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银银薄膜薄膜电电阻率阻率测测量数据量数据记录记录表表 膜厚 44 4nm 电流 I mA正向电压 U Mv反向电压 U mV平均电压 U mV 0 151 0 162 0 163 0 163 0 172 0 186 0 185 0 186 0 193 0 207 0 208 0 208 0 223 0 241 0 240 0 241 0 281 0 301 0 302 0 302 0 316 0 340 0 339 0 340 0 356 0 383 0 384 0 384 0 402 0 433 0 434 0 434 0 448 0 482 0 483 0 483 电阻率为 216 879 nm 0 000 Re30 0 000 0 000 Re30 0 000 0 000 Re31 0 000 0 000 Re30 0 000 0 000 Re30 0 000 0 000 Re30 0 000 0 000 Re30 0 000 0 000 Re30 0 000 0 000 Re30 0 000 膜厚 44 4nm 膜厚 88 8nm 电流 I mA正向电压 U Mv反向电压 U mV平均电压 U mV 0 532 0 121 0 126 0 124 1 743 0 404 0 409 0 407 3 264 0 759 0 764 0 762 4 744 1 105 1 110 1 108 5 642 1 314 1 320 1 317 7 539 1 758 1 763 1 761 9 163 2 138 2 143 2 141 10 679 2 492 2 497 2 495 12 221 2 854 2 859 2 857 电阻率为 94 11 nm 0 000 Re30 0 000 0 000 Re19 0 000 0 000 Re30 0 000 0 000 Re30 0 000 0 000 Re31 0 000 0 000 Re31 0 000 0 000 Re1 0 000 0 000 Re1 0 000 0 000 Re2 0 000 膜厚 88 8nm 膜厚 133 2nm 电流 I mA正向电压 U Mv反向电压 U mV平均电压 U mV 0 794 0 107 0 112 0 110 2 372 0 327 0 332 0 330 3 988 0 553 0 558 0 556 5 235 0 727 0 732 0 730 6 904 0 960 0 965 0 963 8 488 1 181 1 187 1 184 9 785 1 362 1 368 1 365 13 193 1 839 1 844 1 842 14 871 2 073 2 079 2 076 电阻率为 84 35 nm 0 000 5 000 10 000 15 000 20 000 0 000 0 500 1 000 1 500 2 000 2 500 膜厚 133 2nm 膜厚 222nm 电流 I mA正向电压 U Mv反向电压 U mV平均电压 U mV 3 970 0 376 0 382 0 379 10 090 0 962 0 967 0 965 14 480 1 382 1 387 1 385 21 480 2 052 2 058 2 055 26 670 2 547 2 552 2 550 33 170 3 171 3 176 3 174 39 750 3 801 3 806 3 804 45 230 4 325 4 330 4 328 51 150 4 892 4 897 4 895 电阻率为 96 30 nm 0 000 10 000 20 000 30 000 40 000 50 000 60 000 0 000 1 000 2 000 3 000 4 000 5 000 6 000 膜厚 222nm 膜厚 277 5nm 电流 I mA正向电压 U Mv反向电压 U mV平均电压 U mV 3 990 0 124 0 129 0 127 11 480 0 363 0 368 0 366 15 550 0 493 0 498 0 496 20 010 0 635 0 640 0 638 25 170 0 800 0 805 0 803 30 150 0 958 0 963 0 961 36 510 1 161 1 166 1 164 42 650 1 357 1 311 1 334 54 970 1 749 1 755 1 752 电阻率为 39 87 nm 0 000 10 000 20 000 30 000 40 000 50 000 60 000 0 000 0 500 1 000 1 500 2 000 膜厚 277 5nm 银银薄膜薄膜电电阻率和膜厚的阻率和膜厚的实验实验曲曲线线 电阻率
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