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文档简介
1摘要MEMS(MicroElectroMechanicalSystem)是指采用微机械加工技术可以批量制作的、集微型传感器、微型机构、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通讯等于一体的微型器件或微型系统。MEMS技术的发展显示出巨大的生命力,它把信息系统的微型化、多功能化、智能化和可靠性水平提高到新的高度。目前MEMS产品如微传感器、微执行器和微电子机械部件正在工业过程控制、通讯、计算机和机器人、环境保护和监测、人类健康、战斗机、汽车运输和农业等领域得到广泛的应用。其中在工业、仪表、打印机、传真机、汽车、医疗检测和DNA分析等方面已取得可观的经济效益。键合机根据其自动化程度高低分为手动、半自动和全自动三类;根据其键合工艺特点分为超声键合、热压键合和热超声键合。超声键合采用超声波的能量,使金属丝与铝电极在常温下直接键合。由于键合工具头呈楔形,故又称楔压焊。热压键合和热超声键合的原理基本相同,区别在于热压键合采用加热加压;而热超声键合采用加热加压加超声。金丝球焊机是一个典型的光机电一体化设备,也是电子元器件封装过程中的关键设备,其性能直接影响生产器件的性能、生产效率和产品合格率。目前国内主要生产手动型(无图像识别定位功能)金丝球焊机。通过增加图像识别控制系统、对手动型金丝球焊机进行自动化改进,由于改进后的设备其自动化运作的速度达不到IC设备的高速高精度要求,因此本设备主要面向MEMS。本文对手动金丝球焊机进行自动化改进,增加了控制工作台和图像识别统。在改进过程中,主要完成了以下三个方面的工作:(1)全自动引线键合机图像识别控制软件系统的开发论文结合改进后金丝球焊机的特点开发了图像识别控制软件系统,实现了焊接过程中的自动控制。整个图像识别控制系统具有操作简单、界面友好、汉化显示等特点。(2)工作台的机构设计与运动控制的研究结合要改进的金丝球焊机的小位移、高速度、高精度的特点,论文采用了步进电机驱动的X,Y,Z导轨,显微镜放大倍数的调整,采用步进电机驱动2蜗轮蜗杆,然后通过同步带实现放大倍数的调整,实现了自动金丝球焊机的精确机械定位,具有结构简单、成本低廉、精度合适的特点。(3)图像处理算法的研究图像处理算法是整个金丝球焊机图像识别控制系统的关键,通过学习数字图像处理理论,在参考各种图像处理算法的基础上最终实现了目标的识别。3AbstractMEMS(theMicroElectroMechanicalSystem)meantoadopttinymachineprocessingtechnologycanwiththebatchquantitycreateof,gathertheminiaturetospreadthefeelingmachine,miniatureorganization,theminiatureperformancemachineandthesignalprocessingsandcontrolelectriccircuitsandconnectthe,communicationtobeequaltotheintegralwholeoftheminiaturemachinepieceorminiaturesystem.ThetechnicaldevelopmentofMEMSdisplaysthehugevitality,itistheminiaturizationoftheinformationsystem,multi-functionturn,theintelligenceturnstoraisethenewheightwithdependablesexlevel.CurrentlyproductofMEMSsuchastinyspreadthefeelingmachine,tinyperformancemachineandthemicro-electronicsmachinepartsesjustintheindustryprocesscontrol,communication,calculatorandrobot,environmentalprotectionsandmonitors,mankindthehealth,fighterjet,theautomobilerealmssuchasconveyanceandagricultureetc.getstheextensiveapplication.Amongthemanalyzeintheindustry,appearance,printer,facsimilemachine,automobile,themedicaltreatmentexaminationandDNAetc.havealreadyobtainconsiderableofeconomicperformance.Thekeymatchesthemachinetoautomatethehighlowmarkofdegreeaccordingtoitformove,thehalfisautomaticandfull-automaticthreetype;Matchthecraftcharacteristicstoisdividedintoakeytomatchaccording4toitskey,theheatpressesthekeytomatchtomatchwithakey.Akeymatchestheenergyofadoptawave,makethemetalssilkandthealuminumelectrodesareunderthenormaltemperaturethedirectkeymatch.Becausethekeymatchesthetoolheadtopresenttheform,pastcallthatthepressestheagain.Theheatpressesthekeytomatchsimilartotheprinciplethatakeymatchbasically,thedifferentiationliesintheheattopressthekeytomatchtheadoptionheatingtoaddtopress;Butakeymatchtheadoptionheatingtoaddtopresstoaddthesupervoice.Thisafewkeysmatchesthewayeachhavethecharacteristics,alsohaveeachfromapplyofproduct.Butmatchandcanlowerbecauseofakeytheheatpressesthetemperature,raisingthekeytomatchthestrength,beingadvantageoustoadependablesexofmachineetc.advantage,akeymatchestohavealreadyreplacedtheheattopressthekeytomatchtomatchwithakey,theessentialkeythatbecomethefusekeysmatchmatchestheway.Thegoldsilkballbondingmachineisalightoftypicalmodelmachineelectricityintegralwholetoturntheequipments,isalsoamachineofelectronicspiecetosealtopackthekeyintheprocessequipments,thedirectinfluenceofitsfunctionproducesthefunctionofthemachinepieceandproducesthequalifiedrateofefficiencyandproducts.Currentlythelocalandmainproductionhandmovesthetype(havenothepicturetoidentifytopositionthefunction)silkballmachineofgold.Passtoincreasethepicturetoidentifytocontrolthesystem,opponenttomoveagoldsilkballmachinetocarryontheautomationimprovement,becauseoftheequipmentsinimprovementitautomatesthehigh-speedhighaccuracyrequestthatthespeedoftheoperationcannotreachtheequipmentsofIC,sothisequipmentsmainlyfacestotheMEMS.Thistextopponentmovesthegoldsilkballmachinetocarryontheautomationimprovement,increasingthecontrolworkpedestalandpicturestoidentify.Inimproveprocess,mainlycompletedthr
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