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文档简介

1月spc月報 列表日期:03/02/05 序號站別項目擔當單位規格單位2月管制範圍cpk值 1 終檢課 osp膜厚終檢課0.20.5u“0.3970.4492.65 2微蝕量終檢課1030u“20.6725.832.44 3成型站成型尺寸鑽孔課+5mil-1.2021.2901.94 4 oqc 成品清潔度ipqc0.5mil0.70.962.24 14pth孔銅ipqc0.7mil0.891.133.94 15面銅ipqc0.5mil0.6850.951 pth孔銅ipqc0.7mil0.9031.145 17面銅ipqc0.5mil0.7420.912 pth孔銅ipqc0.7mil0.8761.1 17面銅ipqc0.5mil0.7640.8942.28 15pth孔銅ipqc0.7mil0.911.032.36 16面銅ipqc0.5mil0.726-0.8830.048 16pth孔銅(垂直)pd-15bbipqcmil 17pth孔銅(水平)pd-16abipqc0.7mil0.833-0.9700.044 18pth孔銅(垂直)pd-16bbipqcmil 19面銅平均r值(水平)pd-14abipqc15u“15.481-20.1431.728 35電鍍鎳厚pd-25bg/f100u“130.852-155.7299.22 備註:半成品清潔度(pd-22)管制項目已取消; 新增垂直電鍍線5項管制項目. 審核:製表: 潘 兵 cpcpk值 數據不足 數據不足 數據不足 數據不足 1.2871.253 1.8091.805 4.9534.953 12.56011.316 1.9001.692 1.4181.347 5.1042.887 1.3421.317 1.7920.913 1.5681.365 2.2982.298 2.0202.02 8.7128.712 0.9410.912 2.0041.085 0.72 0.84 0.58 2.9791.922 2.826 1.787 6.8106.81 5.3454.167 2.5132.118 0.8580.858 0.5430.543 1.5651.565 unimicron technology(shenzhen) corporation spcspc 5 5月月月月報報 unimicron technology(shenzhen) corporation spcspc 6 6月月月月報報 列表日期:2003/07/04 序號站別項目編號等級擔當單位規格單位7月管制範圍sigmacacpcpk值 1 終檢課 osp膜厚1#pd-6a終檢課0.20.5u“0.397-0.4620.0240.5302.1201.000 2微蝕量1#pd-5b終檢課1030u“20.27-25.93數據不足 3osp膜厚2#pd-6a終檢課0.25-0.3u“0.256-0.2940.0140.0080.6000.600 4微蝕量2#pd-5b終檢課10-30u“12.106-21.636數據不足 5 成型站成型尺寸公差pd-3a鑽孔課 +5mil 1.4571.5921.1820.0131.4101.390 6+8mil 1.8471.9441.4400.0061.8501.840 7 oqc 成品清潔度pd-4bipqc7grade9.000 16背光(垂直)pd-13aipqc7grade9.000 17pth孔銅(水平)pd-15bipqc0.5mil0.725-0.8870.0502.0402.040 18pth孔銅(垂直)pd-15bipqcmil 19pth孔銅(水平)pd-16bipqc0.7mil0.830-0.9790.0391.7501.750 20pth孔銅(垂直)pd-16bipqcmil 21面銅平均r值(水平)pd-14bipqc15u“14.88-20.071.8340.4500.450 37電鍍鎳厚pd-25bg/f100u“115.3-162.216.3682.8302.830 備註:半成品清潔度(pd-22)管制項目已取消; 新增垂直電鍍線5項管制項目. 審核:製表: 潘 兵 unimicron technology(shenzhen) corporation spcspc 7 7月月月月報報 列表日期:2003/08/03 序號站別項目編號等級擔當單位規格單位8月管制範圍averagesigmacacpcpk值 1 終檢課 osp膜厚1#pd-6a終檢課0.20.5u“0.465-0.1290.4240.029-0.4911.7500.890 2微蝕量1#pd-5b終檢課1030u“20.207-25.96723.1371.212-0.2602.1501.590 3osp膜厚2#pd-6a終檢課0.25-0.3u“0.252-0.2970.2770.015-0.0350.5700.550 4微蝕量2#pd-5b終檢課40-60u“12.106-21.636- 5 成型站成型尺寸公差pd-3a鑽孔課 +5mil1.307 -1.590.1421.108-0.0271.5001.460 6+8mil1.664-2.150.2531.319-0.0302.0201.960 7 oqc 成品清潔度pd-4bipqc7grade9.0009.000-#value!- 16背光(垂直)aipqc7grade9.0009.000-#value!- 17pth孔銅(水平)pd-15 bipqc 0.5mil0.725-0.8870.8090.031-2.3702.370 18pth孔銅(垂直)r27-60.6mil0.901-1.2081.0900.035-1.8601.860 19pth孔銅(水平)pd-16bipqc0.7mil0.834-0.9790.8940.030-2.1402.140 20面銅平均r值(水平) pd-14 bipqc15u“15.259-19.59317.431.585-1.1301.130 36電鍍鎳厚pd-25bg/f100u“115.2-163.2140.7314.510-2.1502.150 備備註註:本本月月spc符符合合項項目目20項項,符符合合率率為為76.92%. 審核:製表: 潘 兵 unimicron technology(shenzhen) corporation spcspc 8 8月月月月報報 序號站別項目編號等級擔當單位規格 1 1 終終檢檢課課 osposp膜膜厚厚1#1#pd-6a終終檢檢課課0.20.50.20.5 2 2微微蝕蝕量量1#pd-5b終終檢檢課課10301030 3 3osposp膜膜厚厚2#2#pd-6a終終檢檢課課0.25-0.3 4 4微微蝕蝕量量2#pd-5b終終檢檢課課40-60 5 5 成成型型站站成成型型尺尺寸寸公公差差pd-3a鑽鑽孔孔課課 +5 5 6 6+8 8 7 7 oqcoqc 成成品品清清潔潔度度pd-4bipqcipqc7 1616背背光光( (垂垂直直) )aipqcipqc7 1717pthpth孔孔銅銅( (水水平平) )pd-15 bipqcipqc 0.50.5 1818pthpth孔孔銅銅( (垂垂直直) )r27-60.6 1919pthpth孔孔銅銅( (水水平平) )pd-16bipqcipqc0.70.7 2020面面銅銅平平均均r值值(水水平平) pd-14 bipqcipqc15 3636電電鍍鍍鎳鎳厚厚pd-25bg/f100 備備註註:本本月月spc符符合合項項目目19項項,符符合合率率為為79.17%. 審審核核: : 微微影影課課 pd-8 列表日期:2003/09/01 單位averagesigmacacpcpk值備註 u“u“0.4110.030-0.4051.6801.0001.000 u“u“#div/0! u“u“0.2740.014-0.0510.5900.5600.560 u“u“- milmil0.0781.156-0.0141.4401.420 milmil0.0731.409-0.0111.8901.8701.870 ug/inug/in21.1810.224-7.7507.750 milmil#div/0! u“u“3.6490.297-0.1742.2401.8501.850 u“u“220.39514.170-0.0571.7601.6601.660 umum0.0590.004-0.8273.9800.6900.690 umum4.4510.309-0.0371.6201.5601.560 mil#div/0! sec.sec.69.7131.888-0.0281.7701.7201.720 grade8.400-#value!- grade8.269-#value!- milmil0.7990.033-3.0503.0503.050 milmil- milmil0.8940.028-2.3202.3202.320 milmil0.1010.011-2.9702.9702.970 milmil0.9000.0880.0001.5101.5101.510 u“u“0.4910.025(0.090)1.3401.220 u“-#value!- mg/100cmmg/100cm221.7580.967#value!4.3102.330 mg/100cmmg/100cm2#div/0! g/lg/l- unimicron technology(shenzhen) corporation spcspc 8 8月月月月報報 g/lg/l- g/lg/l- milmil0.2810.103-0.0151.3201.3001.300 milmil0.3190.202#value!3.430 milmil0.5380.063-3.5203.5203.520 milmil0.9620.141-0.19211.8309.5609.560 u“u“41.9181.263-0.2073.9603.1403.140 mg/dmmg/dm20.3190.013-0.0151.320 1.300 u“17.4641.604-0.5100.5100.510 u“138.80814.359-3.2203.2203.220 製製表表: : 袁袁 智智 勇勇 spc 九月月報 站 別管 制 項 目編 號規格值等級 取樣頻率 化金1#金厚度(u“) pd01a26u“a5 片 / 日 化金2#金厚度(高磷)pd01b0.050.15uma5 片 / 日 化金1#鎳厚度(u“)pd02a150300u”a5 片 / 日 化金2#鎳厚度 (高磷)pd02b36uma5 片 / 日 成型外型尺寸 (mil)pd03a5mila5 片 / 日 成型外型尺寸 (mil)pd03b8mila5 片 / 日 成型成品清潔度(ug/in2)pd046.4ug/in2b5 片 / 日 終檢微蝕量1#線pd05a1030ub2次/周 終檢微蝕量2#線pd05b4060ub2次/周 終檢osp膜厚1#線pd06a0.20.5u“a2次/班 終檢osp膜厚2#線pd06b0.25-0.3ua2次/班 內層線寬 (mil)pd07 1mila5 片 / 日 內層前處理微蝕液濃度pd08a 5010g/lb1次/班 內層前處理微蝕液濃度pd08b 5010g/lb1次/班 內層前處理微蝕液濃度pd08c 5010g/lb1次/班 內層前處理微蝕液濃度pd08d 5010g/lb1次/班 壓合壓合後板厚 (mil)pd095milb5 片 / 日 壓合weigth gain(mg/cm2)pd100.320.050.320.05 mg/cmmg/cm2 2b1次/天 壓合etch mountpd113060 ub1次/天 鑽孔孔壁粗糙度pd121.2 mil b2 片 / 日 水平電鍍背光pd13a7 gradea3 片 / 日 垂直電鍍背光pd13b7 gradea3片 / 日 水平電鍍面銅平均r值pd14ar15u15ub5片/日 金手指ni厚pd25100u100ub5片/日 垂直電鍍微蝕段微蝕量pd263070u“b3片/3日 a級目標為1.67,b級目標為1.33 審核: 達標率74% updade date: 2003/10/02 擔當單位averagesigmacacpcpk 加工3.6490.297-17%2.241.851.85 加工0.0590.004-83%3.980.69 加工220.395 14.170-6%1.761.66 加工4.4510.309-4%1.621.56 成型0.0961.1662%1.431.40 成型0.3831.8585%1.441.37 成型1.1760.191na5.585.585.58 終檢23.8631.13839%2.931.80 終檢52.0891.81221%1.841.461.46 終檢0.3490.031-6%1.631.62 終檢0.2720.015-52%3.451.65 微影0.3210.09632%3.472.362.36 微影48.016nananana 微影47.962nananana 微影49.523nananana 微影48.269nananana 壓合1.0640.43621%3.823.013.01 壓合1.3100.009-20%1.771.421.42 壓合42.1031.566-19%3.192.582.58 ipqc0.5540.092na2.342.342.34 ipqc7.883nanananana ipqc8.233nanananana ipqc0.1320.020na1.361.361.36 ipqc1.3810.099-6%1.010.95 ipqc0.8020.038na2.622.622.62 ipqc0.8010.039na1.731.731.73 ipqc0.8920.037na1.741.741.74 電鍍22.7311.519-38%2.741.701.70 電鍍43.2912.90817%2.291.921.92 電鍍0.4890.019-11%1.801.611.61 電鍍31.0941.7

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