激光调阻机的相关知识

激光调阻机激光调阻机 激光调阻 激光调电阻 的原理 为了提高厚膜电路的精度 必须进行阻值调整 由于厚膜丝网印刷操作固有的 不准确性 基板表面的不均匀及烧结条件的不重复性 厚膜电阻常出现正负误 差 如果阻值超过标称值将无法修正 但是 一般情况下印刷烧成后阻值低于 目标值的大约 30 所以要通过激光调整达到目标值 激光调阻系统及修调技术机理 激光修调是把一束聚焦的相干光在微机的控制下定位到工件上 使工件待调部 分的膜层气化切除以达到规定参数或阻值 调阻时局部温升使玻璃熔化 气化 部分阻值槽边缘受到玻璃覆盖 可填平基体表面被切割的介质 激光修调系统应用了大量的 LSI VLSI 电路 以大部分的软件操作代替许多硬 件功能 核心部分是通过硬件直接与激光器 光束定位 分步重复及测量等系 统相连接 测量系统由采用精密电桥和矩阵组合的无源网络组成 激光修调系统具有多种修调功能 可以修调混合集成电路 厚薄膜电阻器网络 电容网络 瓷基薄膜集成元件 还可以修调 D A 和 A D 转换器的精度 V F 转 换器的频率 有源滤波器的零点频率及运算放大器的失调电压等 同时还具有 IEEE488 接口 可与其他测试设备进行数据传输 激光修调系统主要包括以下几个部分 1 激光器部分 采用氪激励的高频 Q 开关 Nd YAG 激光器 厚膜修调最小光斑达 38 m 脉冲 重复频率为 500Hz 50kHz 2 光束定位系统 分为线性马达式 开环和闭环检流计式等 控制光束在 X 和 Y 方向的位置 速 度和加速度 缩短光束定位时间和修调时间 工作效率高 3 程控衰减系统 由多个衰减器组成 以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号 4 修调设定器 它直接与激光器 光束定位器 分步重复台及测量系统相联接 它可以通过程 序改变 Q 频率 刻蚀尺寸和改变切割的修调方向 决定阻值变化 而不影响精 度 另外 还具有自动校正功能 在长期工作时可使修调设定值保持稳定 5 阻值及电压测定装置 采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络 阻值测量精度可达 0 02 测量时 间仅为 5ms 这种设计可以防止外界干扰 且由于采用差动测量 自动消除偏 离及极性转换 还可用来测定有源电路修调时的直流电压 6 自动功率测量系统 激光器功率测量是利用最低限度的中断通过测量来测定 用微机控制螺形管驱 动系统 激光束通过衰减器内的 100 反射镜 射向热电偶器件 然后送到 1 个多量程功率计 切割图形 激光调阻时 被切割的电阻体图形主要有以下几种 1 单刀切割电阻法 2 双刀切割电阻法 3 L 型刀口切割电阻法 4 交叉对切电阻法 5 曲线型 L 刀口的切法 6 曲线型 U 型刀口的切法 在实际工作中 主要应用的是前 4 种 对于不同的电阻应根据其方数的不同选 择不同的刀口 其中双切和 L 型刀口最为常用 而且调过的阻值稳定性好 常用的调阻工艺 常用的调阻方法有喷砂 激光和电压脉冲调整 喷砂调阻 通过喷射砂流对电阻基片进行打磨 使电阻浆料层受磨损 从而改变了电阻体 的导电截面积和导电长度 而达到一定要求的阻值 是一种常规的调阻方案 喷砂调阻机设备价格较低 但调阻精度不易控制 速度较慢 不易于自动化及 批量生产 激光调阻 通过短脉冲激光扫描切割电阻基片 使电阻浆料层受激光加热气化 形成一定 深度的刻痕 从而改变了电阻体的导电截面积和导电长度 达到把低于目标阻 值的电阻体修调到阻值允许的偏差范围内 适用于片状电阻的快速大规模生产 激光调阻机价格较高 精度易控制 速度较快 且易于自动化及批量生产 且 能完成电路的功能调阻 目前是调阻的主流工艺 激光精密加工在诸如薄膜电路的功能微调 压电石英谐振腔和单层滤波器的微 调 光掩膜的修正 具有分布参数的超高频电路的微调 光学度盘和分划板的 刻制等工业领域将得到越来越广泛的应用 三工激光调阻机根据市场要求 设计的调阻机型 可根据客户电路要求定做 激光调阻方案 激光微调系统 激光调阻设备 激光调电阻设备 主要包括以下几个部分 1 激光器部分 采用氪激励的高频 Q 开关 Nd YAG 激光器 厚膜修调最小光斑达 38 m 脉冲 重复频率为 500Hz 50kHz 2 光束定位系统 分为线性马达式 开环和闭环检流计式等 控制光束在 X 和 Y 方向的位置 速 度和加速度 缩短光束定位时间和修调时间 工作效率高 3 程控衰减系统 由多个衰减器组成 以控制在衰减后用于光束游动并进入红外相机的输出信号 4 修调设定器 它直接与激光器 光束定位器 分步重复台及测量系统相联接 它可以通过程 序改变 Q 频率 刻蚀尺寸和改变切割的修调方向 决定阻值变化 而不影响精 度 另外 还具有自动校正功能 在长期工作时可使修调设定值保持稳定 5 阻值及电压测定装置 采用精密电桥和矩阵组合的测试无源网络 阻值测量精度可达 0 02 测量时 间仅为 5ms 这种设计可以防止外界干扰 且由于采用差动测量 自动消除偏 离及极性转换 还可用来测定有源电路修调时的直流电压 6 自动功率测量系统 激光器功率测量是利用最低限度的中断通过测量来测定 用微机控制螺形管驱 动系统 激光束通过衰减器内的 100 反射镜 射向热电偶器件 然后送到 1 个多量程功率计 简易型调阻方案 实现功能 通过手动控制控针 对电组进行自动精密调节 1 激光器及控制系统 YAG50 激光器 2 光学定位系统 XY 自动控制 3 阻值测量及控制系统 4 手动控针 标准型调阻方案 实现功能 通过自动控制控针 对批量电组进行自动精密调节 1 激光器及控制系统 YAG50 激光器 2 光学定位系统 五维工作方式 3 阻值测量及控制系统 4 自动控针 自动上 下 5 监控系统 双路 CCD 监控 在线功能调阻方案 实现功能 通过电路中电组进行精密调节 完成电路功能 1 激光器及控制系统 YAG50 激光器 2 光学定位系统 XY 自动控制 3 阻值测量及控制系统 4 自动控针