特气系统报告.ppt

1 IVOConfidential 特气系统设计 2 ALS2 0 特气中央系统概述 阀盘介绍 管路设计 气体侦测系统 特气中央系统设计 3 1 1气体种类 大宗气体 特殊气体 N2 H2O2 HeAr He 4 相容 危险 激烈反应 爆炸 1 2气体相互反应表 5 1 3气体供应方式 大宗气体 桶槽 钢瓶 N2 O2 H2 He 特殊气体 液态 气态 NH3CL2 NF3SIH4 6 GR 氣瓶櫃 VMB VMP POU 1 4特气供应流程 7 1 5a特气系统流程图 8 1 5b特气系统流程图 9 1 5c特气系统流程图 10 1 5d特气房间平面图 11 1 5c特气系统供应能力 12 1 6气瓶安置方式 气体依化学性质分类如下 惰性气体 Intergas N2 使用GR GasRack 易燃易爆性气体 Flammablegas SiH4 NH3 使用BSGS Bulkspecialgassupplysystem 供应目前厂区钢瓶供应方式 2020 1 7 13 GR BSGS 1 6a气瓶柜 架 14 1 7气瓶柜之操作功能 Process VENT 1 PH3 H2 N2 N2 VGS LPI REG PGI REG PGBV HPA HPV LPV HPI 吹扫区 真空产生区 供应区 P1 P4 P3 P2 1 7a气瓶柜之操作示意图 16 2 1气瓶钢数的设计 17 2 1a三钢式气瓶柜 18 2 1b三钢式气瓶柜 19 2 2低压气体供应设计重点 20 2 3空间设计 依气体特性一般区分成三间 腐蚀性 毒性气体房 易燃易爆气体房 惰性气体房 设计重 点 21 2 4电力系统设计 避免不正常之跳机 包括气瓶柜 VMB 消防 洩漏侦测 LocalScrubber 排气 等相关设施 1 可处理停电时之紧急状况 2 可于停电时处理管路之残存特气之排放 可避免受其他系统之影响 22 2 5气瓶柜功能设计 不相容气体不可设计在同一气瓶柜不相容气体的purge管路不可相连考虑使用压力与流量之需求CGA接头需与钢瓶接头同一型号盘面零件需考虑钢瓶高度依照气体特性选择适当零件如腐蚀性 高压 低压注意管路死角purge的问题考虑未來零件更换的方便性 23 2 6气瓶柜管路设计 24 2 6重要的管路组件 气动 N2 控制阀 AirValve 手动控制阀 ManualValve 逆止阀 CheckValve 调压阀 Regulator 压力传感器 PressureTransmitter 真空产生器 VacuumGenerator 气体过滤器 LineFilter 流量侦测器 FlowSensor 限流孔 Orofice 25 2 7气瓶柜安全防护设计 抽气装置 UV IR火焰侦测器 消防洒水头 气体泄露侦测器 钢瓶紧急关断阀 ValveShutter 过流量开关装置 高压测试管路设计 现场EMO 远端停机开关 26 排气管 保温棉 消防管 EMO ValveShutter 加热线 触控面板 2 8气瓶柜附属配件 气瓶柜內可能漏气处 例如 钢瓶头 压力调整器 压力控制器 等 提供至少0 51m sec风速 27 2 9气瓶柜排气量设计 排气量会影响防爆半径 28 2 91气瓶柜的紧急关断时机 气柜关断 停止气瓶柜供气由气瓶柜将一次侧管路Vent并Purge干净充填PN2保压记录钢瓶出口压力值与机台供应压力值关闭控制箱之電源断路器确认钢瓶阀关闭关断气体供应室相关电力 29 注一 若有任何施工可能导致管路断裂以致于气体外泄之考量 除Vent外 尚須进行30次以上之CyclePurge 另外 若为惰性气体 则不需进行Vent动作 注二 具ValveShutter裝置之钢瓶于断电后随即关闭出口阀 若无此裝置则需由人员手动将出口阀关閉 2 92长时间停电处理程序 气体室裝侦烟感知器可燃性气体加裝UV IR火焰侦测器可燃性气体加裝消防洒水头Cl2 因会与水起激烈反应 不可安裝喷水头与自动广播系统连线气体室环境可考虑加裝 极早期火焰預警侦测器 30 2 93消防设计 31 2 94气瓶柜的验收规格 32 3 管路分类 依气体特性 依制程需求 输送距离之考量气体使用点之最佳规划气体预留扩充点之评估安全性之考量紧急遮断系统管路位置设计使用与维护之设计双套管需求 33 3 1管路安全设计 安全 稳定 34 3 2管路流速与用量之设计 35 3 2双套管设计重点与优缺点 36 3 3管路流速与用量之设计 37 減少滯留点 环状配管 purge机构減少焊接点 规格化 bulkvalve 拔曲成型管減少弯曲点 bulkvalve 拔曲成型管焊接點之位置 支架阀基 管路途径管路行径之环境 耐震 耐蚀 外力 温湿度 药品 电气 等减少接头 零件之耐久性操作性 阀之位置 压力計 流量计 purge维护性 零件之位置 检查 更换需容易 purge设计 3 4管路施工与设计要求 38 3 5管路验收测试作业 一 39 3 51管路验收测试作业 二 VMB需裝設气体侦测器 抽气裝置可设计同类或相容气体于同一阀盘一般设计成4 8 10接点 供气至数个机台需有独立的purge系统PN2不建议由中央供应系统供应可做为气体中间调压可设定供气压力警报点 5psi 机台维修时 能提供做为气体管路的隔绝功能紧急状况如泄露 火灾 地震时 也可利用VMB之气动阀进行气体系统的自动分段隔离 40 4 现场供气阀盘VMB VMP 3 2 1VMB VMP照片 41 4 1VMB VMP照片 3 2 2a1进4出VMB 42 4 2VMB VMPPID 43 4 3传统式与集体化阀盘之比较 44 4 3a传统式与集体化阀盘之比较 45 1 TLV 一般工作人員每天工作8小時 每週工作40小時 終其一生不受傷之最高濃度2 警報設定值 一 Warm 0 5TLVAlarm 1TLV3 警報設定值 二 Warm 1TLVAlarm 2TLV4 TEL 爆炸下限5 Ceiling 最高容許濃度 5 特殊气体的TLV值 46 5 1常用气体侦测器的种类 电化学式 试纸帶反应式 红外线 IR O3 O2 CO CO2 SO2 NO NO2 H2 HCN H2S Cl2 HCl CCl4 COCl2 NH3 PH3 HF及一般可溶于水 且可解离成离子状态之化合物 Cl2 HF HCl HBr BCl3 SiH4 PH3 B2H6 AsH3 NH3 等 CH4 CO及碳氢化合物 除O2 H2 N2等双原子气体 47 5 2侦测器的优缺点比较 气瓶柜之风管VMB之风管制程机器台之风管 非制程气体排气管 制程机台之周围环