《特气系统报告》PPT课件.ppt

1,IVO Confidential,特气系统设计,2,ALS 2.0,特气中央系统概述,阀盘介绍,管路设计,气体侦 测系统,特气中央系统设计,3,1.1 气体种类,大宗气体,特殊气体,N2、H2 O2 、He Ar 、He ,4,:相容； :危险；:激烈反应；:爆炸,1.2 气体相互反应表,5,1.3 气体供应方式,大宗气体,桶槽,钢瓶,N2、O2,H2、He,特殊气体,液态,气态,NH3 CL2,NF3 SIH4,6,GR,氣瓶櫃,VMB,VMP,POU,1.4 特气供应流程,7,1.5a 特气系统流程图,8,1.5b 特气系统流程图,9,1.5c 特气系统流程图,10,1.5d 特气房间平面图,11,1.5c 特气系统供应能力,12,1.6气瓶安置方式,气体依化学性质分类如下: 惰性气体(Inter gas): N2-使用GR (Gas Rack) 易燃易爆性气体(Flammable gas): SiH4, NH3-使用BSGS (Bulk special gas supply system) 供应 目前厂区钢瓶供应方式:,2019/8/7,13,GR,BSGS,1.6a气瓶柜/架,14,1.7气瓶柜之操作功能,Process,VENT,1%PH3/H2,N2,N2,VGS,LPI,REG,PGI,REG,PGBV,HPA,HPV,LPV,HPI,吹扫区,真空产生区,供应区,P1,P4,P3,P2,1.7a气瓶柜之操作示意图,16,2.1气瓶钢数的设计,17,2.1a 三钢式气瓶柜,18,2.1b 三钢式气瓶柜,19,2.2低压气体供应设计重点,20,2.3空间设计,依气体特性一般区分成三间：,腐蚀性/毒性气体房,易燃易爆气体房,惰性气体房,设 计 重,点,21,2.4电力系统设计,避免不正常之跳机,包括气瓶柜、VMB、消防、洩漏侦测、Local Scrubber、排气等相关设施； 1.可处理停电时之紧急状况； 2.可于停电时处理管路之残存特气之排放,可避免受其他系统之影响,22,2.5气瓶柜功能设计,不相容气体不可设计在同一气瓶柜 不相容气体的purge管路不可相连 考虑使用压力与流量之需求 CGA接头需与钢瓶接头同一型号 盘面零件需考虑钢瓶高度 依照气体特性选择适当零件 如腐蚀性、高压/低压 注意管路死角purge的问题 考虑未來零件更换的方便性,23,2.6 气瓶柜管路设计,24,2.6重要的管路组件,气动(N2)控制阀（Air Valve） 手动控制阀 （Manual Valve） 逆止阀(Check Valve) 调压阀(Regulator) 压力传感器(Pressure Transmitter) 真空产生器(Vacuum Generator) 气体过滤器(Line Filter) 流量侦测器(Flow Sensor) 限流孔(Orofice),25,2.7气瓶柜安全防护设计,抽气装置,UV/IR火焰侦测器,消防洒水头,气体泄露侦测器,钢瓶紧急关断阀(Valve Shutter),过流量开关装置,高压测试管路设计,现场EMO、远端停机开关,26,排气管,保温棉,消防管,EMO,Valve Shutter,加热线,触控面板,2.8气瓶柜附属配件,气瓶柜內可能漏气处(例如:钢瓶头、压力调整器、压力控制器等)提供至少0.51 m/sec风速,27,2.9气瓶柜排气量设计,排气量会影响防爆半径,28,2.91气瓶柜的紧急关断时机,气柜关断,停止气瓶柜供气 由气瓶柜将一次侧管路Vent并Purge干净 充填PN2保压 记录钢瓶出口压力值与机台供应压力值 关闭控制箱之電源断路器 确认钢瓶阀关闭 关断气体供应室相关电力,29,注一：若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外泄之考量，除Vent外，尚須进行30次以上之Cycle Purge。另外，若为惰性气体，则不需进行Vent动作。 注二：具Valve Shutter裝置之钢瓶于断电后随即关闭出口阀，若无此裝置则需由人员手动将出口阀关閉。,2.92长时间停电处理程序,气体室裝侦烟感知器 可燃性气体加裝UV/IR火焰侦测器 可燃性气体加裝消防洒水头 Cl2：因会与水起激烈反应，不可安裝喷水头 与自动广播系统连线 气体室环境可考虑加裝极早期火焰預警侦测器,30,2.93消防设计,31,2.94气瓶柜的验收规格,32,3.管路分类,依气体特性,依制程需求,输送距离之考量 气体使用点之最佳规划 气体预留扩充点之评估 安全性之考量 紧急遮断系统 管路位置设计 使用与维护之设计 双套管需求,33,3.1管路安全设计,安全,稳定,34,3.2管路流速与用量之设计,35,3.2双套管设计重点与优缺点,36,3.3管路流速与用量之设计,37,減少滯留点：环状配管、purge机构 減少焊接点：规格化、bulk valve、拔曲成型管 減少弯曲点：bulk valve、拔曲成型管 焊接點之位置：支架阀基、管路途径 管路行径之环境：耐震、耐蚀、外力、温湿度、药品、电气等 减少接头：零件之耐久性 操作性：阀之位置、压力計、流量计、purge 维护性：零件之位置、检查、更换需容易，purge设计,3.4管路施工与设计要求,38,3.5 管路验收测试作业(一),39,3.51 管路验收测试作业(二),VMB需裝設气体侦测器、抽气裝置 可设计同类或相容气体于同一阀盘 一般设计成4、8、10接点，供气至数个机台 需有独立的purge系统 PN2不建议由中央供应系统供应 可做为气体中间调压 可设定供气压力警报点(5 psi) 机台维修时，能提供做为气体管路的隔绝功能 紧急状况如泄露、火灾、地震时，也可利用VMB之气动阀进行气体系统的自动分段隔离,40,4.现场供气阀盘VMB/VMP,3.2.1 VMB/VMP照片,41,4.1 VMB/VMP照片,3.2.2a 1进4出VMB,42,4.2 VMB/VMP PID,43,4.3传统式与集体化阀盘之比较,44,4.3a传统式与集体化阀盘之比较,45,1.TLV:一般工作人員每天工作8小時，每週工作40小時，終其一生不受傷之最高濃度 2.警報設定值(一) Warm- 0.5 TLV Alarm- 1 TLV 3.警報設定值(二) Warm- 1 TLV Alarm- 2 TLV 4. TEL:爆炸下限 5. Ceiling：最高容許濃度,5.特殊气体的TLV值,46,5.1常用气体侦测器的种类,电化学式,试纸帶反应式,红外线(IR),O3、O2、CO、CO2、SO2、NO、NO2、H2、HCN、H2S、Cl2、HCl、CCl4、COCl2、NH3、PH3、HF及一般可溶于水，且可解离成离子状态之化合物,Cl2、HF、HCl、HBr、BCl3、SiH4、PH3、B2H6、AsH3、NH3等,CH4、CO及碳氢化合物，除O2、H2、N2等双原子气体,47,5.2侦测器的优缺点比较,气瓶柜之风管 VMB之风管 制程机器台之风管(非制程气体排气管) 制程机台之周围环境 气