半导体工艺简介PPT课件.ppt

Drypump 设备部技术三科沈吉 真空定义 真空是在某个区域压力低于大气压真空范围低真空 LoworRoughVacuum LV 760to10 3Torr高真空 HighVacuum HV 10 3to10 8Torr超真空 Ultra HighVacuum UHV 10 8to10 12Torr 真空Pump工作范围 在ETCH和Thinfilm设备通常用Drypump Turbopump将大气抽至一定真空符合process工艺需求 由于Drypump抽真空能力有限 在ATM 500mT之间表现良好 然后用Turbopump将环境抽至HighVacuum KashiyamaDryPump ComparisonofPumpingMechanism KashiyamaDryPump ComparisonofPumpingTemperature Pump运转的五个要素 故障原因 1 水6 8L min2 氮气 GN216 22pam3 sec 3 电源 200V 220V 4 气密良好之前端管路5 吸风良好之Exhaust管路Pump的故障可以分为三种 1 Alarm pump仅显示故障并告之连线机台但pump并不停机 2 Trip pump显示故障信号告之连线机台 Pump立即停机 3 Error 电装置发生故障或pump内部连线松脱 Pump立即停机 其原因可能为BPMotor电流高MPMotor电流过高 Casing的温度过高 BP或MPMotor过载 SealN2或DILN2流量过低 Pumpbox温度过高 对于BPorMP温度过高 可能由以下原因引起的 1 Exhaust压力升高 2 电力供应有问题 3 生成物堆积 4 冷却水减少 5 齿轮坏掉 对于Casing 130deg c 温度过高 可能由以下原因引起 1 Exhaust压力升高 2 电力供应有问题 3 生成物堆积 4 接头处气体流通不畅 Kashiyamapump 转子底部排气的间隙宽阔 6mm 生成物徐徐刮向排气侧 短捷的排气路径 180mm 在真空侧没有轴承的支撑 螺旋转子螺旋式转子具有的高温特性耐腐蚀性的材质 Inlet ROTOR CASING共同使用 具有非常耐腐蚀特性的Ni合金材料合金材 再于表面进行Ni Coating处理进一步发挥了耐腐蚀性的性能 竖式螺旋转子 针对产生大量生成物的严酷制成用 转子排气侧的间隙宽阔 H 6mm 具有克服生成物沉积 和容易再启动强的优越性 具有刮除生成物的效果根据矩形直角的特点 Screwrotor在高速运转时可将附着在Casing上的生成物徐徐刮向排气侧而容易被排除 高温的Rotor特性因为真空室温度较高 所以反应气体很难附着 Rotor温度180度 Exhaustgas温度200 鲁式泵 根据同期马达和单纯的本体构造 实现了节省能源和耐久性的双向要求 Motor MotorDriver以同期马达加驱动器的组合 达到了精密控制转速的可能 从而获得以下的优越性 实现在大气状态开始时的驱动 节省能源 严密性的提高 小型化 Gear RootsRotor 排气原理 MUDryseries MUDryseries Drypump比以前的Drypump实现极限小型化 轻量化 省能量化 以对应装置组合 Ontool 用轻负荷所开发的Drypump 特点 Pump构造及采用同步Motor相比实现了小型化 我社容积比 75 轻量化 我社比 60 以Pump构造的最适化实现了冷却水 我社比 50 N 使用量 Clean排气用时不用 等能量的减少 以采用Motordriver大幅减少了Pump启动时的突入电流 在电源频率为 地域也是同一性能 MUDRYSeri