师1人验收现场14、设备的售后服务14.1保修期：自设备验收之日起一年（易耗件除外）14.2售后服务：提供设备的终身维护，在保修期内如出现故障，卖方在收到用户通知后，2小时内给与准确答复，如不能远程解决,48小时内到用户现场。在保修期外，实行有偿终身服务修理，合理收取零部件及成本费用。15、供货范围序号名称规格型号数量产地生产厂家1炉体1沈阳真空所2真空系统1沈阳真空所3充放气系统1沈阳真空所4风冷换热系统1沈阳真空所5加热室1沈阳真空所6气动系统1台湾真空所7水冷系统1沈阳真空所8加热电源1张家港四通/中亚9控制系统1沈阳真空所10炉外送料车1沈阳真空所16、设备主要配置表序号名称规格型号数量产地生产厂家1罗茨泵ZJP-3001浙江兴华2旋片泵2X-701沈阳恒星3扩散泵KT-4001沈阳天鸿4真空计1沈阳真空所5