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文档简介

1,ITO蚀刻介绍,(主讲生产线操作),2,ITO刻蚀内容:,ITO化学名称ITO刻蚀机理影响ITO刻蚀因素ITO刻蚀不良原因分析,3,ITO名称:,ITO中文名:氧化铟锡化学名称:In2O3SnO2,4,ITO刻蚀液配比:HCl:HNO3:H2O=9:1:6(体积比)ITO刻蚀液浓度:6.50.5Mol/LITO刻蚀浓度是以液体内的H+浓度进行衡量.,ITO刻蚀机理1,5,ITO刻蚀机理2,In2O3+6HCl=2InCl3+3H2O2SnO2+8HCl=2SnCl4+4H2OIn2O3+6HNO3=2In(NO3)3+3H2O2SnO2+8HNO3=2Sn(NO3)4+4H2O,6,ITO刻蚀后图形:,哪一種Etching圖案是我們想要的?,7,影响ITO刻蚀的因素,1.主要因素:1.1刻蚀液浓度1.2刻蚀液温度1.3刻蚀传送速度2.次要因素:2.1刻蚀液喷淋压力2.2刻蚀液喷头摇摆速度,8,ITO刻蚀注意事项1,1.刻蚀液浓度:1.1刻蚀前确认刻蚀液浓度.1.2刻蚀液重新配制后,需要将刻蚀液循环10分钟左右后,再进行酸浓度测量.1.3刻蚀过程中抽检浓度.1.4刻蚀过程中,浓度降低.需要检查机台各用水部分(密封水,润滑水,抽风管道)和刻蚀段进出口风刀.,9,ITO刻蚀注意事项2,2.刻蚀液温度:2.1刻蚀前,确认温度达到工艺指定温度.2.2刻蚀过程中,确认温度变化在工艺范围内.3.刻蚀带速:在正常生产过程中,不能更改刻蚀带速,若要进行更改,需要当班助理以上人员同意才可以进行更改.生产线巡线人员在巡线时,要检查刻蚀液温度/刻蚀带速.,10,ITO刻蚀不图片1,不良名称:ITO短路不良原因:POSI制作过程中,涂POSI前玻璃基板上有纤维,显影后有纤维类异物掉到玻璃上或MASK被污染造成刻蚀后ITO走线短路.控制点:显影后外观检查.,11,ITO刻蚀不图片2,不良名称:ITO针孔不良原因:POSI制作过程中,涂POSI后,POSI上有针孔,或POSI层中有异物,造成刻蚀后ITO层出现针孔或走线断线.控制点:显影后外观检查.,12,ITO刻蚀不图片3,不良名称:ITO划伤不良原因:POSI工程前的初清洗或POSI制作过程中,玻璃表面受到污染,造成刻蚀后ITO走线断线或缺口.控制点:ITO刻蚀后外观检查.注:发现的不良品要进行隔离流程.,13,ITO刻蚀内容:,ITO
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