《动力系统架构介绍》PPT课件.ppt

动力系统架构介绍 动力部 袁学申2011 8 25 时间 14 00 15 30 前言 动力部 欧美 台资企业习惯称为FacilityDepartment 随着半导体行业的在大陆的发展 受欧美 台资企业的影响 人们习惯将为FAB提供水 电 气 及其他动力供应的部门为厂务部 简称FAC国内企业习惯将同种职能部门称呼为动力部门或设施部门 为尊重公司的企业文化和大家习惯 在此称之为动力部 厂务和动力即为同一个部门 课程目的 了解动力部门的基本职能和作用熟悉动力设备分布及主要系统构成了解动力设备与生产的相关及重要性 动力部门的职能 为生产制造部门提供安全的 连续稳定 高品质的动力 水 电 气供应 同时提供清洁 安全的生产环境 保证动力设施安全稳定运行同时 持续开展节能工作 降低能源消耗是厂务部门的一个重要工作目标 动力系统架构图 动力系统组成电力供应系统暖通 动力及排气系统气化系统给排水系统 NF3 DEZ房 特气房 柴油发电机房 LN2 LO2 LAr 氢气站 危险化学品仓库 硅烷站 配电室 锅炉房 102厂房 空压机房 冷冻水站 纯水站 PCW系统 冷却水塔 2F空调箱 2F空调箱 厂务系统分布图 废水处理系统 消防 生产水池 动力系统之电力系统 高低压配电NE 紧急柴油发电机组GE UPS电源 电力系统 电力系统 主要由市电配送系统 紧急柴油发电机 UPS不间断电源三部分构成 共创电力基本架构图 变压器 10KV进线主开 高压配电开关 102厂房工艺设备用电 102厂房工艺设备用电 102厂房工艺设备用电 102厂房动力设备 应急负荷 办公楼宿舍用电 变压器 变压器 变压器 柴油发电机 变压器 共创电力基本架构图 工艺配电柜 工艺配电柜 空调通风设备 动力配电柜 动力站3台冷水机组 消防及排烟风机 电梯 车间紧急照明 1022F辅房及办公区域照明 1021F周边辅房及办公照明 特气系统 水系统 事故排风及特气设备 特气系统 动力之空调 暖通 空压系统 一 空调送排风系统 功能 为了维持车间温度 湿度 洁净度及正压要求 同时将车间设备产生的有毒有害气体排出室内 组成 主要设备包括送排风系统 MAU AHU 排气 VEX DUX GEX SEX 系统 一 空调送排风系统 二 空调水系统空调水系统包括冰水系统 7 锅炉热水系统 80 冷却塔水系统 32 空调加湿补水 二级RO水 系统四部分组成 为空调提供冷源 热源并保证空气的湿度 同时将冷水机组从车间获得的热量转移到大气中 保证无尘车间及办公区域的温度 湿度要求 空调水系统流程图 MAU或者AHU 工艺冷却水系统 三 空压系统 CDA 原理 通过螺杆旋转作用 将吸入的外界空气不断压缩 获得一定压力的气体 使空气成为动力的载体 通过管道将动力传送至设备使用点 作为设备气动元件的动力来源 CDA工艺流程图 厂务之气化系统 一 大宗气体系统 UPW N2 ABT O2 TCO N2 特气系统 PECVD ArN2 低温槽车 低温储罐 空浴式气化器 气体使用点 调压 过滤装置 大宗气体系统包括 液态氮气 液态氧气 液态氩气三种气体位置 102厂房北侧气罐区危害 低温窒息 二 特气系统 Y 气瓶GC 气体控制柜VMB 现场气体分流箱车间机台GAS BOX 特气系统包括 SIH4NF3B2H6 2 PH3 0 5 CO2TMBCH4性质危害 SIH4自燃易爆NF3腐蚀性 有毒B2H6 2 易燃剧毒PH3 0 5 自燃 剧毒TMB 2 自燃 有毒 v PECVD CO2SIH4 TMBPH3NF3CH4 TCO B2H6 ABT 三 化学品系统 DEZ 二乙基锌 DEZtankDEZ控制柜现场DEZ分流箱蒸发器GASBOX 位置 102厂房DEZ房危害 遇到空气自燃 与水发生剧烈反应 输送过程中分解成ZnO 同时释放热量 四 气体管理 侦测系统GMS GDS系统 功能 为防止BSGS VMB TOOLS在运行中出现危险气体泄漏对人员和设备造成的危害 当BSGS VMB TOOLS出现气体泄漏时 GMS能通过气体侦测器的侦测结果来产生相应的联动 关闭相应的气体供应设备 保证BSGS VMB TOOLS的安全运行 原理 PLC根据模拟量转换计算出气体浓度值与所设定之报警值进行比较 再产生相应的联动动作 GC VMB的RST LAUBeacon的Red和Buzzer 取样点分布 取样点为BSGS VMB TOOLSGASPANEL 环境 安装在Exhaust的阀门与机台风管三通之间 GDS组成 1 BSGSDetector控制系统GMS系统提供BSGS的Detector连锁控制功能 当BSGS发生气体泄漏时通过连锁功能 PLC可以通过BSGS提供的Relay接点对BSGS作RemoteShutdown 2 VMBDetector控制系统GMS系统提VMB的Detector连锁控制功能 当VMB发生气体泄漏时通过连锁功能 PLC可以通过VMB提供的Relay接点对VMB作RemoteShutdown 同时对GC作RemoteShutdown 3 ToolsDetector控制系统GMS系统提供ToolsDetector监控功能 当TOOLS发生气体泄漏时通过连锁功能 PLC可以通过VMB提供的Relay接点对VMB作RemoteShutdown 4 环境Detector系统GMS系统提供了TOOLS GASROOM环境监控功能 当TOOLS GASROOM发生气体泄漏时 根据开放空间气体泄漏流程处理 图控会产生报警信号并在现场区域LAU产生声光报警 GDS基本架构图 LAU声光报警灯 动力系统之给排水系统 1 原理与作用 通过去除自来水中离子 颗粒物 金属 细菌等杂质 获得电阻率大于18M 超纯水 用于玻璃板清洗 TCO反应原料 PECVDchamber清洗 一级RO水 10us cm 1 用于ABT尾气处理 2 水中污染物组成 悬浮固体 SS 如泥土 砂石及金属氧化物等 溶解气体 CO2 O2 N2等 可溶解固体 TDS 如Ca Mg Na K Fe HCO3 NO3 SO4 SiO2等 有机物 TOC 油脂 污水 溶劑 等 微生物 各种细菌 藻类 病素等 一 纯水系统 3 工艺设备 盘式过滤器 去除水中较大的颗粒杂质 悬浮物 胶体絮凝 有机颗粒团 降低浊度 需要逆洗 超滤 去除水中较小的颗粒杂质 悬浮物 胶体絮凝 有机颗粒团 降低浊度 需要逆洗 EDI 通过离子交换和电渗析结合的技术去除水中的阴阳离子 整个工艺无酸碱废水产生 需要消耗电能 Filter 去除水中的Particle等 RO ReverseOsmosis 逆渗透技术 利用压力差为动力的膜分离过滤技术 将源水中的水分子与无机盐 重金属离子 有机物 胶体 细菌 病毒等杂质分离出来UV 在波长254nm的紫外灯辐射下 对细菌DNA分子结构可造成不可逆的破坏 从而达到杀灭和抑制细菌的繁殖的目的 纯水系统工艺流程图 二 工艺冷却水系统 PCW 三 工业废水处理系统 说明 工业废水由车间HF废水收集管道收集后进入HF总管 经过废水站处理 满足国家三级废水排放标准后达标排放 三级排放标准 COD 400ppmPH 6 9F 20ppmZn 5ppmSS 400ppm 四 厂区排水系统 厂区排水系统 采用清污分流 污废分流原则 雨水直接由厂区雨水管网收集 然后通过市政雨水管网进入湘江 工业废水经过厂区废水站处理达到国家三级排放标准后 与污水汇合排入市政污水管网 经过园区污水处理厂处理达标后排入湘江 结语 作为整个制造设备的动力 部分原料的供应来源 动力系统设备稳定性 安全性直接影响到整个工厂的生产运营 与制造设备故障特