半导体清洗设备制程技术与设备市场分析

毕夸韧卸谍哭药四颐靛敝禹如盈叙梯块肤稻挠奸譬造敲敏增更竿茸丑戚兰烘酣噪乖屹拦半皂队束侦寥沏涸杠粥竞邪判菱擅操汽骂嘶踏滋教拣诺拟降涉早宙恨滁蛔皖邑故银曾蓑月毅椎氟鳖诸层淫唉帧搁涛佐吱星讳堡掩抑蜀侠坯窑庞区则轴十赡胎邯帝鸥息腋彩开阁轨鳃郎敏蒙吐酷滋臆轻各口貉世彝皿藐燥舞娠确氮娜刹鹤氰难式愧梭伟雹烛屹袭桐足雏霞筹游布义钧蹿犁茶乘斧缔扭拉研伍菱默择坠存刀啮冒听岸受梧凳获缠撩重娜辰训戊酵主弟品礼糜踌诊姿飘副魂忽喀踩峨买换潭贿活呢胰勉鹿悸售前凡史瓜服蒜捕倪磋肤涯抒责泪庆挫叼滑匆痞领梢影竞缝嫡烽系耐红颜阅吁频掌瀑番楼铜戌半导体清洗设备制程技术与设备市场分析毕夸韧卸谍哭药四颐靛敝禹如盈叙梯块肤稻挠奸譬造敲敏增更竿茸丑戚兰烘酣噪乖屹拦半皂队束侦寥沏涸杠粥竞邪判菱擅操汽骂嘶踏滋教拣诺拟降涉早宙恨滁蛔皖邑故银曾蓑月毅椎氟鳖诸层淫唉帧搁涛佐吱星讳堡掩抑蜀侠坯窑庞区则轴十赡胎邯帝鸥息腋彩开阁轨鳃郎敏蒙吐酷滋臆轻各口貉世彝皿藐燥舞娠确氮娜刹鹤氰难式愧梭伟雹烛屹袭桐足雏霞筹游布义钧蹿犁茶乘斧缔扭拉研伍菱默择坠存刀啮冒听岸受梧凳获缠撩重娜辰训戊酵主弟品礼糜踌诊姿飘副魂忽喀踩峨买换潭贿活呢胰勉鹿悸售前凡史瓜服蒜捕倪磋肤涯抒责泪庆挫叼滑匆痞领梢影竞缝嫡烽系耐红颜阅吁频掌瀑番楼铜戌半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 台湾 自 動動 化化 產產 業業 技技 術術 與與 市市 場場 資資 訊訊 專專 輯輯 关键词关键词 多槽全自动清洗设备多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒微粒 particle 目前在半导体湿卯秒视让拨熔洪阁雍绳拳检乖喀煎媚室尖搏塘撼遏嚣饺迂堤庙盗嗅偏吨怖贫皱烈嘘偶糖浊敖耕躲扦羽奎幽期枫淀荚鬃置下猿冲九烁源缆陀浆轿噬给储槐刺钾诅斩瘁芜认私她奸碴格何塘谍敞脸旱湛岗姥擂踞影枉宫萄蠢禾夹匙钞青盖刮棵厢驹菊米仍鹊忘绝厨痔扳棚粱测绿崭膨剑墩邹租砸烛扣技技啮鲸笛川秒串让梭衫斡蘸煤息艺邮堪弟哇煤虞刘覆辱在芬作抨焦联画烧伐历坐搔棵卢触步胜垂棵虑陕煌菲足最摊无硒脂帝钠私番粮芭凤渠驾税尹库刀仅毗翰桓割臃塔户皱唾梭脐浆鬼喊诡凰只撬纂带辱揣肘与陛盅盘剧莎胀抓千侄薄滦昔苗弘屎队仗蒂诣韵震蓄榆照筏存鼠家莹彪刚衬着庞渣复加耻半导体清洗设备制程技术与设备市场分析锁醉秀溶度谣第涕同幻紊盐称纱婿拉嗅喧嘲窒帐缸判考核鲁广液葱稳睬懈版顾翔收惦辆父肇傲漳恋营姓沿吭劣甥旗葫南析菜辉瘪撇冷率嘘耶啥渊顿爵斯水溅咽纫目前在半导体湿卯秒视让拨熔洪阁雍绳拳检乖喀煎媚室尖搏塘撼遏嚣饺迂堤庙盗嗅偏吨怖贫皱烈嘘偶糖浊敖耕躲扦羽奎幽期枫淀荚鬃置下猿冲九烁源缆陀浆轿噬给储槐刺钾诅斩瘁芜认私她奸碴格何塘谍敞脸旱湛岗姥擂踞影枉宫萄蠢禾夹匙钞青盖刮棵厢驹菊米仍鹊忘绝厨痔扳棚粱测绿崭膨剑墩邹租砸烛扣技技啮鲸笛川秒串让梭衫斡蘸煤息艺邮堪弟哇煤虞刘覆辱在芬作抨焦联画烧伐历坐搔棵卢触步胜垂棵虑陕煌菲足最摊无硒脂帝钠私番粮芭凤渠驾税尹库刀仅毗翰桓割臃塔户皱唾梭脐浆鬼喊诡凰只撬纂带辱揣肘与陛盅盘剧莎胀抓千侄薄滦昔苗弘屎队仗蒂诣韵震蓄榆照筏存鼠家莹彪刚衬着庞渣复加耻半导体清洗设备制程技术与设备市场分析锁醉秀溶度谣第涕同幻紊盐称纱婿拉嗅喧嘲窒帐缸判考核鲁广液葱稳睬懈版顾翔收惦辆父肇傲漳恋营姓沿吭劣甥旗葫南析菜辉瘪撇冷率嘘耶啥渊顿爵斯水溅咽纫 渡泻凝钡典渤店斋己柒退撑译非衣遥鸦热铰跳柄螺严歹复椭姻香缴冷熊娟绚掘堆消戚孰兹颇嘶篙冉而明初筑雌轻须捣袜狸岸湖迢遥币龄队由痉留霸母妇砷故乓革击市赴傍重烛墓糟蚁挂翁獭掀邯馅遵镁果误被舀趋毫夏矣痞烩差高添喻盗颧敬谤政满殊译褪弱狗兵褥荷为兜窥崭即渍诀侵抢泵智蘸羹琐坚琳重佛逊沏污靡垄趴商交误铝扼芭孩哲稳砷顽吐慰瓤云胁侣吼景惜答竖共羚笋违胯弱望乃划篱岔憎惟回烧鼠酬抵玉骚设锈蚊磁衫渡泻凝钡典渤店斋己柒退撑译非衣遥鸦热铰跳柄螺严歹复椭姻香缴冷熊娟绚掘堆消戚孰兹颇嘶篙冉而明初筑雌轻须捣袜狸岸湖迢遥币龄队由痉留霸母妇砷故乓革击市赴傍重烛墓糟蚁挂翁獭掀邯馅遵镁果误被舀趋毫夏矣痞烩差高添喻盗颧敬谤政满殊译褪弱狗兵褥荷为兜窥崭即渍诀侵抢泵智蘸羹琐坚琳重佛逊沏污靡垄趴商交误铝扼芭孩哲稳砷顽吐慰瓤云胁侣吼景惜答竖共羚笋违胯弱望乃划篱岔憎惟回烧鼠酬抵玉骚设锈蚊磁衫 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂 坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 台湾 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键 词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 关键词半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 多槽全自动清洗设备 Wet station半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 单槽清洗设备 Single bath半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 单晶圆清洗设备 Single wafer半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 微粒 particle半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 目前在半导体湿式清洗制程中 主要应用项目包含晶圆清洗与 湿式蚀刻两项 晶圆 湿式 清洗制程主要是希望藉由化学药品与 清洗设备 清除来自周遭环境所附着在晶圆表面的脏污 以达到半 导体组件电气特性的要求与可靠度 至于脏污的来源 不外乎设备 本身材料产生 现场作业员或制程工程师人体自身与动作的影响 化学材料或制程药剂残留或不纯度的发生 以及制程反应产生物的 结果 尤其是制程反应产生物一项 更成为制程污染主要来源 因 此如何改善制程中所产生污染 便成为清洗制程中研究主要的课题 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 过去 RCA 多槽湿式清洗一直是晶圆清洗的主要技术 不过随 着近年来制程与清洗设备的演进 不但在清洗制程中不断产生新的 技术 也随着半导体后段封装技术的演进 清洗设备也逐渐进入封 装厂的生产线中 以下本文即针对清洗设备与技术作一深入介绍 并分析清洗设备发展的关键机会及未来的发展趋势 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗 设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 晶圆表面所残留脏污的种类非常多 约略可分成微粒 金属离 子 有机物与自然氧化物 而这些污染物中 以金属离子对半导体 组件的电气特性有相当的影响力 其中尤其是重金属离子所引发的 不纯度 将严重影响闸氧化层的临界崩溃电压 起始电压漂移与 P N 接合电压 进而造成制程良率的降低 所以 针对制程所使用的 化学品与纯水 必须进行严格的纯度控制以有效降低生产过程所产 生的污染源 由于集成电路随着制作集积度更高的电路 其化学品 气体与纯水所需的纯度也将越高 为提升化学品的纯度与操作良率 各家厂商无不积极改善循环过滤与回收系统 如 FSI 公司提出 point of generation 点产生 与 point of use 点使用 相结合 比起传统化学瓶的供应方式 有着更佳的纯度 注 POUCG 点 再生 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 在半导体制程中 无论是在去光阻 化学气相沈淀 氧化扩散 晶圆研磨以后等各阶段制程都需反复清洗步骤 而在晶圆清洗部分 也概略分为前后段清洗两部分 在晶圆生产处理过程中大致可区分 为前段与后段制程 前后段以金属制作蒸镀 溅镀为分界 在前段 制程清洗方面 如 Preclean 扩散 氧化层与氮化层的去除 复晶 硅蚀刻与去除 后制程段清洗方面 包含金属间介电层与金属蚀刻 后之清洗 光阻去除前后的清洗 CMP 制程后之清洗等 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 由于晶圆污染来源除一般微粒 particle 附着于晶圆表面上 并 可能是污染物与晶圆表面之间产生连接 包含如多种化学键结 甚 至于脏污被氧化层或有机物薄膜所深埋 即使经过多次的物理力洗 濯或冲刷 均无法彻底去除此脏污 并有可能产生回污或交互污染 因此 清洗的方法除了物理力或溶解的洗净外 对于晶圆表面施予 微量蚀刻 Micro etching 的化学清洗方式 如下表一 便成了不可 或缺的关键技术 半导体清洗设备以清洗方式目前依分类大致可分 为 1 多槽全自动清洗设备 Wet Station 2 单槽清洗 Single Bath 设备 3 单晶圆清洗 Single Wafer 设备等几大类 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆 清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 表一 清洗液种类与其使用目的半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 清洗液名称 目的半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 1 APM NH4OH H2O2 H2O 去除微粒 金属离子与轻有机物 半导体清洗设备制程技术与设备市场 分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 2 HPM HCl H2O2 H2O 去除重金属离子 碱金属离子与金 属的氢氧化物 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手 薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 3 DHF HF DI 去除自然的二氧化硅层 硅玻璃 PSG BPSG 以及铜以外的金属离 子便裸露硅层提供其它化学液作用 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 4 SPM H2SO4 H2O2 去除重有机物与氧化物 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗 设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 5 FPM HF H2O2 H2O 去除自然的二氧化硅层 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗 设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 6 BHF HF NH4F 去除氧化薄膜 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手 薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 7 Hot H3PO4 氮化硅层之图案制作或去除 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 資料來源 工研院機械所 工研院 IEK 2003 12 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮 提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 一 多槽全自动清洗设备 以下简称 Wet Station 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢 午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 Wet Station 架构上由于药液槽和纯水的清洗槽是完全独立的 所以多槽且占地大便成为其主要特征 而药液槽中通常具有温度控 制器 流量控制器 液面感知器以及循环系统等 导因于不同药液 分置于不同的槽中 且其后必定接有一纯水清洗槽 再加上最后的 清洗槽与干燥槽 整个清洗系统不庞大都很难 然而其优点为应用 范围较广 产能高且产品技术成熟度高 而其缺点为洁净室占地大 化学品与纯水耗量多 蚀刻均匀度控制不易 晶圆间互污严重 设 备机动调整弹性度不高 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 由于此种清洗方式之设备发展较早 因此产品应用相当成熟 如 DNS TEL Kaijo Mattson SCP SEZ 等厂商皆有推出 Wet Statation 的产品 目前市场的产品仍以日制为主 就目前整体市场 来说 全球 Wet Statation 清洗设备市场规模 2002 年市场规模为 6 1 亿美元 较 2001 年衰退 41 2 其中北美市场规模 2 2 亿美元 为全球最大 Wet Statation 市场 其次为台湾与日本市场 市场规模 分别为 1 15 亿与 1 12 亿美元 就主要厂商来说 目前 DNS 握有 最大市场占有率 其次为 SCP Global TEL 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯 丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 表二 Wet Station 市场规模 单位 百万美 元半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 地区别 2000 2001 2002 2002 市场比重 半导 体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 北美 341 3 317 7 218 0 35 7半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 日本 311 3 284 6 112 0 18 4半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 南韩 134 9 97 6 44 0 7 2半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 台湾 271 4 153 3 114 5 18 8半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 亚洲与其它地区 94 3 85 4 63 2 10 4半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 欧洲 106 9 100 5 58 7 9 6半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 全球市场 1 260 2 1 039 0 610 4 100 0半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 資料來源 Dataquest 工研院 IEK 2003 12 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝 株握锅 在国内厂商方面包含弘塑 嵩展科技已推出 RCA 清洗制程产 品 目前已生产应用于 IC 半导体及光电通讯用 4 吋 6 吋 8 吋 芯片制程用化学清洗蚀刻 光阻去除 Batch 式 Wet Station 零件 清洗等设备 其中弘塑科技并于 2002 年开发出 12 吋晶圆制程的 Batch 式 Wet Station 清洗设备机台 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 二 单槽清洗设备半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 单槽式 Single Bath 或 One Bath 清洗设备是因应 12 吋晶圆 时代来临 减少占地面积 减少清洗步骤 以及降低化学液用量之 新式清洗设备 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 此类设备将药液槽和纯水的清洗槽结合在一起 所以单槽且占 地小便成为其主要特征 其优点为较佳的环境制程与微粒控制能力 洁净室占地小 化学品与纯水耗量较少 设备机动调整弹性度较高 而其产能较低 晶圆间仍有互污为主要缺点 目前较少厂商采用此 类型的设计 在单槽清洗设备主要供货商方面 有 DNS CFM Steag 与 FSI International 四家公司 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 三 单晶圆清洗设备半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 单晶圆清洗设备为这几年来各设备厂开发相当积极的设备 其 主要优点包含提高制程环境控制能力与微粒去除率 设备占地小 化学品与纯水耗量少 极富弹性的制程调整能力等特色 使其具有 成为未来 IC 晶圆厂清洗设备的主流的架势 尤其单晶圆旋转清洗 设备在 Metal 后的清洗 因其能有效解决 Pattern 经清洗后所造成 腐蚀破坏的现象 进而改善良率的下降 而 Wet Station 与单槽清洗 设备尚无法克服此一问题 另外单晶圆清洗设备并可根据需求 可 以分为 1 旋转清洗与高压喷洒 2 超音波刷洗等方式 单晶圆清 洗设备特色包括 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 1 每片的制程时间短 亦即数秒的喷酸完后便迅速以 DI 水洗 净 使得化学药液与 Layer 来不及反应 而不致造成 Pattern 的破 坏 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 2 较高的制程控制环境 使得晶圆能获得较高的均匀度与低污 染 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 3 每片晶圆均是以新鲜的酸与 DI 来清洗 故再现性高且不会 有化学品污染的问题 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 4 若采旋转清洗方式则能在 Deep trench 或 High Aspect ratio 的接触窗中产生一个负压 使得残留的化学品与反应产物能被吸出 而不会造成腐蚀或污染的问题 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 5 离心力能破坏化学品或 DI 水的表面张力 使得酸或水能轻 易进入沟洞中 以利化学反应的产生 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握 锅 目前在单晶圆清洗设备市场包括 DNS FSI Semitool SEZ TEL Verteq 等公司 就目前整体市 场来说 整体湿式清洗设备市场规模 2002 年市场规模为 2 7 亿美 元 较 2001 年衰退 30 9 日本市场规模 7900 万美元为全球最 大的市场 其次为美国与台湾 而就单晶圆清洗设备主要厂商方面 目前 SEZ 握有四成最大市场占有率 2002 年销售金额约达 1 1 亿 美元 其次为 FSI 与 Semitool 公司 各约占两成的市占率 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 SEZ 在单晶圆设备最大之优势为其化学品供给与使用机构 SEZ 在单晶圆清洗设备项目具有化学品可重复使用之专利 因此可 大量节省化学品之用量 国内清洗设备厂商弘塑 嵩展科技 近两 年亦积极发展单晶圆清洗制程之生产设备 其中弘塑清洗单晶圆清 洗设备 UFO 200mm 系列产品于去年并进入晶圆大厂进行试产 目 前国内单晶圆清洗市场规模为 6 100 万美元 其中 12 吋单晶圆清 洗型式将是今明两年国内清洗设备市场的主力需求 半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗 设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 表三 单晶圆清洗设备市场规模 单位 百万美 元半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 地区别 2000 2001 2002 2002 市场比重 半导 体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 北美 92 5 79 8 68 0 24 7半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 日本 122 1 135 9 79 3 28 8半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 南韩 13 6 13 8 7 1 2 6半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 台湾 63 1 41 5 61 7 22 4半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 亚洲与其它地区 65 3 36 6 22 4 8 1半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导体湿谬绢午锰绵盒手薪管买诉轿烂坛名账锈获即伯丁耕唉尧汐网铜添属榔被钟晚它蝴祝蔷提谅寐免磕浮提滋飞限大贬赋觉惋点饺愧窘昆粤迂兼尝株握锅 欧洲 103 4 91 0 36 6 13 3半导体清洗设备制程技术与设备市场分析半导体清洗设备制程技术与设备市场分析 台湾 自 動 化 產 業 技 術 與 市 場 資 訊 專 輯关键词 多槽全自动清洗设备 Wet station 单槽清洗设备 Single bath 单晶圆清洗设备 Single wafer 微粒 particle 目前在半导