（凝聚态物理专业论文）mev重离子注入光电晶体光波导的制备和特性研究.pdf

王雪韩rm c y 重离子注入光电母体光波导的村备和特性研究 中文摘要 光电子技术是继微电子技术之后迅猛发展的综合性高新技术，包括各种光 电和集成光学结构的实现，奠定了信息通信领域的基础。光波导作为集成光学 的基本单元，以其独特的性能、高集成化以及规模生产的低成本，在各种光器 件的制造中起着重要的作用。由于光波导的重要应用价值。人们一直在探索有 效的方法来制备具有优良性能的光波导。离子注入作为一种有效制备光波导的 技术，引起了人们广泛的关注，迄今为止，人们已经利用离子注入技术在包括 光学晶体、玻璃、半导体以及有机聚合物在内的大量光学材料中形成了光波导 结构，取得了许多进展。 高能重离子注入光学材料具有显著的特点，形成的光波导结构既可能有扩 散和离子交换等技术形成折射率增加的特点，损耗相对较小同时又具备离子 注入的特色，与高能轻离子注入相比，注入剂量可以降低l 3 个数量级，可以 大大降低制造成本，有利于工业化的生产。因此探讨重离子注入对光学材料折 射率的改变不仅有重要的理论意义，而且具有潜在的应用前景。 条形光波导是光波耦合器、波导调制器、波导开关以及波导激光器等无源 和有源器件的基础。探讨离子注入条形光波导的制各不但是光波导应用研究的 基础还可以拓展核技术在光电子领域中的应用。 本文主要研究重离子注入方法在偏硼酸钡( b b o ) 晶体、同化学计量比铌 酸锂( s l n ) 晶体、硅酸镓镧( l g s ) 晶体、掺钕钒酸镥( n d ：l u v 0 4 ) 和掺钕 钒酸钆( n d ：g d v 0 4 ) 激光晶体、熔融石英等光学材料上形成光波导，通过对光 波导的导波模式和传输损耗的测试和退火行为的研究，优化离子注入光波导的 形成条件：用卢瑟福背散射，沟道等技术研究了光波导中的损伤分布，对重离子 注入晶体材料折射率改变的形成机理进行了探讨；成功的利用离子注入形成了 条形光波导，观察到了光波导的条形传输线，并得到了波导模的光强分布。主 山东大学博士学位论文 要结果如下： 偏硼酸钡( b b o ) 晶体是一种性质优良的非线性光学晶体，透光范围宽， 倍频系数高，被广泛应用于光参量振荡器( o p o ) 、光参量放大器( o p a ) 和各 种谐波发生器。我们研究了2 2 m e v 的o 离子注入b b o 晶体形成的光波导， 注入剂量从8 x 1 0 1 2 i o r l s e m 2 到5 1 0 1 4 i o n s e r a 2 。形成了从单模渐进到三个模的异 常光折射率增加的光波导；还研究了s i 、c 、n i 和h e 离子注入形成的光波导， 对它们进行了比较。目前国际上尚未有关于重离子注入b b o 晶体形成光波导 的报导，我们的实验结果对于b b o 晶体的波导制备和实现波导倍频具有重要 的意义。 通过对重离子注入光学晶体光波导的特性研究，对离子注入引起的折射率 改变的形成机理进行了初步探讨，提出对于具有较高的双折射性的晶体，在离 子注入的过程中，折射率的变化不仅与注入造成的晶格损伤使晶格密度发生变 化有关，还与入射离子在注入过程中与晶格中的电子相互作用。使晶体内的极 化率的各向异性降低等因素有关。m e v 离子注入造成的晶格损伤可以使晶体的 体积膨胀，密度减小，使晶体的折射率降低。而在较低剂量m e v 的重离子注 入过程中，由于造成的晶格损伤不明显，入射离子与电子的相互作用，容易造 成晶体内的极化率的各向异性降低，使双折射晶体中的个折射率增高。 同化学计量比铌酸锂( s l n ) 晶体由于晶格完整，不但具备普通同成分铌 酸锂晶体的优良特性，还大大降低了由于缺陷造成的不利影响，使晶体的许多 性能得以改善，如矫顽场显著减小。电光系数、非线性光学系数、光折变灵敏 度、光致折射率变化和激光损伤阈值等特性都有一定程度的提高。优异的物理 性能和广泛的应用前景，使s l n 晶体成为国际上研究的热点。目前国际上未见 关于离子注入s l n 晶体制备光波导的报导。我们用3 0 m e v 、4 5 m e v 和6 0 m e v 的o 离子注入s 乙n 晶体，注入剂量为2 x 1 0 i o t a e r a 2 和6 1 0 t 4 i o n s c m 2 ，在6 3 3 n m 和15 3 9 n m 的波长下形成了异常光折射率增加的光波导。研究了+ s l n 离子注入 光波导的退火行为，得到了导波模式随着退火温度和时间的变化以及相对应的 折射率分布的变化规律：利用沟道技术研究了其损伤分布，所形成的光波导区 中文摘要 域内的n b 离子缺陷比较少，沟道谱的最小产额仅为4 5 ，接近于普通铌酸锂 晶体的最小产额。并测得退火后光波导的传输损耗小于l d b c m 。结果表明，不 但用离子注入可以在s l n 晶体上形成光波导，而且形成的光波导的质量比较 好，这对于s l n 晶体应用于光波导具有指导作用。 硅酸镓镧( l g s ) 晶体是一种性质优异的压电晶体材料，高的机电耦合系 数和良好的温度稳定性，是制作高稳定性、高频宽带和低插损小型声表面波 ( s a w ) 和声体波( b a w ) 器件的理想材料。同时掺杂n d 还可以作为激光晶 体，并且具有良好的光学和弹性等性质。l g s 晶体在现代通信产业，特别是在 c d m a ( 码分多址) 技术、v c x o ( 电压控制晶体振荡器) 和t c x o ( 温度补 偿晶体振荡器) 等领域具有很大的应用潜力。目前，还没有关于l g s 晶体光波 导的任何报导。我们用3 , 0 m e v 的o 离子注入l g s 晶体，注入剂量为 1 1 0 1 5 i o n s e m 2 ，形成了光学位垒型光波导，研究了从4 0 0 c 至08 0 0 ( 2 的退火行 为，得n - ：导波模式和折射率分布随着退火温度和时间的变化特性。用3 0 m e v 和6 0 m e v 的c 离子注入l g s 晶体。注入剂量为2 1 0 ”i o n 虮 n 2 ，形成了光学 位垒型光波导，研究了折射率的改变与注入离子产生的损伤的关系。为l g s 晶 体的光波导应用研究提供了实验基础。 具有锆英石结构的新型钒酸盐晶体掺钕钒酸镥( n d ：l u v 0 4 ) 和掺钕钒酸 钆( n d ：g d v 0 4 ) 晶体，具有优良的机械、热学、物理、化学和激光性能。最 新的研究发现，n d ：g d v o 。晶体具有更高的泵浦波长吸收系数、较长的荧光系 数、较大的发射界面和与y a g 相当的热导率，使其可能成为激光性能更加优 良的l d 泵浦的激光晶体，是潜在的高功率l d 泵浦的激光材料。目前国际上 没有关于这两种晶体光波导的任何报导。投们用3 0 m e v 的。离子注入n d ： l u v 0 4 和n d ：g d v 0 4 晶体，注入剂量为6 x 1 0 1 4 i o n s ，c m 2 ，均形成了寻常光折射 率增加的光波导。这对于制备这两种晶体的光波导和波导激光的实现提供了实 验基础。 熔融石英具有低的热传导率和宽的温度范围的静电感受性( e l e c t r i c a l r e c e p t i v i t y ) ，以及良好的熟学、光学和机械性能，已经广泛应用于光电子器件 山东大学博1 ：学位论文 的制作。它的折射率与光纤的折射翠很接近，以熔融石英为衬底的各种集成光 学无源器件可以非常容易的与光纤祸合。因此，开展熔融石英光波导特性的研 究，对于发展光通信领域中的无源器件的研究具有重要的意义。我们利用 3 0 m e v 的o 离子注入熔融石英，注入剂量为6 x 1 0 “i o n s c m 2 ，在6 3 3 n m 和 1 5 3 9 r t m 波长下形成了折射率增加的光波导，并详细地研究了从2 6 0 到6 0 0 的退火行为。得到了导波模式和传输损耗随着退火条件的变化特性。结果表明， 经过适当地退火，光波导的传输损耗可以小于o 2 d b c m 。还用s i 离子注入熔融 石英，也形成了光波导。这对减小离子注入形成光波导的传输损耗的研究具有 指导意义。 我们直接利用光刻胶作为掩膜，用2 2 m e v 的o 离子注入熔融石英，注入 剂量为1 x 1 0 ”i o n s e r a 2 ，得到了周期为5 0 微米，波导宽度为1 5 微米的条形光波 导，观察到了波导的传输线，并利用激光光斑分析仪记录了导波模的二维光强 分布。条形光波导是光波耦合器、波导调制器、波导开关以及波导激光器等无 源和有源器件的基础。这将为离子注入光波导的实用化提供实验基础。 关键词：离子注入。光波导，传输损耗，折射率分布 a b s t r a c t a san e w l yh i g ht e c h n o l o g y , o p t o e l e c t x o n i c sh a sb e e nm u c h d e v e l o p e di nt h e p a s td e c a d e s t h eo p t o e l e c t r o n i c sd e v i c e sa n ds t r d c t u r e so fi n t e g r a t e do p t i c sh a v e b e c o m et h ef u n d a m e mo f p r e s e n t t e l e c o m m u n i c a t i o na n di n f o r m a t i o nf i e l d w a v e g u i d ei sab a s i cs t r u c t u r ei no p t c a ld e v i c e sa n dp l a y sa l li m p o r t a n tr u l ei nt h e f a b r i c a t i o no fv a r i o u s o p t c a l d e v i c e sb e c a u s eo fi t se x c e l l e n t c h a r a c t e r i s t i c s ， p o s s i b i l i t yi ni n t e g r a t i o na n dr a t h e rl o wc o s ti nm a n u f a c t u r i n g i nf a c t ，aw a v e g u i d e 、析也g o o dp r o p e r t i e si sl i k e l yn e e d e da n dm a n yr e s e a r c h e sh a v eb e e nd o n ei nt h i s f i e l d b e c a u s eo fi t si m p o r t a n c ei np r a c t i c a la p p l i c a t i o n s c i e n t i s t sa n de n g i n e e r sa 托 t r y i n g t of i n dv a r i o u s w a y st of a b r i c a t e “h i g h - q u a l i t y ”o p t i c a lw a v e g u i d e i o n i m p l a n t a t i o ni so n eo f t h ee f f e c t i v em e t h o d si nf a b r i c a t i n gg u i d i n gs t r u c t u r e u pt o n o w , m a n yw a v e g u i d es t r u c t u r e sh a v eb e e nf o r m e db yi o ni m p l a n t a t i o ni nv a r i o u s m a t e r i a l ss u c ha so p t i c a lc r y s t a l s ，g l a s s ，s e m i c o n d u c t o r sa n dp o l y m e r se t c w a v e g u i d ef a b r i c a t e db ye n e r g e t i ca n dh e a v yi o ni m p l a n t a t i o ns h o w sm a n y a d v a n t a g e s b e s i d e st h ec o m m o np r o p e r t i e so fi m p l a n t e dw a v e g u i d e ，t h er e f i a c t i v e i n d e xi ng u i d i n gr e g i o nc a nb ee n h a n c e db yh e a v yi o ni m p l a n t a t i o n , w h i c hi ss i m i l a r t ot h a to fi n - d i f f u s i o na n de x c h a n g ew a v e g u i d e ，s u c ha st h ew a v e g u i d el o s si sl o w o t h e r w i s e ，t h ed o s eo fh e a v yi o n sc a nb ei 一3o r d e rl o w e rt h a nt h a to fl i g h ti o n i m p l a n t a t i o na n d i tc a nr e d u c et h ef a b r i c a t i o nc o s t s i g n i f i c a n t l y t h e r e f o r e ，t h e i n v e s t i g a t i o n o nh e a v yi o n - i m p l a n t e dw a v e g u i d ei s i m p o r t a n t n o to n l yf o rt h e t h e o r e t i c a ls t u d yb u ta l s of o rt h ep o t e n t i a la p p l i c a t i o n 嬲w e l l m o s to p t o e l e c t r o n i c sd e v i c e ss u c ha so p t i c a lc o u p l e r , m o d u l a t o r , o p t i c a ls w i t c h a n dw a v e g u i d el a s e ra r eb a s e do nc h a n n e lw a v e g u i d es t r u c t u r e t h ea t t e m p to f f a b r i c a t i o no fs u c hw a v e g u i d es t r u c t u r ei sn e c e s s a r y f o rb o t ho p t o e l e c t r o n i c s p h d t h e s i sf o rs h a n d o n gu n i v e r s i t y t e c h n o l o g y i t s e l fa n dt h e c o m b i n a t i o nb e t w e e n n u c l e a r t e c h n o l o g y a n d o p t o e l e c t r o n i c s i nt h i s a r t i c l ew er e p o r tt h e w a v e g u i d ef o r m a t i o no nb b o ，s t o i c h i o m e 伍c l i n b 0 3 ( s l n ) ，l g s ，n d ：l u v 0 4 ，n d ：g d v 0 4c r y s t a l sa n df u s e dq u a r t zb yu s i n g h e a v yi o ni m p l a n t a t i o n 。b a s e do ne x p e r i m e n t a lr e s u l t sf r o mm e a s u r e m e n ta n d a n a l y s i s o fw a v e g u i d e m o d e ，p r o p a g a t i o n l o s sa n dt h e a n n e a l i n gb e h a v i o ro f i o n - i m p l a n t e dw a v e g u i d e ，t h ep a r a m e t e r so fi m p l a n t a t i o n e a nb e o p t i m i z e d r b s c h a n n e l i n gt e c h n i q u eh a s b e e n e m p l o y e dt oa n a l y z e t h e i m p l a n t - i n d u c e d d a m a g ei nc r y s t a l s t h em e c h a n i c so fi n d e xc h a n g ed u et oh e a v yi o ni m p l a n t a t i o n h a sb e e nd i s c u s s e d c h a n n e lw a v e g u i d eh a sb e e nf a b r i c a t e db yi o ni m p l a n t a t i o n s u c c e s s f u l l y p r o p a g a t i o nl i g h ta n dt h em o d ep a t t e r n sh a v eb e e nr e c o r d e d t h em a i n r e s u l t sa r eg i v e na sf o l l o w s ： b b oi sag o o dn o n l i n e a r o p t i c a lc r y s t a l ，w i t haw i d er a n g ef o rt r a n s p a r e n to f l i g h ta n d 。l a r g ed o u b l ef r e q u e n c ye o e t t i c i e m ，i th a sb e e nw i d e l yu s e da sf o ro p o ， o p aa n dr e s o n a n tg e n e m t o r s w eh a v ef o r m e dw a v e g u i d ei nb b o c r y s t a lb y 2 2 m e voi o n si m p l a n t a t i o nw i t hf l o u n c e s 知mg x l 0 1 2i o n s c m 2t o5 1 0 4 i o n s c m 2 o n et ot h r e em o d e sc a l lb eo b s e r v e di nt h ew a v e g u i d e s m e a n w h i l ew a v e g u i d eb y s i 、c 、n ia n dh ei o ni m p l a n t a t i o nh a v eb e e na l s oi n v e s t i g a t e d t h ec o m p a r i s o n s b e t w e e nd i f f e r e n tw a v e g u i d e sh a v eb e e ns t u d i e d t oo u rk n o w l e d g e ，t h i si st h ef i r s t r e p o r t o nh e a v yi o n - i m p l a n t e db b ow a v e g u i d e ，w h i c hw i l lb ev a l u a b l ei nt h e r e s e a r c ho f b b o w a v e g u i d e s t r u c t u r ea n d f r e q u e n c y c o n v e r s i o ni nw a v e g u i d e 。 t h em e c h a n i c so f i n d e xr a i s ei nw a v e g u i d eb yh e a v yi o ni m p l a n t a t i o nh a sb e e n d i s c u s s e d i ti sf o u n dt h a tf o rs o m eb i - r e f r a c t i v ec r y s t a l st h ei n d e xc h a n g ec a nb e c a u s e dn o to n l yd u et ot h ed a m a g ei ns t r u c t m - eb u ta l s ot h ei o n i z a t i o np r o c e s si n i m p l a n t a t i o n ，b e c a u s e i o n i z a t i o nm a yr e s u l ti nt h ea n i s o t r o p yo fp o l a r i z a t i o ni n c r y s t a l n o r m a l l yt h ed a m a g ei ns t r u c t u r em a ye x p a n dt h ev o l u m eo f c r y s t a la n d l e a d st oal e s sd e n s i t yo fm a t e r i a l ，t h u sar e d u c e di n d e xi s c a u s e d al o w d o s e i m p l a n t a t i o nd o e s n tp r o d u c e 衄e v i d e n td a m a g e i nc r y s t a l ，b u tt h ei o n i z a t i o n ，w h i c h m a y i n d u c et h e a n i s o 廿o p yo f p o l a r i z a t i o ni nc r y s t a l ，m a yp l a y r u l ei nt h ei n c r e a s eo f i n d e x s t o i c h i o m e t r i cl i n b 0 3 ( s l n ) i s 弛e x c e l l e n to p t i c a lc r y s t a l i na d d i t i o nt ot h e n o r m a lc h a r a c t e r i s t i c st h eo r d i n a r yl i n b 0 3h o l d s ，s l ns h o w sav e r yi m p r o v e d p e r f o r m a n c eb e c a u s et h e r ea 聆m u c hf e w e rd e f e c t si nt h ec r y s t a l f o re x a m p l e ，t h e s l nh a sal o w e rc o e r c i v ef i e l d ，b u t t h e e l e c t r o o p t o c o e f f i c i e n t ，n o n l i n e a r c o e f f i c i e n t , s e n s i t i v i t yo fp h o t o r e f r a c t i v ea n dl a s e rt h r e s h o l da r em u c hh i g h e rt h a n t h a to fn o r m a ll i n b 0 3 i ti sw h ys l nh a sb e e naf o c u si nm a t e r i a l sr e s e a r c hf i e l d u pt on o w , n or e p o r t o ni m p l a n t e ds l nw a v e g u i d eh a sb e e nf o u n d b yu s i n g 3 0 m e v , 4 5 m e va n d6 0 m e v0 i o ni m p l a n t a t i o nw i t hf l u e n e i e sa l2 x 1 0 1 4 i o n s e r a 2 a n d6 xl0 1 4 i o n s c m 2 ，w eh a v ef o r m e dw a v e g u i d ei ns l n ，t h ew a v e g u i d e sw i t hr a i s e d e x t r a o r d i n a r yi n d e xh a v eb e e nd e m o n s t r a t e dw i t hb o t h6 3 3 n ma n d 15 3 9 n ml a s e r a n n e a l i n gt r e a t m e n th a s b e e np e r f o r m e d t h er e l a t i o no fg u i d i n gm o d ev e r s u s a n n e a l i n gt e m p e r a t u r e a n dt i m eh a sb e e ns t u d i e d t h e d a m a g e i n d u c e d b y i m p l a n t a t i o nh a sb e e na n a l y z e du s i n gr b s c h a n n e l i n g 。t h er b ss h o w s t h a ti o n i m p l a n t a t i o nc a u s e so n l y l i t t l ed a m a g et ot h es t r u c t u r eo fc r y s t a l ，t h em i m m u m y i e l d i nc h a n n e l i n g s p e c t r u mi so n l y4 5 f r o mt h ei m p l a n t e ds l n 。w h i c h i sc o m p a r a b l e t ov i r g i ns p e c t r u mf r o m o r d i n a r yl i n b 0 3 a f t e ra n n e a l i n gt r e a t m e n tw a v e g u i d e l o s s i sm e a s u r e dl e s st h a nl d b e r n 。 l o sc r y s t a li sp i e z o e l e c t r i cm a t e f i a lw i t hl a r g em e c h a n i c - e l e c t r i cc o u p l i n g c o e f f i c i e n ta n dh i g ht h e r m a ls t a b i l i t y i ti saa t t r a c t i v es u b s t r a t ef o rm i n i m i z e ds a w a n db a w , w h e r et h eh i g hs t a b i l i t y , w i d ef r e q u e n c yb a n da n dl o wl o s sa r eu s u a l l y n e e d e d n d d o p e dl g s i si n v e s t i g a t e dt ob eag o o dl a s e rc r y s t a l ，w h i c he x h i b i t s q u i t eg o o do p t i c a la n de l a s t i cp r o p e r t i e s i th a s b e e nd e m o n s t r a t e dt h ml g s c r y s t a l h a sg r e a tp o t e n t i a li na p p l i c a t i o ni nt h et e l e c o m m u n i c a t i o nt e c h n o l o g y , e s p e c i a l l yf o r c d m a ，v c x oa n dt c x o p r e s e n t l yn or e p o r t o nl g sw a v e g u i d eh a sb e e n p h , d t h e s i sf o rs h a n d o n g u n i v e r s i t y f o u n d b yu s i n g3 o m e v0i o n si m p l a n t a t i o nw i t hd o s e1 1 0 15 i o n s c m 2 w eh a v e f o r m e db a r r i e v c o n f i n e dw a v e g u i d ei n l g s a n n e a l i n gt r e a t m e n ta tt e m p e r a t u r e f r o m4 0 0 ( 2t o8 0 0 ch a sb e e nc a r r i e do u t t h er e l a t i o no f m o d ea n di n d e xp r o f i l e v e r s u sa n n e a l i n gt e m p e r a t u r e & t i m eh a sb e e no b t a i n e d ，w eh a v ea l s of o r m e d b a r r i e r - c o n f i n e dw a v e g u i d ei nl g s b yi m p l a n t a t i o no f3 0 m e v 和6 0 m e vci o n s w i t hd o s e2 x1 0 ”i o n s c m 2 t h er e l a t i o no fi n d e xc h a n g ev g f s o si m p l a n td o s eh a s a l s ob e e nd i s c u s s e d n e wc r y s t a l sn d ：l u v 0 4a n dn d ：g d v 0 4h a v e g o o dm e c h a n i c a l ，t h e r m a l ， p h y s i c a l ，c h e m i c a la n dl a s e rp r o p e r t i e s 。p r e s e n tr e s e a r c hs h o w st h a tn d ：g d v 0 4h a s l a r g ea b s o r p t i o nc o e f f i c i e n ti np u m pw a v e l e n g t h , l 越g el u m i n e s c e n c ee m i s s i o n ，a n d l a r g ei r r a d i a t i v ec r o s s s e c t i o n ，a n di t st h e r m a lc o n d u c t i v i t yi sc o p a p a r a b l et ot h a to f y a g t i l ln o ww ed i d n tf i n da n yr e p o r t so nw a v e g u i d ef o r m a t i o ni nt h eb o t h c r y s t a l s w e h a v ef o r m e dw a v e g u i d e si nt h et w oc r y s t a l s b y3 0 m e v oi o n i m p l a n t a t i o n i tp r o v i d e st h eo f i g i i l 8 li n f o r m a t i o no nt h ef a b r i c a t i o no fw a v e g u i d e d e v i c ea n d w a v e g u i d e l a s e rb a s e do nt h et w o c r y s t a l s f u s e dq u a r t zi s w i d e l yu s e di n t h em a n u f a c t u r eo fo p t o e l e c t r o n i c sd e v i c e s b e c a u s eo fi t sl o wt h e r m a lc o n d u c t i v i t y , h i g he l e c t r i c a lr e c e p t i v i t ya n de x c e l l e n t p r o p e r t i e s i nt h e r m a l ，o p t i c sa n dm e c h a n i c s t h ev a l u eo fr e f r a c t i v ei n d e xi ss oc l o s e t ot h a to f f i b e r ；i tm a k e st h ec o u p l i n gb e t w e e nf u s e dq u a r t z b a s e dd e v i c ea n df i b e r m u c he a s i e r , t h e r e f o r et h ef u s e dq u a r t zh a sb e e nf r e q u e n t l ye m p l o y e da ss u b s t m t e f o rm a n yi n t e g r a t e do p t i c a ld e v i c e s b yu s i n g3 0 m e voi o n si m p l a n t a t i o nw i t h d o s ei x l 0 ”i o n s c m 2 ，w eh a v ef o r m e dw a v e g u i d ei nm e l t e dq u a r t z t h ew a v e g u i d e s w i t hr a i s e d e x t r a o r d i n a r yi n d e xh a v eb e e nd e m o n s t r a t e d w i t hb o t h6 3 3 u ma n d 15 3 9 n ml a s e r a n n e a l i n gt r e a t m e n tf r o m2 6 0 ( 2t o6 0 0 ch a s b e e n p e r f o r m e d t h e p r o p e r t i e so fs u i n g m o d ea n dw a v e g u i d el o s sv e t s u sa n n e a l i n gc o n d i t i o n sh a v e b e e n d i s c u s s e d f r o mt h ee x p e r i m e n ti t i sf o u n dt h a tt h ew a v e g u i d el o s s c a nb e r e d u c e ds i g n i f i c a n t l yb ya n n e a l i n gt r e a t m e n t e t h em e a s u r e dl o s si sl o w e rt h a n v i j a l a m a d o 2 删c n - 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