CDA系统及制程真空系统简介

,壓縮乾燥空氣及製程真空系統廠務四處空調課,第一單元壓縮乾燥空氣系統,壓縮乾燥空氣系統,系統目的提供低含水量之壓縮潔淨空氣需求設備離心式空氣壓縮機(螺旋式空氣壓縮機)吸附式乾燥機(冷凍式乾燥機)微粒子過濾器品質要求(各廠需求略有不同)系統末端壓力高於7.0kg/cm2空氣露點溫度低於-70(水份含量低於0.12ppm)微粒數少於10顆/ft3,壓縮乾燥空氣系統,壓力單位inHg、mmAq、kg/cm2、Psi(lb/in2)、Pa(N/m2)、Bar(105Pa)、Torr大氣壓力1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr絕對壓力錶壓力+大氣壓力壓力換算1kg/cm2=14.7/1.033=14.2psi,壓縮乾燥空氣系統,風量單位CMM(m3/min)、CMH(m3/hr)、CFM(ft3/min)單位換算1CMM(m3/min)=1m3/(1/60hr)=60CMH=(3.28ft)3/min=35.3CFM特定風量條件StandardCondition(SCMM)：1atm、20、65%R.HNormalCondition(NCMM)：1atm、0、0%R.H,壓縮乾燥空氣系統,Standard&Normal風量轉換理想氣體定律(P1*V1)/T1=(P2*V2)/T2P：絕對壓力T：絕對溫度Standard&Normal風量轉換範例100SCMM=NCMM理想氣體定律(1.033kg/cm2*100SCMM)/(20+273)=(1.033kg/cm2*NCMM)/(0+273)Ans：93.17NCMMQ(Standard)Q(Normal),壓縮乾燥空氣系統,壓縮乾燥空氣處理流程,壓縮乾燥空氣系統,離心式空氣壓縮機,壓縮乾燥空氣系統,離心式空氣壓縮機,壓縮乾燥空氣系統,IGV&BOV,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機元件介紹,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機元件介紹氣動控制閥件,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機溫度/壓力錶(機械式),入口壓力,出口壓力,A桶槽壓力,B桶槽壓力,冷卻壓力,A桶槽溫度,B桶槽溫度,排氣出口溫度,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機溫度/壓力錶(機械式),InletPressure,LeftChamberPressure,A桶槽,B桶槽,OutletPressure,Purge,RightChamberPressure,MoistureIndicator1.藍色正常2.粉紅含水,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機溫度/壓力錶(機械式),B桶槽,冷卻壓力,壓縮乾燥空氣系統,乾燥機溫度/壓力控制開關(電子式),加熱溫度控制開關(維持200),加熱器溫度保護開關(370),B桶槽高溫切換保護開關(50),A桶槽高溫切換保護開關(50),空氣出口溫度監視點,A桶槽建壓壓力開關(45psi),B桶槽建壓壓力開關(45psi),加熱結束溫度控制開關(80),壓縮乾燥空氣系統,CycleTime(22hr)單一桶槽依續完成吸附與再生過程之總時間吸附過程(11hr)乾燥粒吸收壓縮空氣所含水份之程序再生過程(11hr)洩壓程序(8min)：洩除欲再生桶槽保有之壓力加熱程序(240minmax)：加溫移除乾燥粒子所含水份冷卻程序(410minmax)：冷卻乾燥粒以恢復吸附能力建壓程序(15min)：建立再生完成桶槽之壓力,壓縮乾燥空氣系統,工作流程吸附過程,入口閥(桶槽切換時作動),A桶排氣閥(OFF),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(OFF),B桶洩壓閥(OFF),吸附桶槽,待機桶槽,建壓閥(OFF),桶槽切換依據1.偵濕器作動(7.513kHz)2.時間控制(11hr),B桶槽高溫切換保護開關(50),A桶槽高溫切換保護開關(50),壓縮乾燥空氣系統,再生過程洩壓程序(8min),入口閥,A桶排氣閥(OFF),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(ON),B桶洩壓閥(OFF),洩壓桶槽,吸附桶槽,建壓閥(OFF),壓縮乾燥空氣系統,再生過程加熱程序(240minmax),入口閥,A桶排氣閥(ON),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(OFF),B桶洩壓閥(OFF),加熱桶槽,吸附桶槽,建壓閥(OFF),加熱溫度控制開關(維持200),加熱器溫度保護開關(370),加熱結束溫度控制開關(80),1.鼓風機啟動2.加熱器啟動,壓縮乾燥空氣系統,再生過程冷卻程序(410minmax),入口閥,A桶排氣閥(ON),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(OFF),B桶洩壓閥(OFF),冷卻桶槽,吸附桶槽,建壓閥(ON),35,壓縮乾燥空氣系統,再生過程建壓程序(15min),入口閥,A桶排氣閥(OFF),B桶排氣閥(OFF),A桶洩壓閥(OFF),B桶洩壓閥(OFF),建壓桶槽,吸附桶槽,建壓閥(ON),35,A桶槽建壓壓力開關(45psi),B桶槽高溫切換保護開關(50),A桶槽高溫切換保護開關(50),壓縮乾燥空氣系統,微粒子補捉原理,氣流,慣性/衝擊,粒子,粒子,粒子,欄截,擴散/靜電,粒子運動路徑,粒子運動路徑,第二單元製程真空系統,製程真空系統,系統目的移除系統內氣體、創造具真空度之空間需求設備真空機(真空泵)品質要求(各廠略有不同)系統末端真空度高於25.0inHg,製程真空系統,壓力單位inHg、mmAq、kg/cm2、Psi(lb/in2)、Pa(N/m2)、Bar(105Pa)、Torr大氣壓力1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi=101,325Pa=1.01Bar=760Torr絕對壓力錶壓力+大氣壓力真空度負壓力單位or壓力單位(vac),製程真空系統,真空系統流程圖,製程真空系統,真空機組成,製程真空系統,真空機工作流程,空氣部份,潤滑油部份,製程真空系統,真空機錶件/圖控點/附屬元件,製程真空系統,真空機入口導引閥,真空開關設定：下限-26.0inHg上限-28.0inHg,設備啟動(真空度小於26.0inHgvac),真空度大於26.0inHg(vac)小