纯水工艺流程.doc

高纯水制作工艺过程工艺目的 随着电子工业的不断发展，半导体技术对水的纯度要求愈来愈高 水的纯度直接影响着半导体材料质量的好坏。天然水中含有大量的悬浮物质和溶解物质Ca、Mg等酸或碳酸盐和O2、N2等气体采用离子交换后可除去水中的强电解质，其水的纯度可达到8Mcm以上主要设备及原材料 主要设备、中空纤维超滤、电渗析器、反渗透、有机玻璃离子交换柱 塑料纯水箱4个（3吨容量）、酸洗水溶液箱1个（500kg容量）、碱溶液水箱1个（500kg容量） 主要原材料、150V直流电源器、强酸性阳离子交换树脂、强碱性阴离子交换树脂 优级纯NaOH、优级纯HCL、柠檬酸、氨水、PH试纸操作规程 首先打开自来水，经中空纤维超滤净化，将水中较大的颗粒滤掉，再经过过滤芯滤掉水中较小的颗粒，然后进入电渗析中 打开电渗析的直流电源，使电极与水的阀门对应，流量控制在(20003000)kg/h 压力不高于0.25Mpa，测试水质电导在小于40s/cm 可流入初级水箱中 打开水泵将初级纯水注入反渗透后，再注入A1A2的交换拄中 流入交换柱内的水流量直接影响其交换的结果，为了确保水质，规定流量不得高于2吨/小时，压力不高于0.25Mpa 经终端过滤，测试水质达到8Mcm以上时，可直接使用；当水质低于8Mcm时，停止使用 换用B1B2交换柱，用法同A1A2；根据使用量的大小可调节流入高纯水箱的阀门注意事项：1、可根据用水量的大小作适当的调整2、工艺要求要保证制水室内工作温度适宜、避免阳光直射、保持室内干净、卫生；处理树脂时必须穿好工作服；使用酸、碱等腐蚀性试剂时要穿戴耐酸碱手套主要原材料消耗定额 盐酸（优级纯）每月20瓶（2500ml/瓶）、柠檬酸每月17瓶（500g/瓶）、氨水每月1瓶（500g/瓶）、氢氧化钠（优级纯）每月48瓶（500g/瓶）混床离子交换树脂的再生 树脂失效表明树脂可供交换的H+和OH（-），再次具备交换能力，就叫树脂的再生 树脂的再生方式分为动态再生和静态再生 混床动态再生：混床交换时，阴阳树脂充分混合，再生处理时，必须严格分开 逆流分层：交换柱内树脂充分混合，再生前必须首先进行短时间的强烈反冲，反冲的目的是松动和扩大树脂层，改变树脂的密实状态，由于阴阳树脂的比重不同用初级纯水由底部注水交换柱内，到溶液全部没入树脂后，并将初级纯水放出，往复进行直道阴阳树脂彻底分开为止注意事项：碱溶液再生阴树脂 分层后的树脂，以高出树脂100mm左右的（35）%NaOH溶液，对其浸泡4小时以上阴树脂与碱液反应充分 用初级纯水反复冲洗，当PH值达到10左右时，将水全部放出 再反复冲洗下部的阳树脂使PH值接近7酸溶液再生阳树脂 由交换柱的出水口将（610）%的盐酸溶液缓慢注入柱内 水压不高于1.0Mpa，绝对不可使酸溶液进入阴树脂，当PH值达到1时 此时反应充分浸泡4小时以上 用初级纯水从底部冲洗使PH值达到7左右为止混合及冲洗 注入初级纯水至高出树脂100mm左右，然后混合，用真空泵从排气口抽气，打开下部的放水口，自下而上冲入空气，使树脂在水中翻腾而混合，反复进行至阴阳树脂充分混合为止 树脂再生后，必须经冲洗后方能使用，其目的是洗静树脂中残余的再生剂及再生产物，为制水做准备，冲洗时要速度适宜，不能过大，一般控制流速要略低于正常制水的流速，不要间歇中断，等水质达到8Mcm时方可使用电渗析处理 当电渗析经一段时间（约15天）的使用后无法连续制备低压电导的纯水，这时应处理电渗析内的交换膜和电极。步骤如下： 在酸槽内配制（510）%的HCL溶液150公斤左右 关闭自来水阀门和废水阀门使HCL溶液在电渗析内循环，流量控制在（25003000）kg/小时，压力不高于0.25Mpa 约1小时以上停止酸泵，用自来水冲洗，当废水流上的水为中性时，方可通入直流电反渗透的处理 药箱清洗及注水：开启淡水进药箱阀向药箱进水，用淡水冲洗药箱，冲洗干净后，开始用电渗析的水向药箱注水，达到配药所用量时，停止注水 药液的配制：药箱加入一定量的分析纯柠檬酸分析纯氨水和水配制（17：1：500） 先配制分析纯柠檬酸与分析纯氨水调节PH值至3.04.0与水混合药液才可以使用 药液的使用：打开进药阀、药液进泵阀、回药阀，关闭其它运行阀门，开启药洗泵，使药洗液从电渗析进水口入，经浓水口流到清洗箱。使药液在设备内循环清洗12小时左右后，关闭药洗阀门，将清洗残液排完，设备清洗完毕 冲洗：打开进水阀、浓水阀、淡水阀、开启高压泵进行低压冲洗，使出水PH值与进水PH值相同时，方可进入运行状态电导仪原理 水中所含杂质通常分为两类：一类为导电的杂质，另一类为不导电的杂质，若除去了非导电杂质则水的质量将由导电杂质的多少确定导电的杂质 在水中一般为离子状态，若在水中插入两个电极，则水中的离子在电场的作用下沿着电场的方向运动而产生电源。从指示器中读出电流值可代