（光学工程专业论文）新型硅基光波导开关的研制.pdf

新型硅基光波导开关的研制 摘要 本论文主要涉及到新型硅基光波导开关的设计、制作和测试，内容包括： a 利用s i g e 材料，结合多模干涉( w i ) 原理和等离子色散效应，理论设计了 2 3 光波导开关，2 4 光波导开关以及4 4 光波导开关等3 种新型的光波 导开关2 3 光波导开关突破了传统光波导开关只有y 型分支l 2 光开关、 x 型2 2 光开关、3 2 光丌关、以及由y 分支1 2 结构或x 型2 2 结构 作为基本单元级联形成的m n 光开关阵列；2 4 硅基光波导开关只需利用 两个折射率调制区之| b j 的配合，即可实现光信号在四个不同输出端口的输 出，将两个折射率调制区的调制电压的歼关( 施加电压不施加电压) 状态 对应的四种二进制逻辑状态和光路输出一一对应；4 4 光波导开关是一种 非级联型的多端口波导开关。利用束传播法( b p m ) 对所设计的光丌关进行 了理论模拟，计算结果表明上述光开关具有低插损、高串扰等优点。 b 在理论计算的基础上，采用s i l i c o n o n i n s u l a t o r ( s o i ) 材料，制作了 上述2 3 光波导开关和4 x 4 光波导丌关两种波导开关。 c 对所制作的两种光丌关进行了几何参数和光学参数的测试。 关键词：s i g e ，s o i ，光开关，多模干涉原理，等离f 色散效应 a b s t r a c t d e s i g na n d f a b r i c a t i o no f w a v e g u i d e b a s e d p h o t o n i cs w i t c h e si ns i l i c o n a b s t r a c t 1 1 1 i sp a p e rf o c u s e do nt h ed e s i g na n dt h ef a b r i c a t i o no fw a v e g u i d e b a s e d p h o t o n i cs w i t c h e si ns i l i c o n - b a s e dm a t e r i a l s t l 世m a i nc o n t e n ti sa sf o l l o w s ： a b a s e do nt h es i g em a t e r i a l , u t i l i z i n gt h em u l t i m o d ei n t e r f e r e n c e ( m m i ) e f f e c ta n dt h ep l a s m ad i s p e r s i o ne f f e c t ，t l a e en e w - s t y l ew a v e g u i d e b a s e d p h o t o n i cs w i t c h e s ，l e t h e2 x 3p h o t o n i cs w i t c h , t h e2 x 4p h o t o n i cs w i t c ha n d t h e4 x 4p h o t o n i cs w i t c ha r ed e s i g n e d t h e2 x 3p h o t o n i cs w i t c hi sa n i m p r o v e dm u l t i - w a v e l e n g t hp h o t o = t i cs w h c hw i t has c a l a b l en u m b e ro f p o r t s b e y o l l d2 x 2 ，w h i l et h e2 x 4p h o t o n i cs w i t c hi sad e c o d e rs w i t c hw h i c hc a n s w i t c ht h ei n p u to p t i c a ls i g n a lt of o u rd i f f e r e n to u t p u tp o r t sw i t ho n l yt w o i n d e x m o d u l a t i o nr e g i o n s ，a n dt h e4 x 4p h o t o n i cs w i t c hi san o n - c a s c a d e d m u l t i p o r tw a v e g u i d es w i t c h t h et h e o r e t i c a lc a l c u l a t i o nw i t ht h eb e a m p r o p a g a t i o nm e t h o d ( b p m ) s h o w st h a tp h o t o n i cs w i t c h e sm e n t i o n e da b o v e a g ew i t ht h em e r i t ss u c ha sl o wi n s e r t i o nl o s sa n dh i g hc r o s s t a l k b m2 x 3p h o t o n i cs w i t c ha n d4 x 4p h o t o n i cs w i t c ha r ef a b r i c a t e di ns 0 1 m a t e r i a l c m g e o m e t r i cp a r a m e t e r sa n dt h eo p t i c a lc h a r a c t e r i s t i c so ft h ef a b r i c a t e d p h m o n i cs w i t c h e sa r em e a s u r e d k e yw o r d s ：s i g e 、s o l 、p h o t o n i cs w i t c h 、m u l t i m a d ei n t e r f e r e n c e 、p l a s m a d i s p e r s i o ne f f e c t n 第一章引言 第1 章引言 光纤有着巨大的频带资源和优异的传输性能，是实现高速率、大容量通信的 最理想的物理媒质。光纤传输技术的研究始于6 0 年代后期，但是发展飞速而且 成果# 富。过去1 0 年里，迅速发展的i n t e r n e t 数据通信业务、语音、视频等多 媒体业务，共同推动了光通信技术与系统的迅猛发展。光通信技术的进步，使得 信息高速公路成为现实，并直接促进了信息时代的到来。现在，i n t e r n e t 已经 渗透到人们生活和生产的方方面面，成为我们同常生活和生产中不可或缺的一部 分。i n t e r n e t 的应用和普及又促进了人们对信息获取和处理的极大需求，反过 来又推动了光通信技术的发展。密集波分复用技术( d w d m ) 和掺铒光纤放大器 ( e d f a ) 的研制成功，使得光通信网络的传输速率有了飞跃性的增长，满足了大 容量、高带宽、高速率的网络传输要求，但同时也给光通信技术提出了新的挑战。 随着光通信传输速率的爆发式增长，传统的光交换网络已经不能满足大规模网络 信息交换的要求，出现了所谓的“电子瓶颈”；另外，网络结点的故障保护也成 为通信网络的主要问题，因此，组建全光通信网络成为了未来光通信网络的必然 趋势。 要组建全光通信网络，首先要在光通信网络中实现全光交换技术，网络中的 每个结点的信息都要在光信号层面上进行。光开关是空分光交换和时分光交换的 基本器件，同时也是波分复用系统中光结点o x c 和o a d m 的基础器件。可以说， 光开关技术为实现光通信网络中的全光交换开辟了道路，并将为组建全光通信网 络提供了必要的技术准备。因此，光开关一直被视为光通讯系统中最关键的元件 之一，有着广泛的应用前景。 1 1 全光通信系统中的光开关 光开关是全光通信系统中的一个关键器件，无论是在空分还是时分或波分复 用系统中，光开关都有着广泛的应用，可以实现全光层的路由选择、波长选择、 交叉连接以及自愈保护等功能。目前光开关主要应用l ”1 包括： ( 1 ) 光交叉互联( o x c ) 。o x c 要完成两个圭要的功能：光通道的交叉连接功能 和本地上下路功能。o x c 的光交换模块中可采用两种交换机制：空间交换和波长 作者：陈忐文新型i # 雀光波导j 卜天的研制 交换。实现波长交换的器件是各种类型的波长转换器，将信号从一个波长转换到 另一个波长上；而实现空问交换的器件为各种类型的光开关，它们在空b j 域上完 成输入端到输出端的交换功能。 ( 2 ) 用光开关实现网络的自愈保护。当光纤意外断裂或传输设备发生故障时， 通信系统需自动恢复以避免通信系统的瘫痪，这对保证通信系统的町靠性是至关 重要的。现在大多数光纤网络都有两条以上的路由连接到关键的结点，一旦光纤 被意外切断或者结点设备发上故障，就町以通过光开关改变业务的传输路径，使 信号绕过故障结点到达目的点，保证了业务的正常实现。通常这种自愈保护只需 一个l 2 端口的光开关就可以实现。 ( 3 ) 用1x n 光开关实现网络监控。在远端光纤测试点通过lx n 光开关把多根 光纤接到一个光时域反射仪( o t d r ) 上，通过光开关倒换实现对所有光纤的监测。 另外，利用光丌关也町以在光纤线路中插入网络分析仪，实现网络的在线分析。 ( 4 ) 光上f 路复用( o a d m ) 。光丌关是0 a d m 的基本组成部分，主要应用f 环形 的城域嘲中。它的功能是从传输设备七有选择的f 路( d r o p ) 通往本地的光信号， 同时上路( a d d ) 本地用户发网另一结点的光信号，面不影响其他波长信道的传 输，增加了网络配詈的灾活性。 1 2 光开关的研究现状 由f 光厅美在全光通信网络中的重要应用价值，人们对光开关进行了广泛的 研究。依据光丌关的工作取理，光丌关主要可以分为机械式光斤关、电光丌关、 热光丌关、磁光丌关等等，如图卜l 所示。 图1 1 光开芙的种类 2 作者：陈占文 新型硅基光波导开关的研制 ( 1 ) m o e m s 光开关 m e m s 技术是基于半导体微细加工技术上成长起来的一门平面制作工艺技 术，m e m s 技术与光技术融合，产生了微光电机械技术( m o e i h s ) 。由于m o e m s 技 术与微电子技术相兼容、结构微小、工艺精度高、能方便的与集成电路集成等特 点，m o e m s 开关 a - g l 有着重要的意义和广泛的应用前景。m o e m s 开关靠微型电磁铁 或者压电器件驱动光纤或反射光的光学元件发生机械移动，使光信号改变传播通 道，其基本原理分别如下图1 - 2 和1 - 3 所示。m o e m s 光开关主要的优点有适合于 集成，插入损耗低( 6 0 d b ) ，隔离度好( 4 5 d b ) ，与工作的 波长和偏振态无关以及对数据格式透明等。缺点主要是由于i h o e m s 开关是机械运 动，开关时间较长，为毫秒的量级；开关结构有移动的部分，任何机械摩擦、磨 损以及外部振动都会使开关的可靠性降低，因而开关寿命相对有限。 图1 - 2 移动光纤式光开关的结构示意图 反射镜 旋章毒袖 口 图1 - 3 移动反射镜式光开关的结构示意图 随着技术的发展，近年来发展出在硅片上用微加工技术做出大量可移动的微 型镜片构成开关阵列，可以减少光月：关器件的体积，更适于集成，同时，三维化 也是m o e m s 一个重要的发展方向。 3 作者：陈忐交 新璎i 基光波导肝关的研制 ( 2 ) 电光开关 电光月：关是的原理一般是利用材料的电光效应，在电场的作用下改变材料的 折射率和光信号的相位，再利用光的干涉或者偏振等方法使光强突变或者光路改 变。电光丌关【l 叫6 l 主要有睡种类型：直接电光效应和间接电光效应。直接电光效 应利用材料的p o c k e l s 效应或f r a n z k e l d y s h 效应，通过电场的改变来改变材料 的折射率，如f 图卜4 所示。这类器件具有很快的开关响应时间，一般小于i n s 。 通常这类器件的波导材料都有较大的电光系数，如l i n b 0 3 ，i n g a a s p 以及聚合物 等。 闻接电光效应的光开关一般为半导体材料波导光开关，利用半导体材料的等 离子色散效应，通过注入电流来实现折射率的调制，如下图卜5 所示。由于半导 体种载流f 寿命的限制，这类器件的丌关时问一般为微秒或者亚微秒，主要的半 导体材料有i n p 基、g a a s 基和s i 基等的波导光斤关。 图卜4 ，赫曾德干涉仪喇电光光开关的结构示意图 | ! f 卜52 2 电光光开天的结构示意幽 4 作者：睬占文 新型硅基光渡导开天的研制 ( 3 ) 热光开关 热光开关为集成光学器件，其工作原理是热光效应，即通过波导材料温度变 化使波导折射率发生变化，从而改变光的输出。热光开_ 关【1 埘1 的种类主要有干涉 型和数字型，原理图分别如下图卜6 和图卜7 所示。干涉型热光开关具有结构紧 凑的优点，缺点使对波长敏感，通常需要温度控制；相对而言，数字型热光开关 的性能就更加稳定，只要加热到一定温度，光开关就能保持同样的状态。 2 n n 图l - 6n n 多模干涉马赫曾德热光开关的结构示意图 p h a s es h i f t e r 2 ： n n 图1 7g z i 犁热光数字光开关的结构水意幽 s 0 2 热光开关的材料有很多种，较常用的有s i 晚，s i 和有机聚合物。由于不同 材料的热光系数和导热性能相差比较大，因此不同材料制作的热光开关的开关时 间也相差比较大。一般而言，热光开关的速度在m s 量级。 ( 4 ) 磁光效应光开关 磁光光开关【2 们5 1 是利用线偏振光在磁性介质中传播时，受外磁场的作用其偏 振面发生旋转的物理现象来实现光开关功能。下图卜8 是一种磁光效应光月：关的 作者：陈忐交 新型行e 蕈光波导，f j 的研制 原理图，构成光开关的部件有：用g d ：y i g 厚膜构成的4 5 。法拉第旋转器，4 5 0 石英旋转器，两块y v o , 晶体，块偏振分束镜和一一块全反三角棱镜。 取折射晶体敢瓣射晶体 双折射晶体 敢折射晶体 图1 8 磁光效府光开天的结构示意幽 通过在法拉第旋转器施加右旋或者左旋磁场时，可以使光信号分别从上、下 端口输出。磁光光丌关的开关速度为微秒量级，不过结构较为复杂。 ( 5 ) 液晶光丌关 液晶是很多有机材料在特定的温度范围所处的一种晶相。在液晶晶相态中， 分f 处于某特定的方向，在充满液晶的容器中施加合适的电场，町以改变液晶 材料的光学特性。大部分液晶光开关1 2 w 9 l 是用外电场来控制液晶分子的取向，结 合光信号的偏振状念来实现光j r f 关功能的，如f 图卜9 所示。液晶光开关无移动 的部件，性能令人满意，不过由于液晶光丌关需要靠液晶分子转动，因此丌关速 度比较慢( 微秒量级) 。 6 作者：陈击文 新型硅基光波导开关的研制 ( 6 ) 其他光开关 图l - 9 液晶光开关的结构示意图 其他种类的光开关包括声光光开关 3 0 - 3 ，全息光开关i 翊和气泡光开关1 3 3 1 等等。 1 3 光子器件的候选材料 目前，光开关的种类很多，制作光开关的材料也有很多。这些材料主要包括 l i n b 嘎，i i i v 族化合物半导体材料( g a h s g a a l a s 、i n g a a s p i n g a a s ) ，s i 、s o i ， s i0 2 、有机聚合物等等。这些材料各有特点，共同促进了光开关等光子器件的发 展。下面简单介绍上述各种材料的优缺点。 ( 1 ) l i n b o ，材料 l i n b o ，是由来已久的波导器件的材料，主要利用其直接电光效应来制作干涉 型、相位调制型光开关等光子器件。总体来说，l i n b o ，材料的优点在于材料成本 低，工艺相对简单，但器件体积相对比较大，而且与半导体t 艺的兼容性、与半 导体器件的可集成性都比较差，这些都限制了l i n b 嘎器件的进一步发展。 ( 2 ) i i i v 族化合物半导体材料 i i i v 族化合物半导体材料多为直接带隙材料，因此i i i v 族化合物半导 体材料在光源、光放大器等有源器件k 有着重要的应用。其次，利用其电光效应 可以制作光开关、调制器、于涉器等多种器件，这些器件往往具有体积小、速度 快等优点。i i i v 族化合物半导体材料的最大缺点是材料成本太高。 作者：陈忐文新型5 萆光渡导开天的研制 ( 3 ) 硅基材料 硅基材料作为常规半导体材料，在光电子集成器件上一直有着重要的应用。 人们利用s i g e 、s o i 、s i0 2 等硅基材料制作了各种不同的光电子器件。早期硅基 材料最大的缺点是硅基材料为间接带隙材料，因此不能制作光源等有源器件，但 可用于制作光源的单晶硅、纳米硅材料等口4 l 的发展很好的解决了这一难题。由于 其制作工艺非常成熟，与微电子技术相兼容，适合集成而备受重视，在光电子集 成方面有着良好的前景。s i 基材料的波导丌关土要有热光型和电光型两种。由 于硅材料的p o c k e l s 效应很弱，因此电光型s i 波导丌关一般都是利用s i 基材料 的等离子色散效应来实现开关功能的；由于s i 材料具有较大的热光系数( x 1 0 一k ) ，且s i 材料的导热性能良好，因此s i 材料的热光丌关的响应速度比其他 材料的响应速度要快。另外，硅基材料应用于光子器件的另一种重要形式m o e m s 光开关阵列也由于大规模集成的静景向备受重视。 ( 4 ) 有机聚合物材料 与其他材料相比较，有机聚合物的最大特点就是器件结构灵活，制作也比较 容易，同时和光纤的折射率匹配，因此有机聚合物材料在光学封装和光子器件， 例如热光光丌关( 有机聚合物的热光系数较大) 都有着重要的应用。但有机聚合 物的也有螳问题急需解决，包括热稳定性和n 靠性等。 1 4 本论文的主要工作和创新点 本论文的- 作e 要集中在s i g e s o 光波导丌关的设计、制作和测试上。各 卷的e 要内容为： 第一章概述了光丌关在全光通信系统中的应用，综述了各种光丌关的发展概 况，以及简单的比较了用于光电子集成的各种材料的特点。第二章介绍了理论的 设计方法b p m ( b e a mp r o p a g a t i o nm e t h o d ) 、s i 材料的等离子色散效应、多模二f 涉原理以及区域调制原理。第三章是设计了三种新型的光波导开关，理论分析了 它们的插损、串扰、调制电压、电流密度等参数。第四章是制作两种新型的光波 导丌关，并测试了它们的几何参数以及光电特性。最后总结了本论文的主要结果 以及需要改进的地方。 s 作者：陈击文 新型硅基光渡导开关的研制 本论文的创新之处有： ( 1 ) 理论设计并制作了了一种新型的光波导开关2 x 3 光波导开关，突破了传统 光波导开关只有y 型分支l 2 光开关、x 型2 x 2 光开关、3 x 2 光开关、以及由 y 分支1 2 结构或x 型2 x 2 结构作为基本单元级联形成的m x n 光开关阵列。 ( 2 ) 理论设计了一种新型的光波导开关2 x 4 硅基光波导开关，只需利用两个折 射率调制区之间的配合，即可实现光信号在四个不同输出端口的输出，将两个折 射率调制区的调制电压的开关( 施加电压不施加电压) 状态对应的四种的二进 制逻辑状态和光路输出一一对应。 ( 3 ) 理论设计并制作了一种新型的光波导开关4 x 4 光波导开关，并结合多模干 涉原理和区域调制原理，给出了多模干涉区域调制的相位调制计算过程。 9 作肯：陈忐文 新犁砰毕光波导肝j 的研制 参考文献 1 程晓飞，方来付，王健全，顾畹仪，、光开关技术综述，”通讯世界，2 0 0 1 ，7 ： “1 6 2 禹培栋，王国忠，陈明华，谢世钟，“光开关技术斤展，”半导体光电，2 0 0 1 ， 2 2 ( 3 ) ：1 4 9 - 1 5 4 3 杨建义，江晓清，王明华， “用于光纤通信得光开关研究进展。”光通信研 究2 0 0 0 ，4 ：4 2 4 8 4 p m h a g e l i n ，u k r i s h n a m o o r t h y ，j p h e r i t a g e 。a n do s o l g a a r d s c a l a b l e o p t i c a lc r o s s - c o n n e c ts w i t c hu s i n gm i c r o m a c h i n e dm i r r o r s ”i e e ep h o t o n i c s t e c h n 0 1 l e t t 2 0 0 0 1 2 ( 7 ) ：8 8 2 8 8 4 5 t b a k k e ，c et i g g e s a n dc t s u l l i v a n , “1x 2m o e m ss w i t c hb a s e do n s i l i c o n - o n i n s u l a t o ra n dp o l y m e r i cw a v e g u i d e s ”e l e c t r o n l e t t 。2 0 0 2 ，3 8 ( 4 ) ： 1 7 7 一1 7 8 6 t e p l o w n l a n ，r a s t o l l ，d w i i l i c k ，a n da s m o r r i s 。as t u d yo f o p t o m e c h a n i c a lv a r i a t i o n sa n dc o n t r o li nam o e m ss w i t c hr o o d e l p r o e s p l e 2 0 0 1 ，4 5 6 1 ：2 3 l 一2 3 7 7 t y a m a m o t o ，j y a m a g u c h i 。n t a k e u c h la s h i m i z u e h i g u r a s h i 。r s a w a d a 。y u e n i s h i “at h r e e d i m e n s i o n a 】m e m so p t i c a ls w i t c h i n gm o d u l eh a v i n g10 0 i n p u t a n dl0 0 o u t p u tp o r t s ，”i e e e p h o t o n i c st e c h n 0 1 l e t t 2 0 0 3 ， 1 5 r 1 0 1 ：1 3 6 0 1 3 6 2 8 gn n i e l s o n ，d s e n e v i r a t n e el o p e z r o y o 。p t r a k i c t i y a v r a h a m i m r w a t t s ，h a h a u s h l t u l l e r a n dgb a r b a s t a t h i s i n t e g r a t e d w a v e l e n g t h - s e l e c t i v eo p t i c a lm e m ss w i t c h i n gu s i n gr i n gr e s o n a t o rf i l t e r s ”i e e e p h o t o n i c s t e c h n 0 1 l e t t 。2 0 0 5 ，1 7 r 6 ) ：1 1 9 0 1 1 9 2 9 h h s i e h ，c c h i u ，t t s a n f j i a n g ，a n dgj s u “l o w - a c t u a t i o n - v o l t a g em e m s 南r2 do p t i c a ls w i t c h e s ，”j l i g h t w a v et e c h n 0 1 ，2 0 0 6 ，2 4 ( 1 1 ) ：4 3 7 2 4 3 7 9 1 0 a c h i b a , t k a w a n i s h i t s a k a m o t o ，k h i g u m a a n dm i z u t s u l o w - c r o s s t a l k l i n b o so p t i c a ls w i t c hw i t he m b e d d e ds u bm a c h z e h n d e rs t r u c t u r e s ”i e e e l a s e r s & e l e c t r o o p t i c ss o c i e t y , 2 0 0 6 ，o c t ：7 5 7 7 5 8 1 1 j e w a t s o n , m a m i l b r o d t a n dt c r i c e “ap o l a r i z a t i o n - i n d e p e n d e n t1 1 6 g u i d e d - w a v eo p t i c a ls w i t c hi n t e g r a t e d o nl i t h i u mn i o b a t e ”j l i g h t w a v e t e c h n 0 1 。1 9 8 6 ，u 二4 ( 1 1 ) ：1 7 1 7 1 7 2 1 1 2 s s a g a s h e ，k t s h i n a n ds r f o r r e s t ，“c o m p a c tp o l a r i z a t i o n i n s e n s i t i v e i n g a a s p - i n p2 x 2 o p t i c a ls w i t c h ”i e e e p h o t o n i c st e c h n 0 1 l e t t ，2 0 0 5 。 17 ( 1 、：5 2 5 4 1 3 b j l ia n ds j c h u a , 2 x 2o p t i c a lw a v e g u i d es w i t c hw i t hb o w - t i ee l e c t r o d e b a s e do nc a r r i e r - i n j e c t i o nt o t a li n t e r n a lr e f l e c t i n ni ns i g ea l l o y i e e ep h o t o n i c s t e c h n 0 1 l e t t 2 0 0 1 1 3 ( 3 ) ：2 0 6 2 0 8 1 4 b j l ia n ds j c h u a , h i g hc a r r i e ri n j e c t i o no p t i c a ls w i t c hb a s e do nt w o m o d e i n t e r f e r e n c ei ns i g ea l l o y , ”a p p l p h y s l e t t ，2 0 0 2 ，8 0 ( 2 ) ：1 8 0 1 8 2 o 作者：陈_ 忐文 新型硅摹光波导开关的研制 1 5 b j l lj l l y z z h a o x b l i n ，s j c h u a , l y m i a o ，e a f i t z g e r a l d , m l l e e 。a n db s c h a u d h a r i , u l t r a c o m p a c t ，m u l t i f o n c t i o n a la n dh i g h l y i n t e g r a t e d3 x 2p h o t o n ks w i t c h e 妒a p p l p h y s l 弛，2 0 0 4 ，8 4 ( 1 3 ) ：2 2 4 1 - 2 2 4 3 1 6 九l g l e b o y , 八s u g a m a , v i s m i r n o v ，s a o k i , v r o t a r m gl e e 。a n dl b g i c b o y , a n g l es e l e c t i v ee n h a n c e m e n to f b e a m d e f l e c t i o ni n1 1 i g h - s p a e d e l e c t r o c l l x i cs w i t c h e s ”l e e ep h o t o n i c st e c h n o ll e t t 。2 0 0 7 。1 9 ( 9 ) ：7 0 1 7 0 3 1 7 x w a n g ，b h o w l c y ，m y c h e n , a n dr c h e r t , “c r o s s t a l k m i n i m i z e x lp o l y m e r i t 2 2t h e r m o o p t i cs w i t c h ”i e e ep h o t o n i c st e c h n 0 1 l e t t ，2 0 0 6 ，1 8 ( 1 ) ：1 6 - 1 8 18 x j i a n g , w q i , h z h a n g , y t a n g ，y h a o ，j y a n g , a n dm w a n g , l o w c r o s s t a l k1 2t h e r m o o i x i cd i g i t a lo p t i c a ls w i t c hw i t hi n t e g r a t e ds - b e n d a t t e n u a t o r , ”i e e ep h o t o n i c st e c h n 0 1 l e t t ，2 0 0 6 ，1 8 ( 4 ) ：6 1 0 6 1 2 1 9 c w u , p l i n , i lh u a n g ，w c h a o ，a n dm m h l e e ，“d e s i g no p t i m i z a t i o nf o r m i c r o m a e h i n e d1 0 wp o w e rm a c h - z c h n d e rt h e r m o o p t i cs w i t c h ”a p p l p h y s l e f t ， 2 0 0 6 8 9 ：1 2 l1 2 1 2 0 j l ta q l i l l ，x m z h a n g ，a n dt z h o n g ， l i g h ts w i t c h i n gv i at 妇- o p t i c e f f e c to f m i c r o m a c h i n e ds i l i c o np r i s m , ”a p p lp l a y s l e t t ，2 0 0 6 ，8 8 ：2 4 3 5 0 1 2 1 0 l a lw h i m z i k c t , a n dh m c l e h i o r ， l o w - p o w e rc o m p a c t2 x 2t h e r m o o i x i c s i l i c a - o n - s i l i c o nw a v e g u i d es w i t c hw i t hf a s tr e s p o n s e , ”i e e ep h o t o n i c st e c h n 0 1 l e t t 1 9 9 8 1 0 ( 5 ) ：6 8 1 - 6 8 3 2 2 r k a s a h a r a , m y a n a g i s a w a , a s u g i t a , t g o l l ，m y a s u a h i m e n o a n ds m a t s u i , “l o w - p o w e rc o n s u m p t i o ns i l i c a - b a s e d2 x 2t h e r m o o p t i cs w i t c hu s i n g t r e n c h e ds i l i c o ns u b s t r a t e 。”i e e ep h o t o n i c st e c h n 0 1 l e t t 1 9 9 9 , l l ( 9 1 ：1 1 3 2 1 1 3 4 2 3 z t w a n g z c f a n j s x i a s w c h e n a n dj z y u d e s i g na n d f a b r i c a t i o no f t h e r m o - o p t i c4 x 4s w i t c h i n gm a t r i xi ns i i i c o n - o n - i u s u l a t o r , ”c h i n e s e j o u r n a io f s e m i c o n d u c t o r s , 2 0 0 4 。2 5 ( 1 2 1 ：1 5 7 3 1 5 7 5 2 4 z h w e n g ，g g y a n g , y q h u a n g ，z m c h e m y z h u ，j m w u , s f l i n , a n dw p m o a n a l y s i so f o p t i c a lr o u t ei nam i c r ol l i g h - s p e e dm a g n e t o - o i x i c s w i t c l l ”p r o c s p l e 2 0 0 5 。5 6 2 5 ：8 3 6 8 4 7 2 5 j 1 4 p a r k , kn i s h m u r a , m i n o n e ，d h l e e ，a n dj k c l l o “e 脏c t so f g r o o v e d e p t ha n dp a t t e r n e dp e r m a l l o yf i l mo nm a g n e t i z a t i o ns w i t c h i n go f l p e g a r n e t p i x e l sf o ru s ei nm a g n e t o - o p t i cs p a t i a ll i g h tm o d u l a t o r s ”j a p p l p h y s ，2 0 0 2 ， 9 1 f 1 0 ) ：7 0 1 4 7 0 1 6 2 6 a a l e x e - l o n e s c u a t i o n e s e u , e s b a m a , v b a m a , a n dn s c a r a m u z z a , “f a s t e l e c t r o - o p t i cs w i t c h i n gi nn e m a t i cl i q u i dc r y s t a i s , ”a p p l p h y s l e t t ，2 0 0 4 ， 8 4 ( 1 ) ：4 0 - 4 2 2 7 y j l i i l x w s u n , j h l i u ，h t d a i a n dk s x u , ap o l a r i z a t i o n i n s e n s i t i v eo p t i c a ls w i t c hf a b r i c a t e db yl i q u i dc r y s t a h ) o l y m e tc o m p o s i t e ，”a p p l p h y s l e t t 2 0 0 5 8 6 ：0 4 l5 2 8 八z h a n g ，k t a l a l l ，m s d e m o k a n v w c c h a n , p c h h s k w o k a n da h p c h a r t i n t e g r a t e dl i q u i dc r y s t a lo i x i c a ls w i t c hb a s e do nt o t a l i n t e r n a lr e f l e c t i o l l ”a p p i p h y s l e f t ，2 0 0 5 ，8 6 ：2 1 11 0 8 2 9 z z z h o a n g y j k i n a , a n dj s p a t e l “b i s t a b i ct w i s t e dn e m a t i cl i q u i d - c r y s t a l o p t i c a ls w i t c ”a p p i p h y s 。l e f t ，1 9 9 9 。7 5 ( 1 9 ) ：3 0 0 8 - 3 0 1 0 作者：陈志文新型i 鞋光波导肝父的研制 3 0 c s t 鼢ia n dp l e 4 x 4n o n b l o c k i n gi n t e g r a t e da c o u s t o o p t i cs p a c es w r c k ” a p p l p h y s l e t t ，1 9 9 2 ，6 0 ( 4 ) ：4 3 1 4 3 3 3 1 r sd eo l i v e i r a m g d as i l v a , a n da s b s o m b r a 。u h r a s h o r tp u l s es w i t c h i n g i nal o s s ya c o u s t o - o p t i ct u n a b l ef i l t e r ( a o t f ) ，”o p t i e l af i b e rc o m m u n i c a t i o n c o n f e r e n c ea n de x h i b i t 2 0 0 1 3 ：w j 5 卜w j 5 3 3 2 a j a g r a n a t “e l e c t r o - h o l o g r a p h i cw a v e l e n g t hs e l e c t i v ec r o s sc o n n e c t ”l e o s s u m m e rt o p i cm e e t i n gp r o c e e d i n g so f t h e1 9 9 9i e e e l e o ss u m m e rt o p i c a l m e e t i n go nn a n o s t r u c t u r e sa n dq u a n t u md o t s 1 9 9 9 j u l 2 6 2 7 1 1 6 l - 1 1 6 2 3 3 j e f o u q u e t “c o m p a c t s c a l a b l ec r o s s c o n j l e c t ss w i t c hu s i n gt o t a li n t e r n a l r e f l e c t i o nd u et ot h e r m a l l yg e n e r a t e db u b b l e s ”l e o sp r o c e e d i n g so f t b e 1 9 9 8 ll t hm n n a a lm e e t i n g i e e el a s e r sa n de l e c t r o - o p t i c ss o c i e t y p a r t 2 ，1 9 9 8 ， d e c 1 4 ：1 6 9 - 1 7 0 3 4 陈钰杰，林旭彬，李釜军，硅发光研究新进展，”激光与光电子学进展，2 0 0 5 ， 4 2 ( 1n ：9 1 3 2 繁二章理论磁究矗法 第2 耄理论研究方法 零谂文豹理论设诗过程巾，主要矮到了叛下诗算方法秘暴理：有黢差分裘 傣撩法f i n i t